本发明专利技术公开了一种上料装置，包括：移动组件；载物台，设置于移动组件，以使载物台能够水平移动，载物台至少设置有第一安装位和第二安装位，第一安装位设置有第一定位孔，第二安装位设置有第二定位孔和安装孔；吸附托盘组件，包括支撑柱和支撑板，支撑柱通过第一定位件安装于第一安装位的第一定位孔，支撑板设置于支撑柱，支撑板设置有多个吸盘；晶圆盘组件，包括旋转座和晶圆盘，晶圆盘通过设置于旋转座的锁紧机构设置于旋转座，旋转座设置于安装孔；其中，晶圆盘能够拆下，并在旋转座的顶部设置备用的吸附托盘组件，备用的吸附托盘组件能够通过第二定位孔进行定位，并通过第二定位件进行安装。上料装置能够将晶圆盘组件快速切换至吸附托盘组件。附托盘组件。附托盘组件。
【技术实现步骤摘要】
上料装置及切换方法
[0001]本专利技术涉及固晶设备
，特别涉及一种上料装置及切换方法。
技术介绍
[0002]固晶设备的供料系统中，通常具有晶圆盘或吸附托盘等载料件，不同的载料件对应不同的原料类型，根据实际生产需求，当要提供不同的原料时，需要切换成吸附托盘供料或晶圆盘供料，或者是吸附托盘和晶圆盘同时供料。但是现有固晶设备的供料系统需要切换成只需要吸附托盘时，晶圆盘的位置通常是空置的，导致供料效率降低，或者需要增加吸附托盘的数量时，供料系统没有足够的空间容纳吸附托盘，只能再另外设置供料系统，操作繁琐，成本增加。
技术实现思路
[0003]本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提出一种上料装置，能够将晶圆盘组件快速切换至吸附托盘组件，提高上料装置的空间利用率。
[0004]本专利技术还提出一种具有上述上料装置的固晶设备。
[0005]本专利技术还提出一种应用于上述上料装置的载料组件切换方法。
[0006]根据本专利技术的第一方面实施例的上料装置，包括：
[0007]移动组件；
[0008]载物台，设置于所述移动组件，以使所述载物台能够水平移动，所述载物台至少设置有第一安装位和第二安装位，所述第一安装位设置有第一定位孔，所述第二安装位设置有第二定位孔和安装孔；
[0009]吸附托盘组件，包括支撑柱和支撑板，所述支撑柱通过第一定位件安装于所述第一安装位的所述第一定位孔，所述支撑板设置于所述支撑柱，所述支撑板设置有多个吸盘；
[0010]晶圆盘组件，包括旋转座和晶圆盘，所述晶圆盘通过设置于所述旋转座的锁紧机构设置于所述旋转座，所述旋转座设置于所述安装孔；
[0011]其中，所述晶圆盘能够拆下，并在所述旋转座的顶部设置备用的所述吸附托盘组件，备用的所述吸附托盘组件能够通过所述第二定位孔进行定位，并通过第二定位件进行安装。
[0012]根据本专利技术实施例的上料装置，至少具有如下有益效果：载物台设置在移动组件上，以实现水平方向上的移动，载物台至少设置有两个安装位，分别用来安装吸附托盘组件和晶圆盘组件，安装位设置有定位孔用以定位，同时，至少设置有一个备用的吸附托盘组件，备用的吸附托盘组件能够安装在原晶圆盘组件的安装位上并且不用完全拆除原晶圆盘组件，以增加吸附托盘组件的数量，提高了安装位的利用率，从而提高供料的效率，并且切换的操作方便。
[0013]根据本专利技术的一些实施例，所述移动组件包括横向移动机构和纵向移动机构，所述载物台设置于所述横向移动机构，所述横向移动机构设置于所述纵向移动机构。
[0014]根据本专利技术的一些实施例，所述横向移动机构包括第一移动板、第一安装板、第一导轨和第一驱动件，所述第一导轨和所述第一驱动件设置于所述第一安装板，所述第一移动板滑动设置于所述第一导轨并连接所述第一驱动件，所述载物台设置于所述第一移动板。
[0015]根据本专利技术的一些实施例，所述纵向移动机构包括第二移动板、第二安装板、第二导轨和第二驱动件，所述第二导轨和所述第二驱动件设置于所述第二安装板，所述第二移动板滑动设置于所述第二导轨并连接所述第二驱动件，所述第一安装板设置于所述第二移动板。
[0016]根据本专利技术的一些实施例，所述晶圆盘组件还包括驱动电机、同步带和同步轮，所述同步轮设置于所述旋转座，所述驱动电机通过所述同步带与所述同步轮传动连接。
[0017]根据本专利技术的一些实施例，所述晶圆盘组件还包括张力调节件，所述张力调节件能够调节所述同步带的张紧力度。
[0018]根据本专利技术的一些实施例，所述张力调节件包括基座、底座、滚轮、旋转轴和调节螺丝，所述基座设置于所述载物台，所述底座通过所述调节螺丝与所述基座连接，所述旋转轴竖直设置于所述底座，所述滚轮转动设置于所述旋转轴并能够抵接所述同步带。
[0019]根据本专利技术的一些实施例，所述锁紧机构包括固定块、锁紧螺丝和卡块，所述固定块设置于所述旋转座，所述锁紧螺丝设置于所述固定块，所述卡块转动设置于所述锁紧螺丝，所述锁紧螺丝能够锁紧所述卡块。
[0020]根据本专利技术的第二方面实施例的固晶设备，包括：如本专利技术第一方面实施例的上料装置。
[0021]根据本专利技术实施例的固晶设备，至少具有如下有益效果：备用的吸附托盘组件能够安装在原晶圆盘组件的安装位上并且不用完全拆除原晶圆盘组件，以增加吸附托盘组件的数量，提高了安装位的利用率，从而提高供料的效率，并且切换的操作方便。
[0022]根据本专利技术的第三方面实施例的上料装置的载料组件切换方法，应用于本专利技术第一方面实施例的上料装置，载料组件为吸附托盘组件或晶圆盘组件，切换方法包括：
[0023]打开所述锁紧机构，并将所述晶圆盘从所述旋转座上取下；
[0024]准备好备用的所述吸附托盘组件，将所述支撑柱对准所述第二定位孔，并通过第三定位件将所述支撑柱安装于所述第二安装位，以使备用的所述吸附托盘组件罩设于所述旋转座。
[0025]根据本专利技术实施例的固晶设备，至少具有如下有益效果：能够实现载料组件的快速切换，提高了上料装置的安装位利用率。
[0026]本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。
附图说明
[0027]下面结合附图和实施例对本专利技术做进一步的说明，其中：
[0028]图1为本专利技术一种实施例的上料装置的示意图；
[0029]图2为图1中的上料装置的俯视图；
[0030]图3为图1中的上料装置的载物台的俯视图；
[0031]图4为图1中的上料装置的吸附托盘组件的示意图；
[0032]图5为图1中的A的局部放大图；
[0033]图6为图1中的B的局部放大图；
[0034]图7为图1中的上料装置安装了备用的吸附托盘组件的示意图；
[0035]图8为本专利技术一种实施例的上料装置的切换方法的流程图。
[0036]附图标记：
[0037]载物台100、第一安装位110、第一定位孔111、第二安装位120、第二定位孔121、安装孔130、吸附托盘组件200、支撑柱210、支撑板220、吸盘230、晶圆盘组件300、旋转座310、限位块311、晶圆盘320、锁紧机构330、固定块331、锁紧螺丝332、卡块333、驱动电机340、同步轮350、同步带360、张力调节件370、基座371、底座372、滚轮373、旋转轴374、调节螺丝375、移动组件400、横向移动机构410、第一移动板411、第一安装板412、第一导轨413、纵向移动机构420、第二移动板421、第二安装板422、第二导轨423、光栅尺430、光电传感器440、遮光块450。
具体实施方式
[0038]下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.上料装置，其特征在于，包括：移动组件；载物台，设置于所述移动组件，以使所述载物台能够水平移动，所述载物台至少设置有第一安装位和第二安装位，所述第一安装位设置有第一定位孔，所述第二安装位设置有第二定位孔和安装孔；吸附托盘组件，包括支撑柱和支撑板，所述支撑柱通过第一定位件安装于所述第一安装位的所述第一定位孔，所述支撑板设置于所述支撑柱，所述支撑板设置有多个吸盘；晶圆盘组件，包括旋转座和晶圆盘，所述晶圆盘通过设置于所述旋转座的锁紧机构设置于所述旋转座，所述旋转座设置于所述安装孔；其中，所述晶圆盘能够拆下，并在所述旋转座的顶部设置备用的所述吸附托盘组件，备用的所述吸附托盘组件能够通过所述第二定位孔进行定位，并通过第二定位件进行安装。2.根据权利要求1所述的上料装置，其特征在于，所述移动组件包括横向移动机构和纵向移动机构，所述载物台设置于所述横向移动机构，所述横向移动机构设置于所述纵向移动机构。3.根据权利要求2所述的上料装置，其特征在于，所述横向移动机构包括第一移动板、第一安装板、第一导轨和第一驱动件，所述第一导轨和所述第一驱动件设置于所述第一安装板，所述第一移动板滑动设置于所述第一导轨并连接所述第一驱动件，所述载物台设置于所述第一移动板。4.根据权利要求3所述的上料装置，其特征在于，所述纵向移动机构包括第二移动板、第二安装板、第二导轨和第二驱动件，所述第二导轨和所述第二驱动件设置于所述第二安装板，所述第二移动板滑动设置于所述第二导轨...
【专利技术属性】
技术研发人员：何华仙，周李渊，钟文鹏，孟祥田，
申请(专利权)人：长园半导体设备珠海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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