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本发明公开了一种上料装置，包括：移动组件；载物台，设置于移动组件，以使载物台能够水平移动，载物台至少设置有第一安装位和第二安装位，第一安装位设置有第一定位孔，第二安装位设置有第二定位孔和安装孔；吸附托盘组件，包括支撑柱和支撑板，支撑柱通过第...
该专利属于长园半导体设备（珠海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长园半导体设备（珠海）有限公司授权不得商用。

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