双平台紫外皮秒切割装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了双平台紫外皮秒切割装置，包括安装板、进光箱腔、出光箱腔与振镜，所述进光箱腔通过连接块固定安装与安装板的上端，所述安装板的上部固定安装伺服电机，所述伺服电机通过丝杆组件安装振镜，所述振镜的侧壁固定安装出光箱腔，所述进光箱腔与出光箱腔通过导光管连接，所述出光箱腔上表面通过镜头组件固定安装相机；本实用新型专利技术，通过进光箱腔内的二维反光组件、出光箱腔内的二维反光组件及振镜构成双平台切割光路角度调节结构，两个二维反光组件通过复合角度调节，使得调节的更加精密，同时在集尘罩的作用下，将切割过程中产生的灰尘进行有效的负压收集，并配合红外光源，避免可见光成像的精准性下降的问题。避免可见光成像的精准性下降的问题。避免可见光成像的精准性下降的问题。

【技术实现步骤摘要】
双平台紫外皮秒切割装置


[0001]本技术涉及半导体切割
，具体为双平台紫外皮秒切割装置。

技术介绍

[0002]半导体加工是精密的加工过程，基于半导体的特性及精密性的需求，现有的加工方式一般在皮秒时间段内采用激光的高能性，进行有效的精准切割，而在切割过程中，由于激光的传递路径组件的单一角度调节性，使得整体偏转精度较难控制，同时会产生大量粉尘，造成可见光的成像相机定位会造成定位精准性下降。
[0003]因此，设计实用性强、能够进行精准调节激光切割角度和准确定位的双平台紫外皮秒切割装置是很有必要的。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供双平台紫外皮秒切割装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：
[0006]双平台紫外皮秒切割装置，包括安装板、进光箱腔、出光箱腔与振镜，所述进光箱腔通过连接块固定安装与安装板的上端，所述安装板的上部固定安装伺服电机，所述伺服电机通过丝杆组件安装振镜，所述振镜的侧壁固定安装出光箱腔，所述进光箱腔与出光箱腔通过导光管连接，所述出光箱腔上表面通过镜头组件固定安装相机，所述振镜下端固定安装场镜，所述安装板下部固定安装红外光源与集尘罩，所述集尘罩位于红外光源下方；
[0007]所述进光箱腔的内部设有一个二维反光组件，所述出光箱腔的内部设有两个二维反光组件，所述进光箱腔固定安装接口，所述进光箱腔、出光箱腔、振镜与场镜构成切割光路，所述光源、振镜、出光箱腔、镜头组件与相机构成成像光路；<br/>[0008]所述二维反光组件包括基层架与镜面架，所述基层架的两端通过螺纹孔螺装有螺纹顶柱，所述基层架的上表面中部嵌装有嵌装座，所述嵌装座的上表面中部一体成型有球形磁吸头，所述镜面架的上表面中嵌装有反光镜，所述镜面架的下表面一体成型有球形滑槽，所述球形磁吸头与球形滑槽相互配合。
[0009]根据上述技术方案，所述安装板的侧壁固定安装位移传感器，所述位移传感器的反馈端匹配振镜。
[0010]根据上述技术方案，所述集尘罩包括屏蔽框，所述屏蔽框内的尾端固定安装气流箱，所述屏蔽框的前端开设有阵列的导流孔，所述屏蔽框的框内侧壁焊接有辅助叶板，所述屏蔽框的尾端一体成型有组合座。
[0011]根据上述技术方案，所述连接块固定安装拖链一端，所述拖链另一端通过连接架固定安装出光箱腔的背侧。
[0012]根据上述技术方案，所述安装板的背侧固定安装有负压导管，所述负压导管连通集尘罩。
[0013]根据上述技术方案，所述螺纹顶柱的上端贴合镜面架的下表面，且两螺纹顶柱的工作运动方向相反。
[0014]根据上述技术方案，所述出光箱腔内的两个二维反光组件错位排布。
[0015]根据上述技术方案，所述导光管为双层嵌套伸缩结构。
[0016]与现有技术相比，本技术所达到的有益效果是：
[0017]本技术，通过进光箱腔内的二维反光组件、出光箱腔内的二维反光组件及振镜构成双平台切割光路角度调节结构，两个二维反光组件通过复合角度调节，使得调节的更加精密，同时在集尘罩的作用下，将切割过程中产生的灰尘进行有效的负压收集，并配合红外光源，避免可见光成像的精准性下降的问题。
附图说明
[0018]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0019]图1是本技术的立体结构示意图；
[0020]图2是本技术的主视结构示意图；
[0021]图3是本技术的左视结构示意图；
[0022]图4是本技术的集尘罩立体结构示意图；
[0023]图5是本技术的二维反光组件的爆炸结构示意图；
[0024]图6是本技术的镜面架截面结构示意图。
[0025]图中：1、安装板，2、进光箱腔，3、出光箱腔，4、振镜，5、场镜，6、连接块，7、红外光源，8、集尘罩，81、屏蔽框，82、组合座， 83、气流箱，84、导流孔，85、辅助叶板，9、镜头组件，10、相机，11、拖链，12、伺服电机，13、导光管，14、位移传感器，15、接口， 16、二维反光组件，161、基层架，162、镜面架，163、反光镜，164、嵌装座，165、球形磁吸头，166、球形滑槽，167、螺纹孔，168、螺纹顶柱，17、负压导管，18、丝杆组件。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0027]请参阅图1
‑
6，本技术提供技术方案：双平台紫外皮秒切割装置，包括安装板1、进光箱腔2、出光箱腔3与振镜4，所述进光箱腔2通过连接块6固定安装与安装板1的上端，所述安装板1的上部固定安装伺服电机12，所述伺服电机12通过丝杆组件18安装振镜 4，所述振镜4的侧壁固定安装出光箱腔3，所述进光箱腔2与出光箱腔3通过导光管13连接，所述出光箱腔3上表面通过镜头组件9 固定安装相机10，所述振镜4下端固定安装场镜5，所述安装板1下部固定安装红外光源7与集尘罩8，所述集尘罩8位于红外光源7下方。
[0028]安装板1为整个装置的组合安装基础，进光箱腔2、出光箱腔3 与振镜4构成双层光路调整平台，场镜5将切割激光导出，进行有效的切割，伺服电机12通过自身的工作，在丝杠组件驱动下，使得振镜4及场镜5进行上下位移，方便进行调整，而进光箱腔2与出光箱腔3为
二维反光组件16提供安装基础，并进行光路屏蔽，避免外部光线干涉影响，同时导光管13的连接方式，对光路进行保护，而红外光源7通过自身的照射以及反射，通过场镜5、振镜4及出光腔内的二维反光组件16反射至镜头组件9，而后通过相机10进行有效的获取成像，继而进行精准的定位。
[0029]具体而言，所述进光箱腔2的内部设有一个二维反光组件16，所述出光箱腔3的内部设有两个二维反光组件16，所述进光箱腔2 固定安装接口15，所述进光箱腔2、出光箱腔3、振镜4与场镜5构成切割光路，所述光源、振镜4、出光箱腔3、镜头组件9与相机10 构成成像光路。
[0030]具体而言，所述二维反光组件16包括基层架161与镜面架162，所述基层架161的两端通过螺纹孔167螺装有螺纹顶柱168，所述基层架161的上表面中部嵌装有嵌装座164，所述嵌装座164的上表面中部一体成型有球形磁吸头165，所述镜面架162的上表面中嵌装有反光镜163，所述镜面架162的下表面一体成型有球形滑槽166，所述球形磁吸头165与球形滑槽166相互配合。
[0031]基层架161为整个装置组合构装的基础结构，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.双平台紫外皮秒切割装置，包括安装板(1)、进光箱腔(2)、出光箱腔(3)与振镜(4)，其特征在于：所述进光箱腔(2)通过连接块(6)固定安装与安装板(1)的上端，所述安装板(1)的上部固定安装伺服电机(12)，所述伺服电机(12)通过丝杆组件(18)安装振镜(4)，所述振镜(4)的侧壁固定安装出光箱腔(3)，所述进光箱腔(2)与出光箱腔(3)通过导光管(13)连接，所述出光箱腔(3)上表面通过镜头组件(9)固定安装相机(10)，所述振镜(4)下端固定安装场镜(5)，所述安装板(1)下部固定安装红外光源(7)与集尘罩(8)，所述集尘罩(8)位于红外光源(7)下方；所述进光箱腔(2)的内部设有一个二维反光组件(16)，所述出光箱腔(3)的内部设有两个二维反光组件(16)，所述进光箱腔(2)固定安装接口(15)，所述进光箱腔(2)、出光箱腔(3)、振镜(4)与场镜(5)构成切割光路，所述光源、振镜(4)、出光箱腔(3)、镜头组件(9)与相机(10)构成成像光路；所述二维反光组件(16)包括基层架(161)与镜面架(162)，所述基层架(161)的两端通过螺纹孔(167)螺装有螺纹顶柱(168)，所述基层架(161)的上表面中部嵌装有嵌装座(164)，所述嵌装座(164)的上表面中部一体成型有球形磁吸头(165)，所述镜面架(162)的上表面中嵌装有反光镜(163)，所述镜面架(162)的下表面一体成型有球形...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶宗辉，周建红，
申请(专利权)人：深圳市圭华智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：