窄带化光学系统技术方案

本实用新型专利技术提供一种窄带化光学系统，通过在安装棱镜的安装部上设置定位机构来将该安装部定位在不同的位置，即，能够调整安装部上的棱镜上用于对入射的激光光束进行扩束的位置。通过该位置的调整，能够使用棱镜的不同部分来进行扩束，因此避免棱镜的用于扩束的部分的光学劣化的发生，从而，能够显著增加棱镜的使用寿命，大幅降低使用成本。大幅降低使用成本。大幅降低使用成本。

【技术实现步骤摘要】
窄带化光学系统


[0001]本技术涉及激光领域，尤其涉及一种窄带化光学系统。

技术介绍

[0002]随着半导体集成电路的细微化和高集成化，对于半导体曝光装置提出了提高分辨率这一要求。因此，对于半导体曝光装置中的曝光用光源所输出的光的短波长化也提出了更高的要求。近年来，曝光用光源使用气体激光装置来代替以往的水银灯。
[0003]在曝光过程中，可能会产生被曝光装置侧的投影透镜缩小投影到晶片上的激光的色像差，从而导致分辨率降低。因此，需要使从气体激光装置输出的激光的频谱线宽窄带化至能够忽略色像差的程度。因此，在气体激光装置的激光谐振器内设置有具有窄带化元件的窄带化模块(Line Narrow Module，LNM)，通过该窄带化模块来实现频谱宽度的窄带化。另外，窄带化元件可以是光谱干涉仪或光栅等。将这样频谱宽度被窄带化后的激光装置称为窄带化激光装置，具有该激光装置的系统称为窄带化光学系统。
[0004]在现有技术中，为了抑制入射到例如光栅等窄带化元件上的能量密度的降低从而抑制窄带化元件表面温度的上升，可以在光栅之前设置对入射的光束进行扩束的扩束光学系统，例如，在该扩束光学系统中设置棱镜，以对入射到棱镜上的光束进行扩束。
[0005]现有技术文献：
[0006]专利文献1：美国专利US 10797465 B；
[0007]专利文献2：美国专利US 8675697 B；
[0008]专利文献3：美国专利US 2017205631 A1。
[0009]应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本技术的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本技术的
技术介绍
部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。

技术实现思路

[0010]本技术的专利技术人发现，伴随着长时间的使用，高功率的激光光束持续照射在扩束光学系统中的棱镜上，导致棱镜的光学特性产生劣化，因此需要较为频繁的更换新的棱镜，导致成本的提高。
[0011]本技术实施例提供一种窄带化光学系统以及激光装置，通过在安装棱镜的安装部上设置定位机构来将该安装部定位在不同的位置，即，能够调整安装部上的棱镜上用于对入射的激光光束进行扩束的位置。通过该位置的调整，能够使用棱镜的不同部分来进行扩束，因此避免棱镜的用于扩束的部分的光学劣化的发生，从而，能够显著增加棱镜的使用寿命，大幅降低使用成本。
[0012]根据本技术实施例的第一方面，提供一种窄带化光学系统，所述窄带化光学系统具有：激光装置，其具有腔室和光栅，所述腔室的内部配置有一对放电电极，所述光栅配置在所述腔室的外部；第一扩束部，其设置在所述腔室和所述光栅之间，所述第一扩束部
对入射的光束在第一方向上进行扩展，所述第一方向与所述一对放电电极的放电方向垂直；第二扩束部，其设置在所述腔室和所述第一扩束部之间，所述第二扩束部对入射的光束在第二方向上进行扩展，所述第二方向与所述一对放电电极的放电方向平行，所述第二扩束部具有至少一个棱镜和安装所述棱镜的安装部，所述安装部具有定位机构，所述定位机构将安装有所述棱镜的所述安装部定位在所述第一方向上的不同位置。
[0013]根据本技术实施例的第二方面，其中，所述定位机构具有第一定位机构和第二定位机构。
[0014]根据本技术实施例的第三方面，其中，所述第一定位机构具有至少一个沿着所述第二方向延伸的第一长孔；或者，所述第一定位机构具有至少一组第一定位孔组，所述第一定位孔组具有沿着所述第二方向排列的多个第一定位孔；或者，所述第一定位机构具有至少一个所述第一长孔以及至少一组所述第一定位孔组。
[0015]根据本技术实施例的第四方面，其中，所述定位机构还具有与所述第一长孔以及所述第一定位孔组对应的设置的定位销。
[0016]根据本技术实施例的第五方面，其中，所述第二定位机构具有至少一个沿着所述第一方向延伸的第二长孔。
[0017]根据本技术实施例的第六方面，其中，所述第二定位机构还具有与所述第二长孔对应的设置的螺栓。
[0018]根据本技术实施例的第七方面，其中，所述第二扩束部还具有基板，所述安装部通过所述定位机构在所述基板上定位。
[0019]根据本技术实施例的第八方面，其中，所述基板具有至少一组第二定位孔组，所述第二定位孔组具有沿着第三方向排列的多个第二定位孔，所述第三方向相对于所述第一方向具有预设角度的夹角。
[0020]根据本技术实施例的第九方面，其中，相邻的两个所述第二定位孔在所述第一方向上的距离大于入射到所述第二扩束部的所述棱镜上的光束在所述第一方向上的宽度。
[0021]根据本技术实施例的第十方面，其中，所述激光装置是气体激光装置。
[0022]本技术的有益效果之一在于：通过在安装棱镜的安装部上设置定位机构来将该安装部定位在不同的位置，即，能够调整安装部上的棱镜上用于对入射的激光光束进行扩束的位置。通过该位置的调整，能够使用棱镜的不同部分来进行扩束，因此避免棱镜的用于扩束的部分的光学劣化的发生，从而，能够显著增加棱镜的使用寿命，大幅降低使用成本。
[0023]参照后文的说明和附图，详细公开了本技术的特定实施方式，指明了本技术的原理可以被采用的方式。应该理解，本技术的实施方式在范围上并不因而受到限制。在所附权利要求的精神和条款的范围内，本技术的实施方式具有许多改变、修改和等同。
[0024]针对一种实施方式描述和/或示出的特征可以以相同或类似的方式在一个或更多个其它实施方式中使用，与其它实施方式中的特征相组合，或替代其它实施方式中的特征。
[0025]应该强调，术语“具有/包含”在本文使用时指特征、整件、步骤或组件的存在，但并不排除一个或更多个其它特征、整件、步骤或组件的存在或附加。
附图说明
[0026]所具有的附图用来提供对本技术实施例的进一步的理解，其构成了说明书的一部分，用于例示本技术的实施方式，并与文字描述一起来阐释本技术的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：
[0027]图1是本技术实施例的窄带化光学系统的结构的一示意图；
[0028]图2是本技术实施例的第二扩束部的一种实施方式的背面视图以及A1
‑
A1方向的截面图和B
‑
B方向的截面图；
[0029]图3是本技术实施例的安装部的位置调整过程的一示意图；
[0030]图4是本技术实施例的第二扩束部的另一种实施方式的背面视图以及A2
‑
A2方向的截面图；
[0031]图5是本技术实施例的安装部的位置调整过程的另一示意图。
具体实施方式
[0032]参照附图本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种窄带化光学系统，其特征在于，所述窄带化光学系统具有：激光装置，其具有腔室和光栅，所述腔室的内部配置有一对放电电极，所述光栅配置在所述腔室的外部；第一扩束部，其设置在所述腔室和所述光栅之间，所述第一扩束部对入射的光束在第一方向上进行扩展，所述第一方向与所述一对放电电极的放电方向垂直；第二扩束部，其设置在所述腔室和所述第一扩束部之间，所述第二扩束部对入射的光束在第二方向上进行扩展，所述第二方向与所述一对放电电极的放电方向平行，所述第二扩束部具有至少一个棱镜和安装所述棱镜的安装部，所述安装部具有定位机构，所述定位机构将安装有所述棱镜的所述安装部定位在所述第一方向上的不同位置。2.根据权利要求1所述的窄带化光学系统，其特征在于，所述定位机构具有第一定位机构和第二定位机构。3.根据权利要求2所述的窄带化光学系统，其特征在于，所述第一定位机构具有至少一个沿着所述第二方向延伸的第一长孔；或者，所述第一定位机构具有至少一组第一定位孔组，所述第一定位孔组具有沿着所述第二方向排列的多个第一定位孔；或者，所述第一定位机构具有至少一个所述第一长孔以及至少一组所述第一定...

【专利技术属性】
技术研发人员：八代将徳，香西景太，
申请(专利权)人：极光先进雷射株式会社，
类型：新型
国别省市：