本实用新型专利技术涉及晶圆目检机的手动检测装置，其包括目检台、设置在目检台上的载架、位于载架上方的强光灯，载架具有多个支撑端部，其中多个支撑端部之间形成与晶圆外径相匹配的定位区，且载架绕着定位区的中心线转动设置；手动检测装置还包括夹持部件和驱动部件，夹持部件自由架设在目检台上，并具有绕着定位区的中心线分布的多个夹紧轮、手持部。本实用新型专利技术一方面通过设置夹持部件供操作人员手持并送至强光灯下方检测，能够灵活调整光线在晶圆表面的任意照射角度，以便于实施全面观察和检测；另一方面通过载架的转动配合以调整夹持部件在晶圆上的夹持位置，有效消除检测障碍，且不会造成晶圆脱落。不会造成晶圆脱落。不会造成晶圆脱落。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆目检机的手动检测装置
[0001]本技术属于晶圆目检设备领域，具体涉及一种晶圆目检机的手动检测装置。
技术介绍
[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达99.999999999％。晶圆制造厂再把此多晶硅融解，再于融液里种入籽晶，然后将其慢慢拉出，以形成圆柱状的单晶硅晶棒，由于硅晶棒是由一颗晶面取向确定的籽晶在熔融态的硅原料中逐渐生成，此过程称为“长晶”。硅晶棒再经过切段，滚磨，切片，倒角，抛光，激光刻，包装后，即成为积体电路工厂的基本原料——硅晶圆片，这就是“晶圆”。
[0003]因此，在晶圆完成加工时，需要检测晶圆微观的颗粒、划伤、污染等情况，故，市场上出现了人工目检机。
[0004]目前，现有的人工目检机的检测装置通常采用能够负压吸附晶圆的载架，在进行人工目检时，晶圆吸附在载架上，同时利用强光灯的光线照射在晶圆表面，并由操作人员转动载架，以观察晶圆表面的颗粒、划伤、污染等情况。
[0005]然而，在实际目检过程中，现有的检测装置存在以下缺陷：
[0006]1、强光灯所发出的光线照射角度有限，晶圆表面上容易存在照射死角，不利于操作人员全面观察晶圆表面；
[0007]2、在转动载架时，定位吸附也随之转动，这样不仅构成检测障碍，而且容易造成晶圆的脱落。
技术实现思路
[0008]本技术所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种改进的晶圆目检机的手动检测装置。
[0009]为解决以上技术问题，本技术采用如下技术方案：
[0010]一种晶圆目检机的手动检测装置，其包括目检台、设置在目检台上的载架、位于载架上方的强光灯，载架具有多个支撑端部，其中多个支撑端部之间形成与晶圆外径相匹配的定位区，且载架绕着定位区的中心线转动设置；手动检测装置还包括夹持部件和驱动部件，夹持部件自由架设在目检台上，并具有绕着定位区的中心线分布的多个夹紧轮、手持部，其中位于定位区内的晶圆能够自边缘夹持在多个夹紧轮之间，手持部供手持以将晶圆自定位区拾起观察；驱动部件用于驱动多个夹紧轮相对收拢或张开运动。
[0011]优选地，每个夹紧轮自轮面向内凹陷并形成卡槽，夹紧时，晶圆自边缘插在卡槽中。这样设置，夹持晶圆时，通过卡槽对晶圆形成限位保护，提升夹持部件夹持晶圆的可靠性。
[0012]具体的，夹持部件包括自由架设在目检台上并位于载架一侧的本体、分别连接在本体上的两个夹臂，其中载架位于两个夹臂之间，多个夹紧轮对应分布在两个夹臂的内侧，手持部自本体向外延伸。这样设置，夹持部件呈叉状，方便使用。
[0013]优选地，目检台上设有支撑架，其中支撑架包括水平延伸的支撑杆、固定连接在支撑杆两端部的侧架；本体自底面向内凹陷并形成卡扣槽，本体自卡扣槽卡扣在支撑杆上。
[0014]具体的，卡扣槽自外向内逐渐变窄设置。这样设置，放置加持部件时能够实现精准定位在目检台上，便于实施精准夹紧晶圆。
[0015]优选地，两个夹臂关于定位区的中心线对称设置。这样设置，保证晶圆夹持稳定。
[0016]具体的，每个夹臂包括自一端部连接在本体上并绕着定位区外周延伸的臂本体、设置在臂本体上另一端部的夹持模块，夹紧轮自由转动连接在夹持模块上。
[0017]进一步的，臂本体端部形成有调节槽，夹持模块插在调节槽中并通过调节螺栓向靠近或远离载架方向运动。这样设置，通过调节调节螺栓以调整两个夹紧模块之间的夹持间距，以适用不同规格晶圆的目检。
[0018]优选地，驱动部件有两个且分别设置在两个夹臂的外侧，其中每个驱动部件包括气缸、设置在气缸上的推板，推板自顶部向下凹陷并形成定位槽，每个夹臂的外侧设有插在定位槽内的定位柱，气缸驱动推板并顶推对应夹臂向内运动以夹紧晶圆；气缸驱动推板向外拉动定位柱，并驱使对应的夹臂向外运动以松开晶圆。
[0019]此外，载架包括架座、绕着架座中心线间隔分布的多根支撑臂，其中每个支撑臂自架座斜向上延伸并自上端部形成支撑端部；和/或，每个支撑端部上形成有自上而下并向内倾斜的支撑面。
[0020]由于以上技术方案的实施，本技术与现有技术相比具有如下优点：
[0021]本技术一方面通过设置夹持部件供操作人员手持并送至强光灯下方检测，能够灵活调整光线在晶圆表面的任意照射角度，以便于实施全面观察和检测；另一方面通过载架的转动配合以调整夹持部件在晶圆上的夹持位置，有效消除检测障碍，且不会造成晶圆脱落。
附图说明
[0022]图1为本技术晶圆目检机的手动检测装置结构示意图；
[0023]图2为本技术晶圆目检机的手动检测装置结构分解示意图；
[0024]其中：Y、晶圆；
[0025]1、目检台；10、支撑架；100、支撑杆；101、侧架；
[0026]2、载架；20、架座；21、支撑臂；210、支撑端部；q、定位区；
[0027]3、夹持部件；a、夹紧轮；c 1、卡槽；b、手持部；30、本体；c 2、卡扣槽；31、夹臂；310、臂本体；c3、调节槽；311、夹持模块；s、调节螺栓；
[0028]4、驱动部件；40、气缸；41、推板；c4、定位槽；
[0029]5、强光灯。
具体实施方式
[0030]为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请
的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。
[0031]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
[0032]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
[0033]在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆目检机的手动检测装置，其包括目检台、设置在所述目检台上的载架、位于所述载架上方的强光灯，其特征在于：所述载架具有多个支撑端部，其中所述多个支撑端部之间形成与所述晶圆外径相匹配的定位区，且所述载架绕着所述定位区的中心线转动设置；所述手动检测装置还包括夹持部件和驱动部件，所述夹持部件自由架设在所述目检台上，并具有绕着所述定位区的中心线分布的多个夹紧轮、手持部，其中位于所述定位区内的所述晶圆能够自边缘夹持在所述多个夹紧轮之间，所述手持部供手持以将所述晶圆自所述定位区拾起观察；所述驱动部件用于驱动所述多个夹紧轮相对收拢或张开运动。2.根据权利要求1所述的晶圆目检机的手动检测装置，其特征在于：每个所述夹紧轮自轮面向内凹陷并形成卡槽，夹紧时，所述晶圆自边缘插在所述卡槽中。3.根据权利要求1所述的晶圆目检机的手动检测装置，其特征在于：所述夹持部件包括自由架设在所述目检台上并位于所述载架一侧的本体、分别连接在所述本体上的两个夹臂，其中所述载架位于所述两个夹臂之间，所述多个夹紧轮对应分布在所述两个夹臂的内侧，所述手持部自所述本体向外延伸。4.根据权利要求3所述的晶圆目检机的手动检测装置，其特征在于：所述目检台上设有支撑架，其中所述支撑架包括水平延伸的支撑杆、固定连接在所述支撑杆两端部的侧架；所述本体自底面向内凹陷并形成卡扣槽，所述本体自所述卡扣槽卡扣在所述支撑杆上。5.根据权利要求4所述的晶圆...
【专利技术属性】
技术研发人员：颜博，
申请(专利权)人：苏州新尚思自动化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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