温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及晶圆目检机的手动检测装置，其包括目检台、设置在目检台上的载架、位于载架上方的强光灯，载架具有多个支撑端部，其中多个支撑端部之间形成与晶圆外径相匹配的定位区，且载架绕着定位区的中心线转动设置；手动检测装置还包括夹持部件和驱动部件...
该专利属于苏州新尚思自动化设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州新尚思自动化设备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。