一种手持式晶圆目检机制造技术

本实用新型专利技术涉及手持式晶圆目检机，其包括机架、晶圆上料装置、晶圆下料装置、晶圆寻边装置、晶圆取放机械手、晶圆检测装置。本实用新型专利技术一方面通过设置夹持部件供操作人员手持并送至强光灯下方检测，能够灵活调整光线在晶圆表面的任意照射角度，以便于实施全面观察和检测；另一方面通过载架的转动配合以调整夹持部件在晶圆上的夹持位置，有效消除检测障碍，且不会造成晶圆脱落；同时通过设置遮光腔，有效阻挡外界干扰光线，提高检测准确性。提高检测准确性。提高检测准确性。

【技术实现步骤摘要】
一种手持式晶圆目检机


[0001]本技术属于晶圆目检设备领域，具体涉及一种手持式晶圆目检机。

技术介绍

[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达99.999999999％。晶圆制造厂再把此多晶硅融解，再于融液里种入籽晶，然后将其慢慢拉出，以形成圆柱状的单晶硅晶棒，由于硅晶棒是由一颗晶面取向确定的籽晶在熔融态的硅原料中逐渐生成，此过程称为“长晶”。硅晶棒再经过切段，滚磨，切片，倒角，抛光，激光刻，包装后，即成为积体电路工厂的基本原料——硅晶圆片，这就是“晶圆”。
[0003]因此，在晶圆完成加工时，需要检测晶圆微观的颗粒、划伤、污染等情况，故，市场上出现了人工目检机。
[0004]目前，现有的人工目检机的检测装置通常采用能够负压吸附晶圆的载架，在进行人工目检时，晶圆吸附在载架上，同时利用强光灯的光线照射在晶圆表面，并由操作人员转动载架，以观察晶圆表面的颗粒、划伤、污染等情况。
[0005]然而，在实际目检过程中，现有的检测装置存在以下缺陷：
[0006]1、晶圆表面受外界光线影响和干扰，容易导致操作人员在视觉上出现差错，降低检测精准度；
[0007]2、强光灯所发出的光线照射角度有限，晶圆表面上容易存在照射死角，不利于操作人员全面观察晶圆表面；
[0008]3、在转动载架时，定位吸附也随之转动，这样不仅构成检测障碍，而且容易造成晶圆的脱落。

技术实现思路

[0009]本技术所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种改进的手持式晶圆目检机。
[0010]为解决以上技术问题，本技术采用如下技术方案：
[0011]一种手持式晶圆目检机，其包括：
[0012]机架，其具有工作腔，其中工作腔上形成有进料口、出料口、检测口；
[0013]晶圆上料装置，其设置在进料口处并能够逐片向工作腔供应晶圆；
[0014]晶圆下料装置，其设置在出料口处并能够逐片自工作腔接收晶圆；
[0015]晶圆寻边装置，其设置在工作腔内并用于晶圆的寻边校准；
[0016]晶圆取放机械手，其设置在工作腔内，并用于在进料口、出料口、检测口、晶圆寻边装置之间转载晶圆；
[0017]晶圆检测装置，其包括设置在检测口的目检台、设置在目检台上的载架、位于载架上方的强光灯，
[0018]所述机架包括具有工作腔的第一架体、位于检测口外侧并形成有操作人员出入口的第二架体，其中第二架体内形成阻挡外界光线的遮光腔，晶圆检测装置位于遮光腔内；
[0019]载架具有多个支撑端部，其中多个支撑端部之间形成与晶圆外径相匹配的定位区，且载架绕着定位区的中心线转动设置；
[0020]晶圆检测装置还包括夹持部件和驱动部件，夹持部件自由架设在目检台上，并具有绕着定位区的中心线分布的多个夹紧轮、手持部，其中位于定位区内的晶圆能够自边缘夹持在多个夹紧轮之间，手持部供手持以将晶圆自定位区拾起观察；驱动部件用于驱动多个夹紧轮相对收拢或张开运动。
[0021]优选地，进料口和出料口并排位于工作腔的一侧，检测口位于工作腔的相对另一侧。这样设置，功能区划分明确，减少晶圆上下料对操作人员检测晶圆产生的影响；而且能够形成空间足够的遮光腔，方便操作人员使用。
[0022]进一步的，检测口处设有上下活动设置的遮挡门。这样设置，保证工作腔的封闭性，避免外界杂质进入并污染晶圆表面。
[0023]优选地，每个夹紧轮自轮面向内凹陷并形成卡槽，夹紧时，晶圆自边缘插在卡槽中。这样设置，夹持晶圆时，通过卡槽对晶圆形成限位保护，提升夹持部件夹持晶圆的可靠性。
[0024]具体的，夹持部件包括自由架设在目检台上并位于载架一侧的本体、分别连接在本体上的两个夹臂，其中载架位于两个夹臂之间，多个夹紧轮对应分布在两个夹臂的内侧，手持部自本体向外延伸。这样设置，夹持部件呈叉状，方便使用。
[0025]优选地，目检台上设有支撑架，其中支撑架包括水平延伸的支撑杆、固定连接在支撑杆两端部的侧架；本体自底面向内凹陷并形成卡扣槽，本体自卡扣槽卡扣在支撑杆上。
[0026]具体的，卡扣槽自外向内逐渐变窄设置。这样设置，放置加持部件时能够实现精准定位在目检台上，便于实施精准夹紧晶圆。
[0027]优选地，两个夹臂关于定位区的中心线对称设置。这样设置，保证晶圆夹持稳定。
[0028]具体的，每个夹臂包括自一端部连接在本体上并绕着定位区外周延伸的臂本体、设置在臂本体上另一端部的夹持模块，夹紧轮自由转动连接在夹持模块上。
[0029]进一步的，臂本体端部形成有调节槽，夹持模块插在调节槽中并通过调节螺栓向靠近或远离载架方向运动。这样设置，通过调节调节螺栓以调整两个夹紧模块之间的夹持间距，以适用不同规格晶圆的目检。
[0030]优选地，驱动部件有两个且分别设置在两个夹臂的外侧，其中每个驱动部件包括气缸、设置在气缸上的推板，推板自顶部向下凹陷并形成定位槽，每个夹臂的外侧设有插在定位槽内的定位柱，气缸驱动推板并顶推对应夹臂向内运动以夹紧晶圆；气缸驱动推板向外拉动定位柱，并驱使对应的夹臂向外运动以松开晶圆。
[0031]此外，载架包括架座、绕着架座中心线间隔分布的多根支撑臂，其中每个支撑臂自架座斜向上延伸并自上端部形成支撑端部；和/或，每个支撑端部上形成有自上而下并向内倾斜的支撑面。
[0032]由于以上技术方案的实施，本技术与现有技术相比具有如下优点：
[0033]本技术一方面通过设置夹持部件供操作人员手持并送至强光灯下方检测，能够灵活调整光线在晶圆表面的任意照射角度，以便于实施全面观察和检测；另一方面通过载架的转动配合以调整夹持部件在晶圆上的夹持位置，有效消除检测障碍，且不会造成晶圆脱落；同时通过设置遮光腔，有效阻挡外界干扰光线，提高检测准确性。
附图说明
[0034]图1为本技术手持式晶圆目检机的结构示意图；
[0035]图2为本技术手持式晶圆目检机的结构示意图(另一视角)；
[0036]图3为本技术手持式晶圆目检机的结构分解示意图；
[0037]图4为本技术手持式晶圆目检机的结构分解示意图(另一视角)；
[0038]图5为晶圆检测装置的结构示意图；
[0039]图6为晶圆检测装置的结构分解示意图；
[0040]其中：Y、晶圆；
[0041]①
、机架；Ⅰ、第一架体；q0、工作腔；k0、进料口；k 1、出料口；k3、检测口；m、遮挡门；Ⅱ、第二架体；k4、出入口；q 1、遮光腔；
[0042]②
、晶圆上料装置；
[0043]③
、晶圆下料装置；...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种手持式晶圆目检机，其包括：机架，其具有工作腔，其中所述工作腔上形成有进料口、出料口、检测口；晶圆上料装置，其设置在所述进料口处并能够逐片向所述工作腔供应晶圆；晶圆下料装置，其设置在所述出料口处并能够逐片自所述工作腔接收晶圆；晶圆寻边装置，其设置在所述工作腔内并用于晶圆的寻边校准；晶圆取放机械手，其设置在所述工作腔内，并用于在所述进料口、所述出料口、所述检测口、所述晶圆寻边装置之间转载晶圆；晶圆检测装置，其包括设置在所述检测口的目检台、设置在所述目检台上的载架、位于所述载架上方的强光灯，其特征在于，所述机架包括具有所述工作腔的第一架体、位于所述检测口外侧并形成有操作人员出入口的第二架体，其中所述第二架体内形成阻挡外界光线的遮光腔，所述晶圆检测装置位于所述遮光腔内；所述载架具有多个支撑端部，其中所述多个支撑端部之间形成与所述晶圆外径相匹配的定位区，且所述载架绕着所述定位区的中心线转动设置；所述晶圆检测装置还包括夹持部件和驱动部件，所述夹持部件自由架设在所述目检台上，并具有绕着所述定位区的中心线分布的多个夹紧轮、手持部，其中位于所述定位区内的所述晶圆能够自边缘夹持在所述多个夹紧轮之间，所述手持部供手持以将所述晶圆自所述定位区拾起观察；所述驱动部件用于驱动所述多个夹紧轮相对收拢或张开运动。2.根据权利要求1所述的手持式晶圆目检机，其特征在于，所述进料口和所述出料口并排位于所述工作腔的一侧，所述检测口位于所述工作腔的相对另一侧；和/或，所述检测口处设有上下活动设置的遮挡门。3.根据权利要求1所述的手持式晶圆目检机，其特征在于，每个所述夹紧轮自轮面向内凹陷并形成卡槽，夹紧时，所述晶圆自边缘插在所述卡槽中。4.根据权利要求1所述的手持式晶圆目检机，其特征在于，所述夹持部件包括自由架设在所述目检台上并位于所述载...

【专利技术属性】
技术研发人员：颜博，
申请(专利权)人：苏州新尚思自动化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：