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本实用新型涉及手持式晶圆目检机，其包括机架、晶圆上料装置、晶圆下料装置、晶圆寻边装置、晶圆取放机械手、晶圆检测装置。本实用新型一方面通过设置夹持部件供操作人员手持并送至强光灯下方检测，能够灵活调整光线在晶圆表面的任意照射角度，以便于实施全面...
该专利属于苏州新尚思自动化设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州新尚思自动化设备有限公司授权不得商用。

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