晶圆检测设备真空管制造技术

本申请提供了一种晶圆检测设备真空管，包括：第一连接管段、第二连接管段和弯折替换件。第一连接管段具有第一连接端和第二连接端，第一连接端连接于真空阀。第二连接管段具有第三连接端和第四连接端，第三连接端连接于晶圆载台。弯折替换件包括第一端和第二端，第一端活动连接于第二连接端，第二端活动连接第四连接端，弯折替换件用于承受晶圆检测设备真空管在运动过程中产生的弯矩。本申请解决了现有真空管更换成本过高的问题。管更换成本过高的问题。管更换成本过高的问题。

【技术实现步骤摘要】
晶圆检测设备真空管


[0001]本申请涉及晶圆检测设备领域，特别是涉及晶圆检测设备真空管。

技术介绍

[0002]在晶圆检测设备中，有一段连接真空阀和晶圆载台的真空管，晶圆载台由于自身调整位置的需要而进行运动。晶圆载台在运动时真空阀并不会随之运动，所以需要将真空管进行弯曲留出运动余量以便晶圆载台在运动时不会拉断真空管。当晶圆载台靠近真空阀时，真空管会被弯曲，当晶圆载台远离真空阀时，真空管会被拉直。晶圆载台需要频繁地调整位置，因而会频繁地靠近或远离真空阀，真空管也就会反复地被弯曲或被拉直，这样在真空管上会有一段弯折管段产生反复的被弯曲和被拉直。弯折管段被弯曲或被拉直的次数到达极限时，就会因为疲劳造成破损，使得弯折管段漏气进而使晶圆载台宕机。本申请人在研究中发现，由于现有真空管是一体成型的整条真空管，一旦弯折管段因为弯曲疲劳发生破损，需要将整条真空管都进行更换，但是此时真空管除弯折管段以外的地方并未破损，因为弯折管段破损直接更换掉整条真空管，会导致更换成本较高。

技术实现思路

[0003]针对现有技术的不足，本申请提供了一种晶圆检测设备真空管，包括：第一连接管段、第二连接管段和弯折替换件。所述第一连接管段具有第一连接端和第二连接端，所述第一连接端连接于真空阀。所述第二连接管段具有第三连接端和第四连接端，所述第三连接端连接于晶圆载台。所述弯折替换件包括第一端和第二端，所述第一端活动连接于所述第二连接端，所述第二端活动连接于所述第四连接端，所述弯折替换件用于承受所述晶圆检测设备真空管在运动过程中产生的弯矩。/>[0004]优选地，所述弯折替换件为管道，所述第一端和所述第二连接端连通，所述第二端和所述第四连接端连通。
[0005]优选地，所述晶圆检测设备真空管还包括第一快插接头，其一端与所述第一端活动连接，所述第一快插接头的另一端与所述第二连接端连接。
[0006]优选地，所述第一快插接头包括第一卡扣、第二卡扣和第一管件，所述第一卡扣设置于所述第一管件的一端，所述第一卡扣与所述第一端活动连接，所述第二卡扣设置于所述第一管件的另一端，所述第二卡扣和所述第二连接端连接。
[0007]优选地，所述晶圆检测设备真空管还包括第二快插接头，其一端和所述第二端活动连接，所述第二快插接头的另一端与所述第四连接端连接。
[0008]优选地，所述第二快插接头包括第三卡扣、第四卡扣和第二管件，所述第三卡扣设置于所述第二管件的一端，所述第三卡扣与所述第二端活动连接，所述第四卡扣设置于所述第二管件的另一端，所述第四卡扣和所述第四连接端连接。
[0009]优选地，所述弯折替换件为PUR管。
[0010]优选地，所述弯折替换件为套管，在所述第二连接端和所述第四连接端之间设置
有弯折管段，所述弯折管段的一端和所述第一连接管段连通，所述弯折管段的另一端和所述第二连接管段连通，所述弯折替换件套设于所述弯折管段。
[0011]优选地，所述弯折替换件为橡胶管。
[0012]优选地，所述弯折替换件通过箍接的方式连接在第二连接端和第四连接端上。
[0013]本申请的有益效果在于：由于弯折替换件和第一连接管段及第二连接管段是活动连接，并且弯折替换件可以承受真空管在运动过程中产生的弯矩，在弯折替换件因为弯曲疲劳发生损坏时，可以仅更换掉弯折替换件，而不用将整条真空管都进行更换，降低了更换成本。
[0014]上述说明仅是本申请技术方案的概述，为了能够更清楚了解本申请的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本申请较佳的实施例并配合附图对本申请进行详细说明。
附图说明
[0015]图1是本申请一实施例中，晶圆检测设备真空管应用分解图；
[0016]图2是本申请一实施例中，晶圆检测设备真空管应用立体图；
[0017]图3是本申请一实施例中，晶圆检测设备真空管应用仰视图；
[0018]图4是本申请一实施例中，图3的A
‑
A线剖视图；
[0019]图5是本申请另一实施例中，晶圆检测设备真空管应用立体图；
[0020]图6是本申请另一实施例中，晶圆检测设备真空管安装方法流程图；
[0021]图7是本申请另一实施例中，晶圆检测设备真空管安装方法子流程图；
[0022]图8是本申请另一实施例中，晶圆检测设备真空管安装方法子流程图。
[0023]附图标记说明：
[0024]1 晶圆检测设备真空管
[0025]10 第一连接管段
[0026]100 第一连接端
[0027]101 第二连接端
[0028]11 第二连接管段
[0029]110 第三连接端
[0030]111 第四连接端
[0031]12 弯折替换件
[0032]120 第一端
[0033]121 第二端
[0034]12a 弯折管段
[0035]13 第一快插接头
[0036]130 第一卡扣
[0037]131 第二卡扣
[0038]132 第一管件
[0039]14 第二快插接头
[0040]140 第三卡扣
[0041]141 第四卡扣
[0042]142 第二管件
[0043]2 真空阀
[0044]3 晶圆载台
[0045]S1
‑
S2 步骤
[0046]S11
‑
S12 子步骤
[0047]S21
‑
S22 子步骤
具体实施方式
[0048]以下由特定的具体实施例说明本申请的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所公开的内容轻易地了解本申请的其他优点及功效。
[0049]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以互相组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。为了使本
的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。
[0050]需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于包覆不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其他步骤或单元。
[0051]请同时参考图1和图2，在一个实施中是一种晶圆检测设备真空管1，包括：第一连接管段10、第二连接管段11和弯折替换件12。第一连接管段10和第二连接管段11可以是本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆检测设备真空管(1)，其特征在于，包括：第一连接管段(10)，其具有第一连接端(100)和第二连接端(101)，所述第一连接端(100)连接于真空阀(2)；第二连接管段(11)，其具有第三连接端(110)和第四连接端(111)，所述第三连接端(110)连接于晶圆载台(3)；以及弯折替换件(12)，其包括第一端(120)和第二端(121)，所述第一端(120)活动连接于所述第二连接端(101)，所述第二端(121)活动连接于所述第四连接端(111)，所述弯折替换件(12)用于承受所述晶圆检测设备真空管(1)在运动过程中产生的弯矩。2.根据权利要求1所述的晶圆检测设备真空管(1)，其特征在于，所述弯折替换件(12)为管道，所述第一端(120)和所述第二连接端(101)连通，所述第二端(121)和所述第四连接端(111)连通。3.根据权利要求2所述的晶圆检测设备真空管(1)，其特征在于，还包括第一快插接头(13)，其一端与所述第一端(120)活动连接，所述第一快插接头(13)的另一端与所述第二连接端(101)连接。4.根据权利要求3所述的晶圆检测设备真空管(1)，其特征在于，所述第一快插接头(13)包括第一卡扣(130)、第二卡扣(131)和第一管件(132)，所述第一卡扣(130)设置于所述第一管件(132)的一端，所述第一卡扣(130)与所述第一端(120)活动连接，所述第二卡扣(131)设置于所述第一管件(132)的另一端，所述第二卡扣(131)和所述第二连接端(101)连接。...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁大胜，
申请(专利权)人：杭州富芯半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：