本发明专利技术提供一种能够使从炉内向气体管路吸引气体并将所吸引的气体再次向炉内喷出时的气体的温度更接近于炉内的气体的温度的加热炉。加热炉具备：主体部，具有用于进行被处理物的热处理的热处理空间，具备配置在热处理空间内的加热部；气体供给部，将为了进行热处理所需的气体供给到主体部的热处理空间；吸引喷出部，具有与主体部的热处理空间连接的气体管路，反复进行从热处理空间向气体管路的气体的吸引和被吸引到气体管路的气体向热处理空间的喷出；和蓄热体，配置在气体管路的内部之中位于主体部的内部的部分，能够进行热交换。能够进行热交换。能够进行热交换。
【技术实现步骤摘要】
加热炉
[0001]本专利技术涉及加热炉。
技术介绍
[0002]已知有向炉内供给气体并进行被处理物的热处理的加热炉。
[0003]作为这种加热炉之一，在专利文献1中公开了如下的加热炉，即，通过循环风扇将炉内的气体导入到炉外循环路径，并且将导入到炉外循环路径的气体再次返回至炉内。在该加热炉中，在炉外循环路径之中炉外的位置设置有蓄热体，从炉内导入到炉外循环路径的气体被蓄热体进行热交换而成为低温，返回至炉内的气体被蓄热体进行热交换而成为高温之后向炉内喷出。根据这样的结构，在专利文献1记载的加热炉中，使得能够将高温且较强的循环流供给到炉内。
[0004]在先技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本特开平9
‑
178112号公报
[0007]在此，若从炉外循环路径向炉内喷出的气体的温度与炉内的气体的温度不同，则被处理物和气体的反应产生偏差。因此，优选从炉外循环路径向炉内喷出的气体的温度接近于炉内的气体的温度，但在专利文献1记载的加热炉中，在这一点上有改善的余地。
技术实现思路
[0008]专利技术要解决的问题
[0009]本专利技术用于解决上述问题，其目的在于，提供一种能够使从炉内向气体管路吸引气体并将所吸引的气体再次向炉内喷出时的气体的温度更接近于炉内的气体的温度的加热炉。
[0010]用于解决问题的技术方案
[0011]本专利技术的加热炉的特征在于，具备：
[0012]主体部，具有用于进行被处理物的热处理的热处理空间，具备配置在所述热处理空间内的加热部；
[0013]气体供给部，将为了进行热处理所需的气体供给到所述主体部的所述热处理空间；
[0014]吸引喷出部，具有与所述主体部的所述热处理空间连接的气体管路，反复进行从所述热处理空间向所述气体管路的气体的吸引和被吸引到所述气体管路的气体向所述热处理空间的喷出；和
[0015]蓄热体，配置在所述气体管路的内部之中位于所述主体部的内部的部分，能够进行热交换。
[0016]专利技术效果
[0017]根据本专利技术的加热炉，能够进行热交换的蓄热体配置在气体管路的内部之中位于
主体部的内部的部分，因此与配置于主体部外的结构相比，能够使从气体管路向热处理空间喷出的气体的温度接近于热处理空间内的气体的温度。即，蓄热体配置在靠近热处理空间的位置，因此通过与从热处理空间吸引的气体的热交换，蓄热体的温度成为与热处理空间内的气体的温度接近的温度，在气体通过蓄热体而向热处理空间喷出时，通过与蓄热体的热交换，气体的温度成为与热处理空间内的气体的温度接近的温度。
附图说明
[0018]图1是示意性地示出第1实施方式中的加热炉的结构的剖视图。
[0019]图2的(a)是用于说明在第1实施方式中的加热炉中从第1吸引喷出口吸引热处理空间内的气体并从第2吸引喷出口向热处理空间喷出时的动作的图，图2的(b)是用于说明从第2吸引喷出口吸引热处理空间内的气体并从第1吸引喷出口向热处理空间喷出时的动作的图。
[0020]图3的(a)是示出在第1实施方式中的加热炉中使用了条件2的蓄热体的情况下距热处理空间的距离和蓄热体的球的温度的关系的图，图3的(b)是示出在蓄热体配置于主体部之外的结构的加热炉中距热处理空间的距离和蓄热体的球的温度的关系的图。
[0021]图4是示出辐射壁温度和向热处理空间喷出的气体的温度的关系的图。
[0022]图5是示意性地示出第2实施方式中的加热炉的结构的剖视图。
[0023]图6是示意性地示出第3实施方式中的加热炉的结构的剖视图。
[0024]图7的(a)是示出在第3实施方式中的加热炉中沿着从第1气体管路向热处理空间喷出的气体的前进方向的单位向量、和相对于载置被处理物的板子的载置面向载置被处理物的一侧延伸的单位法线向量的关系的图，图7的(b)是示出沿着从第2气体管路向热处理空间喷出的气体的前进方向的单位向量、和相对于载置被处理物的板子的载置面向载置被处理物的一侧延伸的单位法线向量的关系的图。
[0025]图8是示意性地示出第4实施方式中的加热炉的结构的剖视图。
[0026]图9的(a)是在第4实施方式中的加热炉中将第1气体管路之中第1吸引喷出口附近的部位进行了放大的剖视图，图9的(b)是将第2气体管路之中第2吸引喷出口附近的部位进行了放大的剖视图。
[0027]图10的(a)是示出在第5实施方式中的加热炉中使活塞的可动部移动时的速度、和从气体管路向热处理空间喷出的气体的喷出速度的时间变化的图，图10的(b)是示出在第1实施方式中的加热炉中使活塞的可动部移动时的速度、和从气体管路向热处理空间喷出的气体的喷出速度的时间变化的图。
[0028]图11是示意性地示出第6实施方式中的加热炉的结构的剖视图。
[0029]图12的(a)是用于说明在第6实施方式中的加热炉中从第1吸引喷出口吸引热处理空间内的气体并从第2吸引喷出口向热处理空间喷出时的动作的图，图12的(b)是用于说明从第2吸引喷出口吸引热处理空间内的气体并从第1吸引喷出口向热处理空间喷出时的动作的图。
[0030]图13是示意性地示出第6实施方式的变形例中的加热炉的结构的剖视图。
[0031]图14的(a)～(e)是用于说明在第6实施方式的变形例中的加热炉中，由从第1吸引喷出口吸引热处理空间内的气体并从第2吸引喷出口向热处理空间喷出的动作切换为从第
2吸引喷出口吸引热处理空间内的气体并从第1吸引喷出口向热处理空间喷出的动作时的控制的图。
[0032]图15是示意性地示出第7实施方式中的加热炉的结构的剖视图。
[0033]图16是示意性地示出蓄热体配置于主体部之外的比较用的加热炉的结构的剖视图。
[0034]附图标记说明
[0035]1被处理物；
[0036]10主体部；
[0037]11热处理空间；
[0038]12加热部；
[0039]13驱动用辊；
[0040]14气体供给口；
[0041]15气体排出口；
[0042]16第1吸引喷出口；
[0043]17第2吸引喷出口；
[0044]20气体供给部；
[0045]30吸引喷出部；
[0046]31a第1气体管路；
[0047]31b第2气体管路；
[0048]31c第1分支管路；
[0049]31d第2分支管路；
[0050]31e连接管路；
[0051]32活塞；
[0052]32a筒；
[0053]32b可动部；
[0054]34a第1风扇；
[0055]34b第2风扇；
[0056]35a第1阀；
[0057]35b第2阀；
[0058]35c第3阀；
[0059]35d第4阀；
[0060]40a第1蓄热体本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种加热炉，其特征在于，具备：主体部，具有用于进行被处理物的热处理的热处理空间，具备配置在所述热处理空间内的加热部；气体供给部，将为了进行热处理所需的气体供给到所述主体部的所述热处理空间；吸引喷出部，具有与所述主体部的所述热处理空间连接的气体管路，反复进行从所述热处理空间向所述气体管路的气体的吸引和被吸引到所述气体管路的气体向所述热处理空间的喷出；和蓄热体，配置在所述气体管路的内部之中位于所述主体部的内部的部分，能够进行热交换。2.根据权利要求1所述的加热炉，其特征在于，所述蓄热体设置在所述气体管路的内部之中贯通了所述主体部的区域。3.根据权利要求1或2所述的加热炉，其特征在于，所述蓄热体的一部分在所述主体部的所述热处理空间内露出。4.根据权利要求1～3中任一项所述的加热炉，其特征在于，在所述主体部设置有与所述气体管路连接的第1吸引喷出口以及第2吸引喷出口，所述第1吸引喷出口设置在所述主体部的对置的一对侧面之中的一个侧面，所述第2吸引喷出口设置在所述一对侧面之中的另一个侧面且在所述一对侧面对置的方向上设置在与所述第1吸引喷出口对置的位置。5.根据权利要求1～4中任一项所述的加热炉，其特征在于，配置所述气体管路，使得相对于所述被处理物载置于所述热处理空间内的载置面向载置所述被处理物的一侧延伸的单位法线向量和沿着从所述气体管路向所述热处理空间喷出的气体的前进方向的单位向量的内积成为负。6.根据权利要求1～5中任一项所述的加热炉，其特征在于，将所述气体管路在与延伸方向正交的面切断时的截面面积之中、所述热处理空间侧的前端的截面面积比配置有所述蓄热体的区域的平均截面面积小。7.根据权利要求1～6中任一项所述的加热炉，其特征在于，所述吸引喷出部具备配置于所述气体管路且具有筒和可动部的活塞，通过所述可动部在所述筒的内部进行往返运动，从而进行气体的吸引以及所吸引的气体的喷出。8.根据权利要求7所述的加热炉，其特征在于，在所述主体部设置有与所述气体管路连接的第1吸引喷出口以及第2吸引喷出口，所述活塞设置在距所述第1吸引喷出口的距离和距所述第2吸引喷出口的距离相等的位置。9.根据权利要求7或8所述的加热炉，其特征在于，所述活塞的所述可动部一边反复进行加速以及减速一边在所述筒的内部移动。10.根据权利要求1～6中任一项所述的加热炉，其特征在于，所述吸引喷出部具备：风扇，配置于所述气体管路；和阀，用于切换从所述热处理空间向所述气体管路的气体的吸引和从所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：秋本茂，林田拓磨，大西明义，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：
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