一种加工方便、发热均匀的单晶炉用底部加热器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种加工方便、发热均匀的单晶炉用底部加热器，包括加热器组件，所述加热器组件包括石墨加热板、导热板、石墨电极、单晶炉底座和电极接头；安装机构，所述安装机构包括拉杆、第一弹簧。本实用新型专利技术通过石墨电极对销轴的一侧挤压使电极接头带动第一弹簧进行压缩，然后通过被压缩的第一弹簧挤压电极接头带动销轴插入定位孔内对石墨电极进行固定，从而完成了对单晶炉底部加热器的安装工作，无需利用锁紧螺栓进行固定，简化了加热器拆装时的操作步骤，然后利用单晶炉的坩埚挤压导热板，使导热板与坩埚底部进行贴合，然后通过导热板吸收石墨加热板产生的热量为坩埚底部进行均匀加热，避免了坩埚出现受热不均匀的现象。现象。现象。

【技术实现步骤摘要】
一种加工方便、发热均匀的单晶炉用底部加热器

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[0001]本技术涉及单晶炉底部加热器
，具体为一种加工方便、发热均匀的单晶炉用底部加热器。

技术介绍
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[0002]单晶炉是一种在惰性气体环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备；单晶炉加热器主要分为中部环形加热器和底部加热器，中部环形加热器主要为单晶炉内的坩埚提供热量，单晶炉底部加热器，主要用于为单晶炉内坩埚底部进行加热，使坩埚受热更加均匀；
[0003]传统的单晶炉底部加热器在使用时，由于底部加热器与坩埚之间存在一定的空间，从而导致坩埚底部容易出现受热不均的情况发生，且底部加热器在进行安装时，通过锁紧螺栓对加热器进行安装固定，从而导致在对底部加热器进行更换时，需要利用特定的工具先将锁紧螺栓取下，才能进行更换，操作步骤较为繁琐，为此，提出一种加工方便、发热均匀的单晶炉用底部加热器。

技术实现思路
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[0004]本技术的目的在于提供一种加工方便、发热均匀的单晶炉用底部加热器，以解决上述
技术介绍
中提出的问题之一。
[0005]本技术由如下技术方案实施：一种加工方便、发热均匀的单晶炉用底部加热器，包括加热器组件，所述加热器组件包括石墨加热板、导热板、石墨电极、单晶炉底座和电极接头；
[0006]安装机构，所述安装机构包括拉杆、第一弹簧、销轴、定位槽和定位孔；
[0007]所述石墨加热板的内侧壁滑动连接有导热板，所述石墨加热板的外侧壁中部对称一体化连接有两个石墨电极，所述石墨加热板的外侧壁对称设有两个单晶炉底座，两个所述单晶炉底座的一侧均开设有定位槽，所述石墨电极的外侧壁滑动连接于定位槽的内侧壁，两个所述单晶炉底座的内侧壁一侧均滑动连接有电极接头，所述电极接头的上表面固定连接有拉杆，所述拉杆的外侧壁套设有第一弹簧，所述第一弹簧的一端固定连接于电极接头的上表面，所述第一弹簧的另一端固定连接于单晶炉底座的内部顶壁。
[0008]作为本技术方案的进一步优选的：所述电极接头的下表面固定连接有销轴，所述石墨电极的内侧壁开设有定位孔，所述销轴的外侧壁滑动连接于定位孔的内侧壁。
[0009]作为本技术方案的进一步优选的：所述石墨加热板的内底部固定连接有套管，所述套管的内侧壁滑动连接有支撑环，所述支撑环的一端固定连接于导热板的底部。
[0010]作为本技术方案的进一步优选的：所述支撑环的一端贯穿套管的内侧壁且固定连接有导向板，所述导向板的外侧壁滑动连接于套管的内侧壁。
[0011]作为本技术方案的进一步优选的：所述导向板的底部固定连接有第二弹簧，所述第二弹簧的一端固定连接于套管的内底部。
[0012]作为本技术方案的进一步优选的：两个所述单晶炉底座的上表面中部均开设有导向孔，所述拉杆的外侧壁滑动连接于导向孔的内侧壁。
[0013]作为本技术方案的进一步优选的：所述导热板的外侧壁均匀固定连接有导向块，所述石墨加热板的内侧壁均匀开设有导向槽，所述导向块的外侧壁滑动连接于导向槽的内侧壁。
[0014]作为本技术方案的进一步优选的：两个所述单晶炉底座的底部均对称开设有两个通孔。
[0015]本技术的优点：本技术通过石墨电极对销轴的一侧挤压使电极接头带动第一弹簧进行压缩，然后通过被压缩的第一弹簧挤压电极接头带动销轴插入定位孔内对石墨电极进行固定，从而完成了对单晶炉底部加热器的安装工作，无需利用锁紧螺栓进行固定，简化了加热器拆装时的操作步骤，然后利用单晶炉的坩埚挤压导热板，使导热板与坩埚底部进行贴合，然后通过导热板吸收石墨加热板产生的热量为坩埚底部进行均匀加热，避免了坩埚出现受热不均匀的现象。
附图说明：
[0016]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1为本技术的结构示意图；
[0018]图2为本技术的剖视结构示意图；
[0019]图3为本技术单晶炉底座的剖视结构示意图；
[0020]图4为本技术的仰视结构示意图。
[0021]图中：1、加热器组件；2、安装机构；101、石墨加热板；102、导热板；103、石墨电极；104、单晶炉底座；105、电极接头；201、拉杆；202、第一弹簧；203、销轴；204、定位槽；205、定位孔；41、套管；42、支撑环；43、第二弹簧；44、导向板；45、导向槽；46、导向块；47、通孔；48、导向孔。
具体实施方式：
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]实施例
[0024]请参阅图1
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4，本技术提供一种技术方案：一种加工方便、发热均匀的单晶炉用底部加热器，包括加热器组件1，加热器组件1包括石墨加热板101、导热板102、石墨电极103、单晶炉底座104和电极接头105；
[0025]安装机构2，安装机构2包括拉杆201、第一弹簧202、销轴203、定位槽204和定位孔205；
[0026]石墨加热板101的内侧壁滑动连接有导热板102，石墨加热板101的外侧壁中部对称一体化连接有两个石墨电极103，石墨加热板101的外侧壁对称设有两个单晶炉底座104，两个单晶炉底座104的一侧均开设有定位槽204，石墨电极103的外侧壁滑动连接于定位槽204的内侧壁，两个单晶炉底座104的内侧壁一侧均滑动连接有电极接头105，电极接头105的上表面固定连接有拉杆201，拉杆201的外侧壁套设有第一弹簧202，第一弹簧202的一端固定连接于电极接头105的上表面，第一弹簧202的另一端固定连接于单晶炉底座104的内部顶壁。
[0027]本实施例中，具体的：电极接头105的下表面固定连接有销轴203，石墨电极103的内侧壁开设有定位孔205，销轴203的外侧壁滑动连接于定位孔205的内侧壁；通过将销轴203插入定位孔205内，对石墨电极103进行固定和限位。
[0028]本实施例中，具体的：石墨加热板101的内底部固定连接有套管41，套管41的内侧壁滑动连接有支撑环42，支撑环42的一端固定连接于导热板102的底部，支撑环42的一端贯穿套管41的内侧壁且固定连接有导向板44，导向板44的外侧壁滑动连接于套管41的内侧壁，导向板44的底部固定连接有第二弹簧43，第二弹簧43的一端固定连接于套管41的内底部；通过支撑环42带动导向板44运动，运动的导向板44带动第二弹簧43进行压缩，然后本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种加工方便、发热均匀的单晶炉用底部加热器，其特征在于，包括加热器组件(1)，所述加热器组件(1)包括石墨加热板(101)、导热板(102)、石墨电极(103)、单晶炉底座(104)和电极接头(105)；安装机构(2)，所述安装机构(2)包括拉杆(201)、第一弹簧(202)、销轴(203)、定位槽(204)和定位孔(205)；所述石墨加热板(101)的内侧壁滑动连接有导热板(102)，所述石墨加热板(101)的外侧壁中部对称一体化连接有两个石墨电极(103)，所述石墨加热板(101)的外侧壁对称设有两个单晶炉底座(104)，两个所述单晶炉底座(104)的一侧均开设有定位槽(204)，所述石墨电极(103)的外侧壁滑动连接于定位槽(204)的内侧壁，两个所述单晶炉底座(104)的内侧壁一侧均滑动连接有电极接头(105)，所述电极接头(105)的上表面固定连接有拉杆(201)，所述拉杆(201)的外侧壁套设有第一弹簧(202)，所述第一弹簧(202)的一端固定连接于电极接头(105)的上表面，所述第一弹簧(202)的另一端固定连接于单晶炉底座(104)的内部顶壁。2.根据权利要求1所述的加工方便、发热均匀的单晶炉用底部加热器，其特征在于：所述电极接头(105)的下表面固定连接有销轴(203)，所述石墨电极(103)的内侧壁开设有定位孔(205)，所述销轴(203)的外侧壁滑动连接于定位孔(205)的内侧壁。3.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：陶崇华，马进明，马成军，薛峰，
申请(专利权)人：包头汉思新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：