本发明专利技术涉及晶圆技术领域，具体是一种晶圆再生用上料装置及其方法，包括底座，还包括移位固定机构、高度调节机构和拼接转运机构，所述移位固定机构固定安装在底座底部两侧，所述高度调节机构固定安装在底座顶部，所述高度调节机构包括升降台，本发明专利技术通过设置有移位调节机构、旋转机构和限位夹持机构，推动防护垫使防护垫带动活动钩与活动块相接触，持续推动使活动钩两侧向内折叠，直至通过活动块，活动钩再进行回弹，从而使活动钩与活动块固定连接，从而使防护垫固定安装在限位槽内侧，可以在对晶圆夹持过程中对晶圆进行更好的防护，避免在使用时对晶圆造成伤害，同时限位槽的设置可以更好的对晶圆的位置进行限定，避免上料时产生晃动。晃动。晃动。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆再生用上料装置及其方法
[0001]本专利技术涉及晶圆
，具体是一种晶圆再生用上料装置及其方法。
技术介绍
[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工一片或多片晶圆。随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点，晶圆再生过程中需要进行各类的加工工序，在整体加工过程中需要不断地对晶圆进行上料传送，以便于进行不同程序的加工。
[0003]现有技术中，存在问题如下：（1）现有的上料装置在使用时通常无法更加便捷快速的对装置的角度和位置进行调节，在上料时无法根据不同的使用情况对装置的位置进行移动，无法适应不同的使用情况；（2）现有的上料装置在使用时通常无法更加便捷的对装置的高度和位置进行调节，在使用过程中无法根据使用的需求匹配不同的加工装置，使用具有一定的局限性。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的在于提供一种晶圆再生用上料装置及其方法，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]本专利技术的技术方案是：一种晶圆再生用上料装置及其方法，包括底座，还包括移位固定机构、高度调节机构和拼接转运机构，所述移位固定机构固定安装在底座底部两侧，所述高度调节机构固定安装在底座顶部，所述高度调节机构包括升降台，所述升降台两侧设置有延伸机构，所述延伸机构顶部两侧固定安装有移位调节机构，所述移位调节机构包括四个安装板、四个分别固定安装在四个安装板顶部的丝杆滑台、两个分别固定安装在四个丝杆滑台的滑动块顶部的第一支撑板、两个分别固定安装在两个第一支撑板顶部的第一电动转盘、两个分别固定安装在两个第一电动转盘顶部的连接块、两个分别固定安装在两个连接块顶部的电动升降套杆和两个分别固定安装在两个电动升降套杆的伸缩端的摇臂，两个所述摇臂底部分别固定安装有旋转机构，所述旋转机构底部固定安装有限位夹持机构，所述拼接转运机构固定安装在升降台一侧。
[0006]优选的，所述移位固定机构包括四个分别固定安装在底座底部两侧的滚轮、两个分别固定安装在底座两侧的固定板、四个分别固定安装在两个固定板底部的液压杆和四个分别固定安装在四个液压杆底端的固定脚。
[0007]优选的，所述高度调节机构包括机箱、伺服电机、螺纹杆、旋转块、顶板、升降台和两个分别固定连接在机箱与顶板之间的导杆，所述机箱固定安装在底座顶部，所述伺服电机固定安装在机箱内部，所述螺纹杆固定安装在伺服电机上午输出端，所述旋转块固定安
装在螺纹杆顶部，所述顶板固定安装在旋转块顶部，所述升降台配合安装在螺纹杆外部。
[0008]优选的，所述延伸机构包括两个分别开设在升降台两侧的安装槽、多个分别固定安装在两个安装槽内部的电动推杆和两个分别固定安装在多个电动推杆的伸缩端的延长板。
[0009]优选的，所述旋转机构包括两个分别固定安装在两个摇臂底部的安装块、两个分别固定安装在两个安装块底部的第二电动转盘和两个分别固定安装在两个第二电动转盘底部的第二支撑板。
[0010]优选的，所述限位夹持机构包括两个分别固定安装在两个第二支撑板底部一侧的定位板、两个分别固定安装在两个第二支撑板底部的电动滑轨、两个分别固定安装在两个电动滑轨的滑动块底部的活动板、四个分别固定安装在两个活动板和两个定位板内侧的伸缩套、多个分别固定安装在四个伸缩套内部的固定块和四个分别配合安装在四个伸缩套内侧的伸缩夹板，每个所述固定块与伸缩夹板之间均连接有一个伸缩弹簧。
[0011]优选的，所述限位夹持机构还包括四个分别开设在四个伸缩夹板一侧的限位槽、多个分别固定安装在四个限位槽一侧的活动块、四个分别配合安装在四个活动块内侧的活动钩和四个分别固定安装在多个活动钩一侧的防护垫。
[0012]优选的，所述拼接转运机构包括连接板、卡槽、卡块和传送带，所述连接板固定安装在升降台一侧，所述卡槽开设在连接板一侧，所述卡块配合安装在卡槽内侧，所述传送带固定连接在卡块一侧。
[0013]本专利技术通过改进在此提供一种晶圆再生用上料装置及其方法，与现有技术相比，具有如下改进及优点：其一：本专利技术通过设置有移位调节机构、旋转机构和限位夹持机构，推动防护垫使防护垫带动活动钩与活动块相接触，持续推动使活动钩两侧向内折叠，直至通过活动块，活动钩再进行回弹，从而使活动钩与活动块固定连接，从而使防护垫固定安装在限位槽内侧，可以在对晶圆夹持过程中对晶圆进行更好的防护，避免在使用时对晶圆造成伤害，同时限位槽的设置可以更好的对晶圆的位置进行限定，避免上料时产生晃动，再打开丝杆滑台使丝杆滑台带动第一支撑板移动至晶圆上方，再打开电动升降套杆使电动升降套杆带动摇臂向下移动，直至两个伸缩夹板分别移动至晶圆两侧，再打开电动滑轨使电动滑轨的滑动块带动一个伸缩夹板向内移动，直至防护垫与晶圆两侧相接触，伸缩夹板带动伸缩弹簧向内收缩，同时伸缩弹簧产生回弹力，从而更好对晶圆起到稳定夹持的效果，避免了上料过程中产生晃动，导致脱落，影响后续的使用，将晶圆夹持完成后打开第一电动转盘使第一电动转盘带动摇臂进行旋转，使摇臂带动晶圆旋转至所需的位置，再将晶圆缓慢放置，安装板、丝杆滑台、第一支撑板、第一电动转盘、连接块、电动升降套杆和摇臂的设置可以更加便捷的根据晶圆的位置对夹持装置的位置进行调节，以便于使装置可以适应不同的使用情况，使用更加的便捷，便于将晶圆拿起放下，同时第一电动转盘可以将晶圆转移至各个位置，适用范围更加的广泛，再第二电动转盘的设置，可以更加便于对晶圆的角度进行调节；其二：本专利技术通过设置有移位固定机构、高度调节机构和拼接转运机构，推动底座使底座带动滚轮进行滚动，将装置移动至加工设备一侧，再开液压杆使液压杆带动固定脚向下移动，直至固定脚与地面贴紧固定，从而使底座保持稳定，可以更加便捷的根据使用的需求对装置进行移位，使用更加的便捷，再打开伺服电机使伺服电机带动螺纹杆通过旋转
块进行旋转，螺纹杆旋转过程中使升降台沿着导杆向上或向下移动，对装置的高度进行调节，使上料装置的高度与加工设备的高度向匹配，以便于使晶圆可以更加准确进行上料，使用更加的便捷，当装置与加工设备之间距离较远时，推动传送带使传送带带动卡块与卡槽卡合固定，从而使传送带固定安装在升降台一侧，以便于对晶圆进行二次转运，可以更加便捷的适应各类设备，大大提升了装置的适用范围。
附图说明
[0014]下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步解释:图1是本专利技术的立体结构示意图；图2是本专利技术的高度调节机构和延伸机构结构示意图；图3是本专利技术的拼接转运机构结构示意图；图4是本专利技术的移位调节机构结构示意图；图5是本专利技术的旋转机构和限位夹持机构结构示意图；图6是本专利技术的图5中A处放大结构示意图。
[0015]附图标记说明：1、底座；2、移位固定机构；21、滚轮；22、固定板；23、液压杆；24、固定脚；3、高度调节机构；31、机箱；32、伺服电机本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆再生用上料装置及其方法，包括底座（1），其特征在于：还包括移位固定机构（2）、高度调节机构（3）和拼接转运机构（8），所述移位固定机构（2）固定安装在底座（1）底部两侧，所述高度调节机构（3）固定安装在底座（1）顶部，所述高度调节机构（3）包括升降台（37），所述升降台（37）两侧设置有延伸机构（4），所述延伸机构（4）顶部两侧固定安装有移位调节机构（5），所述移位调节机构（5）包括四个安装板（51）、四个分别固定安装在四个安装板（51）顶部的丝杆滑台（52）、两个分别固定安装在四个丝杆滑台（52）的滑动块顶部的第一支撑板（53）、两个分别固定安装在两个第一支撑板（53）顶部的第一电动转盘（54）、两个分别固定安装在两个第一电动转盘（54）顶部的连接块（55）、两个分别固定安装在两个连接块（55）顶部的电动升降套杆（56）和两个分别固定安装在两个电动升降套杆（56）的伸缩端的摇臂（57），两个所述摇臂（57）底部分别固定安装有旋转机构（6），所述旋转机构（6）底部固定安装有限位夹持机构（7），所述拼接转运机构（8）固定安装在升降台（37）一侧。2.根据权利要求1所述的一种晶圆再生用上料装置及其方法，其特征在于：所述移位固定机构（2）包括四个分别固定安装在底座（1）底部两侧的滚轮（21）、两个分别固定安装在底座（1）两侧的固定板（22）、四个分别固定安装在两个固定板（22）底部的液压杆（23）和四个分别固定安装在四个液压杆（23）底端的固定脚（24）。3.根据权利要求1所述的一种晶圆再生用上料装置及其方法，其特征在于：所述高度调节机构（3）包括机箱（31）、伺服电机（32）、螺纹杆（33）、旋转块（34）、顶板（35）、升降台（37）和两个分别固定连接在机箱（31）与顶板（35）之间的导杆（36），所述机箱（31）固定安装在底座（1）顶部，所述伺服电机（32）固定安装在机箱（31）内部，所述螺纹杆（33）固定安装在伺服电机（32）上午输出端，所述旋转块（34）固定安装在螺纹杆（33）顶部，所述顶板（35）固定安装在旋转块（34）顶部，所述升降台（37）配合安装在螺纹杆（...
【专利技术属性】
技术研发人员：张德海，吴伟，陈磊，
申请(专利权)人：安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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