本发明专利技术公开了一种喷涂均匀的旋转式扫描电镜喷金装置，包括喷金仪主体，所述喷金仪主体的顶部固定安装有底座，所述底座的顶部固定安装有喷金仓，所述底座的内部转动安装有转盘，所述转盘的顶部固定安装有连接座，所述连接座的顶部滑动安装有支撑架，支撑架的外壁固定安装有安装盒。本发明专利技术通过启动第一伺服电机，第一伺服电机运行通过传动轮与传动带带动转盘进行转动，通过转盘转动可带动支撑架进行转动，再启动第二伺服电机，第二伺服电机运行时通过第二转杆带动安装板进行转动，通过安装板转动可带动限位板进行转动，通过限位板与转盘纵向和横向进行转动，从而带动样品进行纵向和横向转动，从而使得喷金头能够更加全面高效的对样品进行喷金。的对样品进行喷金。的对样品进行喷金。
【技术实现步骤摘要】
一种喷涂均匀的旋转式扫描电镜喷金装置
[0001]本专利技术涉及喷金装置
，具体为一种喷涂均匀的旋转式扫描电镜喷金装置。
技术介绍
[0002]扫描电子显微镜是一种电子显微镜，它通过用聚焦电子束扫描表面来产生样品的图像，电子与样品中的原子相互作用，产生包含样品表面形貌和成分信息的各种信号，电子束的扫描路径形如光栅，将电子束的位置与检测信号的强度相结合即可输出图像。在最常见的SEM模式下，用艾弗哈特
‑
索恩利探测器可以检测到由电子束轰击原子所激发的二次电子，不考虑其它因素，可以检测到的二次电子数以及信号强度取决于样品形貌；样品进行扫描电镜观察前，通常需要对其表面镀一层金属膜，以便减少观察时产生的荷电，并增强二次电子或背散射电子信号，获得更好的信噪比，在对样品喷金时需要用到喷金装置，但是现有的喷金装置在使用时依旧存在着一定的缺陷。
[0003]现有技术中喷金装置存在的缺陷是：1、在现有的喷金装置在对样品喷金时，由于样品直接放置在喷金装置的喷金仓内，不能够对样品进行翻转和转动，不能够对样品进行全面的喷金，且降低样品喷金的效率，使得样品在后续扫描时存在一定的缺陷，不方便工作人员进行使用；2、在现有的喷金装置在对样品喷金时，由于检查样品的规格不同，喷金装置不具备相应的夹具，不能够对不同规格的样品进行夹持，工作人员对样品夹持喷金时较为麻烦，不方便工作人员进行使用；3、在现有的喷金装置在对样品喷金时，喷金装置的喷金仓密封性较差，工作人员需要将喷金仓上方的密封盖按住，以保证喷金仓在使用时的密封性，但是这样会增加工作人员的工作量，且可能由于工作人员的疏忽，导致喷金仓没有完全密封，从而降低喷金装置对样品喷金的质量，使得样品在后续扫描时存在一定的缺陷。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的在于提供一种喷涂均匀的旋转式扫描电镜喷金装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案，一种喷涂均匀的旋转式扫描电镜喷金装置，包括喷金仪主体，所述喷金仪主体的顶部固定安装有底座，所述底座的顶部固定安装有喷金仓，所述底座的内部转动安装有转盘，所述转盘的顶部固定安装有连接座，所述连接座的顶部滑动安装有支撑架，所述支撑架的外壁固定安装有安装盒，所述喷金仪主体的固定安装有直线电机，所述直线电机的输出端安装有连接板，所述连接板的外壁固定安装有安装台架，所述安装台架的顶部固定安装有气缸，且气缸的底端贯穿在安装台架的底部，所述气缸的底端固定安装有密封盖。
[0006]优选的，所述喷金仓的内侧壁固定安装有第一密封条，所述喷金仓的外壁固定安
装有第一连接盘，所述第一连接盘的顶部固定安装有第二密封条。
[0007]优选的，所述喷金仪主体的顶部安装有喷金头，所述喷金头的顶端贯穿在喷金仓的内部，且喷金头位于转盘的内侧，所述底座的内部固定安装有第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出端安装有第一转杆，所述转盘的外壁与第一转杆的外壁均安装有传动轮，两组所述传动轮的外壁连接有传动带，所述底座的内底壁固定安装有限位套，且第一转杆的底端转动连接在限位套的内侧。
[0008]优选的，所述连接座的顶部开设有连接槽，且支撑架的底端嵌合在连接槽的内侧，所述支撑架的底端外壁开设有限位槽，且限位槽与连接槽的内侧壁嵌合连接。
[0009]优选的，所述安装盒的顶部固定安装有蓝牙控制器，所述安装盒的内部固定安装有第二伺服电机，所述安装盒的内部安装有蓄电池，且蓄电池与第二伺服电机和蓝牙控制器电性连接，所述第二伺服电机的输出端安装有第二转杆，且第二转杆的顶端贯穿在安装盒的外部。
[0010]优选的，所述第二转杆的顶端固定连接有安装板，所述安装板的外壁开设有两组滑槽，两组所述滑槽的内部滑动安装有滑块，所述滑块的一侧外壁螺纹连接有第一紧固栓，所述滑块的另一侧外壁固定安装有支撑板，所述支撑板的外壁螺纹连接有第二紧固栓，所述支撑板的内侧滑动安装有限位板，所述限位板的内侧壁固定安装有防滑垫。
[0011]优选的，所述安装台架的顶部固定安装有固定板，所述固定板的顶部固定安装有气泵，所述气泵的吸气端固定连接有抽气管。
[0012]优选的，所述密封盖的顶部安装有固定座，且固定座与抽气管的底端固定连接，所述密封盖的内顶壁固定安装有连接套，所述密封盖的底端固定安装有第二连接盘，所述第二连接盘的底部固定安装有第三密封条。
[0013]优选的，该扫描电镜喷金装置的使用方法如下：S1、在扫描电镜喷金装置在使用时，将支撑架从喷金仓的内部取出，通过将两组滑块在安装板外壁两组滑槽的内部进行滑动，从而对两组支撑板之间的距离进行调整，通过限位板在支撑板的内侧进行滑动，从而对限位板的长度进行调整，在调整之后，再通过转动第二紧固栓将限位板固定住，通过限位板对样品进行夹持，再通过转动第一紧固栓将滑块固定住，保证两组限位板的稳定性，从而保证样品的稳定性，然后再将支撑架放入喷金仓的内部；S2、在样品放入喷金仓的内部之后，通过启动直线电机，直线电机运行带动安装台架进行上下移动，通过安装台架向下移动，从而带动气缸与密封盖向下移动，再通过气缸运行，气缸运行时可带动密封盖下压，使得密封盖与喷金仓的连接，通过第一连接盘与第二连接盘连接，再通过第二密封条与第三密封条连接，从而保证密封盖与喷金仓连接的密封性；S3、在对喷金仓内部的样品进行喷金时，通过启动气泵，气泵运行时通过抽气管将喷金仓的内部抽至真空，在启动喷金仪主体，喷金仪主体运行时通过喷金头对喷金仓内部的样品进行喷金；S4、在对样品进行喷金时，通过启动第一伺服电机，第一伺服电机运行通过传动轮与传动带带动转盘进行转动，通过转盘转动可带动支撑架进行转动，再启动第二伺服电机，第二伺服电机运行时通过第二转杆带动安装板进行转动，通过安装板转动可带动限位板进行转动，通过限位板与转盘纵向和横向进行转动，从而带动样品进行纵向和横向转动，从而
使得喷金头能够更加全面高效的对样品进行喷金。
[0014]与现有技术相比，本专利技术的有益效果如下：1、本专利技术通过启动第一伺服电机，第一伺服电机运行通过传动轮与传动带带动转盘进行转动，通过转盘转动可带动支撑架进行转动，再启动第二伺服电机，第二伺服电机运行时通过第二转杆带动安装板进行转动，通过安装板转动可带动限位板进行转动，通过限位板与转盘纵向和横向进行转动，从而带动样品进行纵向和横向转动，从而使得喷金头能够更加全面高效的对样品进行喷金。
[0015]2、本专利技术通过支撑架的底端嵌合在连接槽的内侧，再通过支撑架底端外壁的限位槽与连接槽的内侧壁嵌合连接，从而保证支撑架与连接座连接的稳定性，且方便工人员将支撑架从喷金仓的内部取出，方便工作人员对样品进行夹持，通过将两组滑块在安装板外壁两组滑槽的内部进行滑动，从而对两组支撑板之间的距离进行调整，通过限位板可对样品进行夹持，通过限位板在支撑板的内侧进行滑动，从而对限位板的长度进行调整，使得限位板能够对不同大小的样品进行夹持，方便工作人员进行使用。
[0016]3、本专利技术通过第一连接盘与第二连接盘本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种喷涂均匀的旋转式扫描电镜喷金装置，包括喷金仪主体（1），其特征在于：所述喷金仪主体（1）的顶部固定安装有底座（2），所述底座（2）的顶部固定安装有喷金仓（3），所述底座（2）的内部转动安装有转盘（8），所述转盘（8）的顶部固定安装有连接座（14），所述连接座（14）的顶部滑动安装有支撑架（16），所述支撑架（16）的外壁固定安装有安装盒（18），所述喷金仪主体（1）的固定安装有直线电机（30），所述直线电机（30）的输出端安装有连接板（31），所述连接板（31）的外壁固定安装有安装台架（32），所述安装台架（32）的顶部固定安装有气缸（36），且气缸（36）的底端贯穿在安装台架（32）的底部，所述气缸（36）的底端固定安装有密封盖（37）。2.根据权利要求1所述的一种喷涂均匀的旋转式扫描电镜喷金装置，其特征在于：所述喷金仓（3）的内侧壁固定安装有第一密封条（4），所述喷金仓（3）的外壁固定安装有第一连接盘（5），所述第一连接盘（5）的顶部固定安装有第二密封条（6）。3.根据权利要求1所述的一种喷涂均匀的旋转式扫描电镜喷金装置，其特征在于：所述喷金仪主体（1）的顶部安装有喷金头（7），所述喷金头（7）的顶端贯穿在喷金仓（3）的内部，且喷金头（7）位于转盘（8）的内侧，所述底座（2）的内部固定安装有第一伺服电机（10），所述第一伺服电机（10）的输出端安装有第一转杆（11），所述转盘（8）的外壁与第一转杆（11）的外壁均安装有传动轮（9），两组所述传动轮（9）的外壁连接有传动带（13），所述底座（2）的内底壁固定安装有限位套（12），且第一转杆（11）的底端转动连接在限位套（12）的内侧。4.根据权利要求1所述的一种喷涂均匀的旋转式扫描电镜喷金装置，其特征在于：所述连接座（14）的顶部开设有连接槽（15），且支撑架（16）的底端嵌合在连接槽（15）的内侧，所述支撑架（16）的底端外壁开设有限位槽（17），且限位槽（17）与连接槽（15）的内侧壁嵌合连接。5.根据权利要求1所述的一种喷涂均匀的旋转式扫描电镜喷金装置，其特征在于：所述安装盒（18）的顶部固定安装有蓝牙控制器（19），所述安装盒（18）的内部固定安装有第二伺服电机（20），所述安装盒（18）的内部安装有蓄电池（42），且蓄电池（42）与第二伺服电机（20）和蓝牙控制器（19）电性连接，所述第二伺服电机（20）的输出端安装有第二转杆（21），且第二转杆（21）的顶端贯穿在安装盒（18）的外部。6.根据权利要求5所述的一种喷涂均匀的旋转式扫描电镜喷金装置，其特征在于：所述第二转杆（21）的顶端固定连接有安装板（22），所述安装板（22）的外壁开设有两组滑槽（23），两组所述滑槽（23）的内部滑动安装有滑块（24），所述滑块（24）的一侧外壁螺纹连接有第一紧固栓（25），所述滑块（24）的另一侧外壁固定安装有支撑板（26），所述支撑板（26）的外壁螺纹连接有第二紧固栓（27）...
【专利技术属性】
技术研发人员：周秦，田辉，程鹏，盖海峰，李腾飞，王星，王鑫涛，
申请(专利权)人：中国科学院广州地球化学研究所，
类型：发明
国别省市：
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