一种划片刀多功能清洗机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种划片刀多功能清洗机，属于半导体设备领域，包括机身，机身的内侧转动安装有浸泡桶以及与浸泡桶错开的清洗桶，浸泡桶的下端固定安装有出液管，清洗桶的下端固定安装有进水管以及与进水管错开的出水管，出液管的一端、进水管的一端和出水管的一端均延伸出机身内部，机身的上壁设置有上料机构，机身的下壁设置有吸紧机构，上料机构包括设置在机身上壁的传动组件，传动组件上设置有机头组件，机头组件的一端设置有连接轴，连接轴的一端固定安装有夹具连接套，它可以实现便于更划片刀在不同的空间分别进行清洗和干燥，减少划片刀干燥时随气流附着的碎屑，以提高划片刀清洗和干燥后产品的洁净度。清洗和干燥后产品的洁净度。清洗和干燥后产品的洁净度。

【技术实现步骤摘要】
一种划片刀多功能清洗机


[0001]本技术涉及半导体设备领域，更具体地说，涉及一种划片刀多功能清洗机。

技术介绍

[0002]划片刀(dicing blade)是用来切割晶圆，制造芯片的重要工具，它对于芯片的质量和寿命有直接的影响，划片刀常常是由合金和金刚砂熔铸而成，在生产加工时，存在一定程度的油污和碎屑，碎屑能够被磁场吸引，为了便于下道工序的生产和销售，一般都会对产品进行清洗；
[0003]经专利检索发现，公开号为CN214718863U的中国专利公开了一种硬质合金刀片生产用自动清洗装置，包括装置座、固定杆、连接箱、过滤板、弹簧、限位槽、刀片工件、水泵、出水管、连接管、出气管、单向阀、气泵、连接架、螺栓、马达和齿轮轴，其虽然通过水泵鼓动出水管中的水，将水喷入限位槽，再通过马达带动支撑架进行转动，使刀片工件进行转动清洗，清洗效果较好，刀片工件清洗后的废水通过装置座向下流入连接箱的内部，通过固定板对废水进行过滤，使过滤后的废水可以循环使用，然后气泵通过出气管向连接管的内部鼓风，空气通过出气管向刀片工件表面排出，使刀片工件进行风干，使该装置集硬质合金刀片清洗和烘干的功能于一体；
[0004]但是并未解决现有硬质合金刀片生产用自动清洗装置在清洗划片刀的过程中，通过限位槽放置划片刀，先通过水泵和出水管泵送水，来冲洗限位槽中划片刀上的油污和碎屑，而部分碎屑在沉降作用下附着在限位槽的内壁，再通过气泵和出气管向限位槽中鼓入空气，来干燥划片刀，划片刀的清洗和干燥均在同一空间内进行，使得气流吹动限位槽内壁附着的碎屑，碎屑飞落到划片刀上，划片刀被二次污染，造成划片刀在同一空间进行清洗和干燥后产品洁净度不高的问题，为此我们提出一种划片刀多功能清洗机。

技术实现思路

[0005]1.要解决的技术问题
[0006]针对现有技术中存在的问题，本技术的目的在于提供一种划片刀多功能清洗机，它可以实现便于更划片刀在不同的空间分别进行清洗和干燥，减少划片刀干燥时随气流附着的碎屑，以提高划片刀清洗和干燥后产品的洁净度。
[0007]2.技术方案
[0008]为解决上述问题，本技术采用如下的技术方案。
[0009]一种划片刀多功能清洗机，包括机身，所述机身的内侧转动安装有浸泡桶以及与浸泡桶错开的清洗桶，所述浸泡桶的下端固定安装有出液管，所述清洗桶的下端固定安装有进水管以及与进水管错开的出水管，所述出液管的一端、进水管的一端和出水管的一端均延伸出机身内部，所述机身的上壁设置有上料机构，所述机身的下壁设置有吸紧机构。
[0010]进一步的，所述上料机构包括设置在机身上壁的传动组件，所述传动组件上设置有机头组件，所述机头组件的一端设置有连接轴，所述连接轴的一端固定安装有夹具连接
套，所述夹具连接套远离连接轴的一端固定安装有夹具。
[0011]进一步的，所述吸紧机构包括固定安装在机身下壁的电磁铁，所述电磁铁的一端电性连接有电动开关。
[0012]进一步的，所述出液管的外侧装配有出液球阀，所述出水管的外侧装配有出水球阀。
[0013]进一步的，所述清洗桶的下端和进水管的一端之间通过设置有活结固定连接，所述进水管的外侧装配有进水球阀。
[0014]进一步的，所述电磁铁的数量为两个，两个所述电磁铁分别位于浸泡桶的正下方和清洗桶的正下方。
[0015]3.有益效果
[0016]相比于现有技术，本技术的优点在于：
[0017](1)本方案将浸泡桶中灌入足量的溶液，通过上料机构移动划片刀，直至划片刀完全没入浸泡桶的溶液中，上料机构带动划片刀旋转，划片刀上附着的碎屑和油渍在离心作用下脱离，溶液可以清洗划片刀上的污垢和油渍，当溶液不可用再用或回收时，可以通过出液管定期排出，使得碎屑和油渍随溶液留在浸泡桶中，再通过上料机构将浸泡桶中的划片刀送入清洗桶中，进水管向清洗桶中输送纯水，同时上料机构带动划片刀旋转，来冲洗划片刀上残留的碎屑和油渍，并且被用过的纯水通过出水管排出，直至纯水排空，再通过上料机构带动划片刀旋转，方便甩干划片刀上的水分，便于更划片刀在不同的空间分别进行清洗和干燥，减少划片刀干燥时随气流附着的碎屑，以提高划片刀清洗和干燥后产品的洁净度。
[0018](2)本方案当划片刀旋转时，划片刀带动浸泡桶中的溶液或清洗桶中的纯水和气流流动，溶液、纯水或气流分别带动浸泡桶和清洗桶中的碎屑旋转，碎屑接近浸泡桶或清洗桶中的划片刀，通过控制电动开关闭合，为电磁铁接通电源，电磁铁的磁场作用在碎屑上，碎屑被电磁铁吸引而向电磁铁运动，直至碎屑接触浸泡桶的下壁或清洗桶的下壁，使得碎屑堆积在浸泡桶的下壁或清洗桶的下壁，减少接近划片刀的碎屑，降低碎屑二次附着在划片刀上的情况发生。
附图说明
[0019]图1为本技术的主视的结构示意图；
[0020]图2为本技术的后视的结构示意图；
[0021]图3为本技术的主视的透视结构示意图；
[0022]图4为本技术的后视的透视结构示意图；
[0023]图5为本技术的传动组件的主视结构示意图；
[0024]图6为本技术的机头组件的主视结构示意图；
[0025]图7为本技术的浸泡桶的主视结构示意图；
[0026]图8为本技术的清洗桶的主视结构示意图。
[0027]图中标号说明：
[0028]1、机身；2、浸泡桶；3、出液管；4、清洗桶；5、进水管；6、出水管；7、连接轴；8、夹具连接套；9、夹具；10、电磁铁；11、电动开关；12、出液球阀；13、出水球阀；14、活结；15、进水球阀；16、操作对开门；17、前检查对开门；18、右检查对开门；19、左检查对开门；20、后检查门；
21、后维护门；22、左维护门；23、电控柜；24、安装板；25、直线导轨；26、纵向传动KK模组；27、横向传动KK模组；28、纵向传动电机；29、纵向传动拖链；30、横向传动电机；31、横向传动拖链；32、连接板；33、机头电机；34、进水压力表；35、电机罩壳；36、电缆罩壳。
具体实施方式
[0029]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0030]实施例：
[0031]请参阅图1
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8，一种划片刀多功能清洗机，包括机身1，机身1的内侧转动安装有浸泡桶2以及与浸泡桶2错开的清洗桶4，浸泡桶2位于机身1内部的左边，清洗桶4位于机身1内部的右边，浸泡桶2的下端固定安装有出液管3，清洗桶4的下端固定安装有进水管5以及与进水管5错开的出水管6，出液管3的一端、进水管5的一端和出水管6的一端均延伸出机身1内部，机身1的上壁设置有上料机构，机身1的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种划片刀多功能清洗机，包括机身(1)，其特征在于：所述机身(1)的内侧转动安装有浸泡桶(2)以及与浸泡桶(2)错开的清洗桶(4)，所述浸泡桶(2)的下端固定安装有出液管(3)，所述清洗桶(4)的下端固定安装有进水管(5)以及与进水管(5)错开的出水管(6)，所述出液管(3)的一端、进水管(5)的一端和出水管(6)的一端均延伸出机身(1)内部，所述机身(1)的上壁设置有上料机构，所述机身(1)的下壁设置有吸紧机构。2.根据权利要求1所述的一种划片刀多功能清洗机，其特征在于：所述上料机构包括设置在机身(1)上壁的传动组件，所述传动组件上设置有机头组件，所述机头组件的一端设置有连接轴(7)，所述连接轴(7)的一端固定安装有夹具连接套(8)，所述夹具连接套(8)远离连接轴(7)的一端固定安装...

【专利技术属性】
技术研发人员：笪玲玲，
申请(专利权)人：江苏三晶半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：