夹取装置及龙门装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种夹取装置，涉及硅片制备领域。该夹取装置包括：机架；固定夹爪，与机架连接并在第一方向上与机架相对固定；活动夹爪，与机架连接，并沿第一方向与固定夹爪间隔设置，活动夹爪能够相对机架沿第一方向运动以调整与固定夹爪的间距。本实用新型专利技术还提供一种龙门装置，应用了上述夹取装置，能够夹取不同尺寸的硅片，适用范围较大。适用范围较大。适用范围较大。

【技术实现步骤摘要】
夹取装置及龙门装置


[0001]本技术涉及硅片制备领域，尤其涉及一种夹取装置及龙门装置。

技术介绍

[0002]龙门装置是在硅片的制备过程中，需要通过龙门装置将待加工的硅片放置于生产线的传输设备上，还需要通过龙门装置将加工完成后的硅片从传输设备上移出。相关的龙门装置设置有夹爪装置，通过夹爪装置夹取硅片，这种龙门装置用于夹取特定尺寸的硅片，适用范围较为狭窄。

技术实现思路

[0003]本技术提供一种夹取装置及一种龙门装置，用于解决如何能够夹取不同尺寸的硅片，以扩大龙门装置的适用范围的技术问题。
[0004]本技术实施例提供一种夹取装置，该夹取装置包括：机架；固定夹爪，与所述机架连接并在第一方向上与所述机架相对固定；活动夹爪，与所述机架连接，并沿第一方向与所述固定夹爪间隔设置，所述活动夹爪能够相对所述机架沿所述第一方向运动以调整与所述固定夹爪的间距；沿所述第一方向延伸的滑轨，与所述机架连接；滑动件，套设于所述滑轨的至少部分的外部，且能够相对所述滑轨沿所述第一方向运动；转接板，与所述滑动件固定连接；其中，所述活动夹爪与所述滑动件固定连接；多个所述活动夹爪通过所述转接板与所述滑动件固定连接。
[0005]进一步的，所述夹取装置还包括：夹爪驱动件，与所述机架固定连接，并与所述活动夹爪连接，用于驱动所述活动夹爪沿所述第一方向运动。
[0006]进一步的，所述夹爪驱动件包括：第一夹爪驱动件，与所述机架固定连接，且沿所述第一方向设置于所述固定夹爪的一侧；第二夹爪驱动件，与所述机架固定连接，且沿所述第一方向设置于所述固定夹爪的所述一侧的相对的另一侧；其中，所述活动夹爪具有多个，且沿所述第一方向设置于所述固定夹爪的两侧，且靠近所述第一夹爪驱动件的所述活动夹爪与所述第一夹爪驱动件连接，靠近所述第二夹爪驱动件的所述活动夹爪与所述第二夹爪驱动件连接。
[0007]进一步的，所述活动夹爪和所述固定夹爪均包括沿第二方向间隔设置的两个夹持部，所述夹持部可相对所述机架沿所述第二方向运动，所述第二方向与所述第一方向垂直。
[0008]进一步的，所述夹取装置还包括：开合驱动组件，与所述机架固定连接，并与两个所述夹持部连接以驱动两个所述夹持部在所述第二方向上反向运动。
[0009]进一步的，所述开合驱动组件包括：开合电机，与所述机架固定连接；第一传动组件，与所述开合电机连接，并与靠近所述第一传动组件的所述夹持部连接；第二传动组件，与所述第一传动组件连接，随所述第一传动组件运动，并与靠近所述第二传动组件的所述夹持部连接；其中，连接于所述第一传动组件的所述夹持部，和连接于所述第二传动组件的所述夹持部反向运动。
[0010]本技术实施例还提供一种龙门装置，该龙门装置包括：抬升横移机构以及如上所述的夹取装置；其中，所述抬升横移机构与所述机架连接，以使所述夹取装置垂直于所述第一方向运动。
[0011]进一步的，所述抬升横移机构具有两个，沿第一方向分别设置于所述夹取装置的两侧，且均与所述机架连接；其中，两个所述抬升横移机构用于使所述夹取装置沿所述第一方向的两端同时沿相同的方向运动相同距离。
[0012]本技术实施例提供一种夹取装置，该夹取装置包括机架，与机架连接并在第一方向上与机架相对固定的固定夹爪和与机架连接，以及与机架连接，沿第一方向与固定夹爪间隔设置，且能够相对机架沿第一方向运动的活动夹爪。通过使活动夹爪能够相对机架沿第一方向运动，以使活动夹爪与固定夹爪沿第一方向的间距可调，从而使固定夹住和活动夹爪的间距能够根据夹取装置用于夹取的硅片的尺寸进行适应性调节，进而使夹取装置能够用于夹取不同尺寸的硅片，扩大了夹取装置的适用范围。本技术实施例还提供一种应用了该夹取装置的龙门装置，能够适用于夹取不同尺寸的硅片，扩大了该龙门装置的适用范围。
附图说明
[0013]图1为本技术实施例提供的一种夹取装置的结构示意图；
[0014]图2为技术实施例提供的夹取装置中的一种滑轨、滑动件和活动夹爪的装配示意图；
[0015]图3为本技术实施例提供的另一种夹取装置的结构示意图；
[0016]图4为本技术实施例提供的夹取装置中的一种夹爪驱动件的结构示意图；
[0017]图5为本技术实施例提供的夹取装置中的一种夹持部与开合驱动组件的装配示意图；
[0018]图6为本技术实施例提供的夹取装置中的另一种夹持部与开合驱动组件的装配示意图；
[0019]图7为本技术实施例提供的夹取装置中的第一种类型的第一传动组件和第一种类型的第二传动组件的装配示意图；
[0020]图8为本技术实施例提供的夹取装置中的第二种类型的第一传动组件和第二种类型的第二传动组件的装配示意图；
[0021]图9为本技术实施例提供的一种龙门装置的结构示意图；
[0022]图10为本技术实施例提供的龙门装置中的一种抬升横移结构与机架的装配示意图。
[0023]附图标记说明
[0024]1、龙门装置；10、夹取装置；100、机架；200、固定夹爪；300、活动夹爪；400、滑轨；410、滑槽；500、滑动件；600、转接板；700、夹爪驱动件； 710、步进电机；720、螺纹杆；730、滑移件；740、限位件；800、夹持部；900、开合驱动组件；910、开合电机；920、第一传动组件；920A、第一种类型的第一传动组件；921A、第一螺纹杆；922A、第一滑动件；923A、第一限位件；924A、第一外螺纹；920B、第二种类型的第一传动组件；921B、第一齿轮；922B、第一齿条；930、第二传动组件；930A、第一种类型的第二传动组件；931A、第二螺纹杆；932A、第二滑动
件；933A、第二限位件；934A、第二外螺纹； 930B、第二种类型的第二传动组件；931B、第二齿轮；932B、第二齿条；20、抬升横移机构。
具体实施方式
[0025]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0026]在具体实施例中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，例如通过不同的具体技术特征的组合可以形成不同的实施例和技术方案。为了避免不必要的重复，本技术中各个具体技术特征的各种可能的组合方式不再另行说明。
[0027]在以下的描述中，所涉及的术语“第一\第二\...”仅仅是区别不同的对象，不表示各对象之间具有相同或联系之处。应该理解的是，所涉及的方位描述“上方”、“下方”、“外”、“内”均为正常使用状态时的方位，“左”、“右”方向表示在具体对应的示意图中所示意的左右方向，可以为正常使用状态的左右方向也可以不是。
[0028]需要说明的是，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种夹取装置，其特征在于，包括：机架；固定夹爪，与所述机架连接并在第一方向上与所述机架相对固定；活动夹爪，与所述机架连接，并沿第一方向与所述固定夹爪间隔设置，所述活动夹爪能够相对所述机架沿所述第一方向运动以调整与所述固定夹爪的间距；沿所述第一方向延伸的滑轨，与所述机架连接；滑动件，套设于所述滑轨的至少部分的外部，且能够相对所述滑轨沿所述第一方向运动；转接板，与所述滑动件固定连接；其中，所述活动夹爪与所述滑动件固定连接；多个所述活动夹爪通过所述转接板与所述滑动件固定连接。2.根据权利要求1所述的夹取装置，其特征在于，所述夹取装置还包括：夹爪驱动件，与所述机架固定连接，并与所述活动夹爪连接，用于驱动所述活动夹爪沿所述第一方向运动。3.根据权利要求2所述的夹取装置，其特征在于，所述夹爪驱动件包括：第一夹爪驱动件，与所述机架固定连接，且沿所述第一方向设置于所述固定夹爪的一侧；第二夹爪驱动件，与所述机架固定连接，且沿所述第一方向设置于所述固定夹爪的所述一侧的相对的另一侧；其中，所述活动夹爪具有多个，且沿所述第一方向设置于所述固定夹爪的两侧，且靠近所述第一夹爪驱动件的所述活动夹爪与所述第一夹爪驱动件连接，靠近所述第二夹爪驱动件的所述活动夹爪与所述第二夹爪驱动件连接。4.根据权利要求1所述的夹取装置，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢建，刘永才，
申请(专利权)人：深圳市创一智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：