一种真空室洁净空气泄压装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种真空室洁净空气泄压装置，包括泄压器主体，所述泄压器主体的输入口安装有过滤连通器，所述泄压器主体的内部设置有真空腔室，所述真空腔室的下方设置有镀膜室，所述真空腔室的输入口处安装有放气阀，所述放气阀与过滤连通器之间固定连接有连通管路，所述真空腔室的输出口固定安装有输送管。该真空室洁净空气泄压装置通过过滤连通器内部的过滤网可以对气体进行过滤，过滤后的气体顺着连通管路进入到真空腔室内部，放气阀可以用于调节开关，放气阀打开时，洁净间的大气会通过连通管路、放气接口进入到真空腔室内部，从而避免了真空系统的污染，提高了镀膜质量，解决了真空室容易被污染的问题。解决了真空室容易被污染的问题。解决了真空室容易被污染的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种真空室洁净空气泄压装置


[0001]本技术涉及泄压装置
，具体为一种真空室洁净空气泄压装置。

技术介绍

[0002]真空室的放气接口一般都设计在真空室后部，使用者常常会在安装设备时做净化隔断，操作区域都在净化间，而真空室、管道系统都在隔断后面，卫生条件差一些，灰尘也比较多，每天设备假定要镀20盘就要放气20次，进大气时部分的灰尘会随着进气口进入真空室，污染真空系统，继而影响产品的镀膜质量，因此我们设计一个管路系统把进气口引到与净化间相通的过滤连通器上，这样放气阀打开时，洁净间的大气会通过管路、放气接口进入到真空室内，从而避免了真空系统的污染，提高了镀膜质量。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种真空室洁净空气泄压装置，以解决上述
技术介绍
中提出真空室容易被污染的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种真空室洁净空气泄压装置，包括泄压器主体，所述泄压器主体的输入口安装有过滤连通器，所述泄压器主体的内部设置有真空腔室，所述真空腔室的下方设置有镀膜室，所述真空腔室的输入口处安装有放气阀本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空室洁净空气泄压装置，包括泄压器主体（1），其特征在于：所述泄压器主体（1）的输入口安装有过滤连通器（2），所述泄压器主体（1）的内部设置有真空腔室（4），所述真空腔室（4）的下方设置有镀膜室（11），所述真空腔室（4）的输入口处安装有放气阀（5），所述放气阀（5）与过滤连通器（2）之间固定连接有连通管路（3），所述真空腔室（4）的输出口固定安装有输送管（7），所述镀膜室（11）的一侧固定安装有排放管（10），所述输送管（7）的一侧固定连接有连接管（8），所述连接管（8）与排放管（10）之间安装有安装法兰（9），所述过滤连通器（2）的内部设置有连通口（14），所述连通口（14）的内部放置有过滤网（18），所述过滤网（18）的外部固定连接有安装卡块（17），所述过滤连通器（2）的内部设置有安装孔（15），所述连通口（14）的内部设置有安装卡槽（19）。2.根据权利要求1所述的一种真空室洁净空气泄压装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：党亚军，任海宾，
申请(专利权)人：南阳清水科技有限公司，
类型：新型
国别省市：