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一种真空室洁净空气泄压装置制造方法及图纸
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下载一种真空室洁净空气泄压装置的技术资料
文档序号:36486500
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本实用新型公开了一种真空室洁净空气泄压装置,包括泄压器主体,所述泄压器主体的输入口安装有过滤连通器,所述泄压器主体的内部设置有真空腔室,所述真空腔室的下方设置有镀膜室,所述真空腔室的输入口处安装有放气阀,所述放气阀与过滤连通器之间固定连接有...
该专利属于南阳清水科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南阳清水科技有限公司授权不得商用。
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