一种镀膜支架输送系统技术方案

本发明专利技术公开了一种镀膜支架输送系统，包括真空腔室、抓取组件、悬挂支架、输送机和转运机构。真空腔室两端开口，一端为进仓口、另一端为出仓口，悬挂支架布置在抓取组件和真空腔室之间，输送机和悬挂支架呈直线布置构成流水线。转运机构包括两台转运车及适配的地轨，分别布置在真空腔室的进出仓口处。抓取组件包括机械手、夹具工装和治具板，夹具工装包括卡板，在卡板的两端分别设有固定卡槽和滑动卡槽，滑动卡槽的底部设有夹紧气缸，在卡板的纵向上对称设有两个限位气缸。本发明专利技术设计真空腔室两端开口，室外采用流水线式的输送机构，配合转运车，形成一个封闭的传动链。这个过程大大提高设备的使用效率和质量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及溅射法镀膜，具体涉及一种镀膜支架输送系统。

技术介绍

1、溅射法镀膜工艺中，靶材处于真空腔室的中部，而需要镀膜的工件则放置在真空腔室的圆筒状支架上，靶材朝着材料表面溅射的过程中圆筒状支架需要高速转动，以此令材料表面均匀地镀上膜层。随着真空镀膜行业的快速发展，客户对于镀膜效率的要求越来越高，镀膜支架的输送、传递传统上使用往返式进仓（一端开口）、出仓机构，这样避免不了出入真空腔室频繁抽气、放气，时间上浪费太多。因此需要一种全新的机构，来替代传统、低效的输送系统。

技术实现思路

1、针对上述问题，本专利技术的目的是提供一种高效的镀膜支架输送系统以提高生产效率。

2、为了达到上述目的，本专利技术采用的技术方案是：

3、一种镀膜支架输送系统，包括：真空腔室、抓取组件、悬挂支架、输送机和转运机构；所述真空腔室两端开口，一端为进仓口、另一端为出仓口，悬挂支架布置在抓取组件和真空腔室之间，输送机和悬挂支架呈直线布置；所述转运机构包括适配的转运车a与地轨a、转运车b与地轨b，地轨a布置在真本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种镀膜支架输送系统，其特征在于，包括：真空腔室、抓取组件、悬挂支架、输送机和转运机构；所述真空腔室两端开口，一端为进仓口、另一端为出仓口，悬挂支架布置在抓取组件和真空腔室之间，输送机和悬挂支架呈直线布置；所述转运机构包括适配的转运车A与地轨A、转运车B与地轨B，地轨A布置在真空腔室的进仓口一端，地轨B布置在真空腔室的出仓口一端。

2.根据权利要求1所述的一种镀膜支架输送系统，其特征在于，所述悬挂支架有两个，分别布置在所述输送机的两侧，并且在悬挂支架的顶部设有转动机构。

3.根据权利要求1所述的一种镀膜支架输送系统，其特征在于，所述抓取组件包括机械手、夹具工装...

【技术特征摘要】

1.一种镀膜支架输送系统，其特征在于，包括：真空腔室、抓取组件、悬挂支架、输送机和转运机构；所述真空腔室两端开口，一端为进仓口、另一端为出仓口，悬挂支架布置在抓取组件和真空腔室之间，输送机和悬挂支架呈直线布置；所述转运机构包括适配的转运车a与地轨a、转运车b与地轨b，地轨a布置在真空腔室的进仓口一端，地轨b布置在真空腔室的出仓口一端。

2.根据权利要求1所述的一种镀膜支架输送系统，其特征在于，所述悬挂支架有两个，分别布置在所述输送机的两侧，并...

【专利技术属性】
技术研发人员：党亚军，陈新，赵学正，高军政，
申请(专利权)人：南阳清水科技有限公司，
类型：发明
国别省市：