温度监测电路制造技术

本申请涉及一种温度监测电路，包括：温度传感器，设于待检测液体内；温控仪，与温度传感器连接，温控仪内设有第一控制开关，第一控制开关在温度传感器的检测温度大于第一温度阈值时闭合；第一继电器，包括第一线圈和第二控制开关，第二控制开关在第一线圈的得电时长达到设定时长时闭合，第一线圈与第一控制开关串联在直流电源的正极和负极之间；继电器单元，包括第二线圈和第三控制开关，当第二线圈处于失电状态时，第三控制开关处于闭合状态，第二线圈与第二控制开关串联在直流电源的正极和负极之间，第三控制开关串联在交流电源和控温设备之间。该电路通过检测温度判断超温情况并控制控温设备的开关，避免DCE沾污炉管。避免DCE沾污炉管。避免DCE沾污炉管。

【技术实现步骤摘要】
温度监测电路


[0001]本技术涉及半导体制造
，特别是涉及一种温度监测电路。

技术介绍

[0002]在半导体领域，热氧化法生长二氧化硅(SiO2)是半导体行业生长高质量SiO2的主要方法。在热氧化法生长SiO2过程中，通常会通入二氯乙烯(DCE),以有效去除SiO2生长过程的杂质离子，从而提高SiO2薄膜质量。
[0003]目前，热氧化生长过程中DCE是通过氮气(N2)携带的方式通入的。通常，由于DCE的沸点较低，氧化炉管内DCE的温度都设置在20℃，防止DCE因温度过高而蒸发。DCE控制器通过控制系统及发热陶瓷片来实现精确控温，使DCE温度始终维持在20℃，保证工艺的稳定性。
[0004]然而，在实际生产中发现DCE控制器的主电路板故障，会造成DCE控制器的显示温度始终为10℃左右。由于DCE控制器的显示温度始终低于DCE控制器的20℃，因此DCE控制器一直执行加热功能，蒸发了大量DCE到管道中。DCE蒸气在管道中冷却为液体，造成液态DCE进入到炉管高温工艺腔体，导致工艺腔体及工艺腔体进出气管都堆积了大量碳黑。这样既报废了当前工艺中的晶圆片，同时也必须更换管道及工艺腔体，严重影响了企业的效益。

技术实现思路

[0005]基于此，有必要提供一种避免DCE控制器温度失控造成DCE沾污炉管的温度监测电路。
[0006]一种温度监测电路，所述电路包括：
[0007]温度传感器，设于待检测液体内；
[0008]温控仪，与所述温度传感器连接，所述温控仪内设有第一控制开关，所述第一控制开关在所述温度传感器的检测温度大于第一温度阈值时闭合；
[0009]第一继电器，包括第一线圈和第二控制开关，所述第二控制开关在所述第一线圈的得电时长达到设定时长时闭合，所述第一线圈与所述第一控制开关串联在直流电源的正极和负极之间；
[0010]继电器单元，包括第二线圈和第三控制开关，当所述第二线圈处于失电状态时，所述第三控制开关处于闭合状态，所述第二线圈与所述第二控制开关串联在所述直流电源的正极和负极之间，所述第三控制开关串联在交流电源和控温设备之间。
[0011]在其中一个实施例中，所述继电器单元包括：
[0012]第二继电器，包括所述第二线圈、第四控制开关和第五控制开关，所述第四控制开关在所述第二线圈得电时闭合，所述第五控制开关在所述第二线圈失电时闭合，所述第四控制开关和所述第二控制开关的并联电路与所述第二线圈串联在所述直流电源的正极和负极之间；
[0013]第三继电器，包括第三线圈、所述第三控制开关和第六控制开关，所述第三控制开
关和所述第六控制开关均在所述第三线圈得电时闭合；
[0014]所述电路还包括：
[0015]第一按键开关，在按下时闭合，所述第一按键开关和所述第六控制开关的并联电路与所述第五控制开关、所述第三线圈串联在所述直流电源的正极和负极之间。
[0016]在其中一个实施例中，所述电路还包括：
[0017]第二开关按键，在按下时断开，所述第二开关按键串联在所述第四控制开关和所述第二控制开关的并联电路与所述第二线圈的串联支路中。
[0018]在其中一个实施例中，所述第二继电器还包括：
[0019]第七控制开关，在所述第二线圈得电时闭合；
[0020]所述电路还包括：
[0021]报警器，与所述第七控制开关串联在所述直流电源的正极和负极之间。
[0022]在其中一个实施例中，所述报警器包括指示灯和蜂鸣器，所述指示灯和所述蜂鸣器的并联电路与所述第七控制开关串联在所述直流电源的正极和负极之间。
[0023]在其中一个实施例中，所述第二继电器还包括：
[0024]第八控制开关，在所述第二线圈失电时闭合；
[0025]所述电路还包括：
[0026]第三开关按键，在按下时断开；
[0027]第四继电器，包括第四线圈、第九控制开关和第十控制开关，所述第九控制开关和所述第十控制开关均在所述第四线圈得电时闭合，所述第九控制开关和所述第八控制开关的并联电路与所述第四线圈、所述第三开关按键串联在所述直流电源的正极和负极之间。
[0028]在其中一个实施例中，所述温度传感器包括一个热电偶，所述热电偶与所述温控仪连接。
[0029]在其中一个实施例中，所述电路还包括：
[0030]整流器，与交流电源连接，用于将所述交流电源提供的交流电转换为直流电，以提供所述直流电源。
[0031]在其中一个实施例中，所述电路还包括：
[0032]交流电源，与所述整流器连接。
[0033]在其中一个实施例中，所述电路还包括：
[0034]第一开关，串联在所述交流电源和所述整流器之间。
[0035]上述温度监测电路，温控仪首先根据检测温度判断超温情况，当温度传感器反馈到温控仪的检测温度高于第一阈值温度时，温控仪内设的第一控制开关闭合，第一线圈得电。当第一控制开关在设定时长内保持闭合状态，第二控制开关闭合，第二线圈得电，可以利用时间继电器的延迟闭合效果防止超温情况误判。当第二线圈处于得电状态，第三控制开关处于断开状态，此时控温设备停止工作。温度检测电路能够通过实时检测温度判断超温情况并控制控温设备的开关，避免了由于DCE控制器发生温度失控故障而导致控温设备持续加热DCE，造成DCE沾污炉管的问题。
附图说明
[0036]为了更清楚地说明本申请实施例或传统技术中的技术方案，下面将对实施例或传
统技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0037]图1为一实施例中温度监测电路的结构框图；
[0038]图2为一实施例中温度监测电路的结构框图；
[0039]图3为一实施例中温度监测电路的结构框图；
[0040]图4为一实施例中温度监测电路的结构框图；
[0041]图5为一实施例中温度监测电路中包含报警器70的局部结构框图；
[0042]图6为一实施例中温度监测电路的结构框图；
[0043]图7为一实施例中温度监测电路中包含热电偶90的局部结构框图；
[0044]图8为一实施例中温度监测电路中包含整流器100的局部结构框图；
[0045]图9为一实施例中温度监测电路中包含第一开关111和第二开关112的局部结构框图；
[0046]图10为一实施例中温度监测电路的结构框图。
[0047]附图标记说明：
[0048]1、控温设备；
[0049]10、温度传感器；
[0050]20、温控仪，21、第一控制开关；
[0051]31、第一线圈，32、第二控制开关；
[0052]410、第二线圈，411、第四控制开关，412，第五控制开关，413、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种温度监测电路，其特征在于，所述电路包括：温度传感器，设于待检测液体内；温控仪，与所述温度传感器连接，所述温控仪内设有第一控制开关，所述第一控制开关在所述温度传感器的检测温度大于第一温度阈值时闭合；第一继电器，包括第一线圈和第二控制开关，所述第二控制开关在所述第一线圈的得电时长达到设定时长时闭合，所述第一线圈与所述第一控制开关串联在直流电源的正极和负极之间；继电器单元，包括第二线圈和第三控制开关，当所述第二线圈处于失电状态时，所述第三控制开关处于闭合状态，所述第二线圈与所述第二控制开关串联在所述直流电源的正极和负极之间，所述第三控制开关串联在交流电源和控温设备之间。2.根据权利要求1所述的电路，其特征在于，所述继电器单元包括：第二继电器，包括所述第二线圈、第四控制开关和第五控制开关，所述第四控制开关在所述第二线圈得电时闭合，所述第五控制开关在所述第二线圈失电时闭合，所述第四控制开关和所述第二控制开关的并联电路与所述第二线圈串联在所述直流电源的正极和负极之间；第三继电器，包括第三线圈、所述第三控制开关和第六控制开关，所述第三控制开关和所述第六控制开关均在所述第三线圈得电时闭合；所述电路还包括：第一按键开关，在按下时闭合，所述第一按键开关和所述第六控制开关的并联电路与所述第五控制开关、所述第三线圈串联在所述直流电源的正极和负极之间。3.根据权利要求2所述的电路，其特征在于，所述电路还包括：第二开关按键，在按下时断开，所述第二开关按键串联在所述第四控制开关和所述第二控制开关...

【专利技术属性】
技术研发人员：张国栋，陈秀伟，唐怀柱，
申请(专利权)人：上海积塔半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：