一种新型FEI转换台装置制造方法及图纸

一种新型FEI转换台装置，包括托盘基座，托盘基座顶部固定连接有固定支架，固定支架顶部设置有四根上下滑轨，四根上下滑轨上设置有顶杆，顶杆固定连接在方形铝合金板四角上，方形铝合金板顶部中间靠近顶杆一端固定连接有气缸，气缸一端通过气管连接有两通四位手动控制阀，两通四位手动控制阀操控气缸工作方向，两通四位手动控制阀管道连接有气压调节阀，气压调节阀控制气缸的上下速度，本实用新型专利技术所达到的有益效果是：本实用新型专利技术设计科学合理，操作简单方便，可以有效提高修补成功率，最大限度地降低因产品转换装置引起的产品缺陷。地降低因产品转换装置引起的产品缺陷。地降低因产品转换装置引起的产品缺陷。

【技术实现步骤摘要】
一种新型FEI转换台装置


[0001]本技术涉及掩模制版
，具体为一种新型FEI转换台装置。

技术介绍

[0002]掩模是一种统称，又名光掩模或是光罩,掩模是在一个石英基材上以铬膜所构成之集成电路设计图案，其目的为了将设计出的集成电路图案利用掩模投影微缩转移至晶圆上，在掩模生产制造过程中，缺陷修补是一道重要工序，尤其是当集成电路工艺发展到7纳米技术节点时，随着图形特征尺寸越来越小，图形复杂多样，对缺陷要求越来越严格，若掩模版上存在缺陷，经光刻等工艺流程处理，缺陷就被复刻到圆片上，最终造成集成电路开、短路异常，使芯片良率降低，掩模制作是整个芯片流程中制造最昂贵的一部分，例如一块可供使用的相移掩模价格高至几十万美元。如果不修补，报废处理，不但增加生产成本，而且影响产品交期。
[0003]现有设备一般通过手动旋转凸轮上下压住/松开顶针，使得产品推进托盘和从托盘中退出，任何人为失误都会导致产品产生缺陷而报废，影响修补成功率。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种新型FEI转换台装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术提供了如下的技术方案：一种新型FEI转换台装置，包括托盘基座，所述托盘基座顶部固定连接有固定支架，所述固定支架顶部设置有四根上下滑轨，四根所述上下滑轨上设置有顶杆，所述顶杆固定连接在方形铝合金板四角上，所述方形铝合金板顶部中间靠近顶杆一端固定连接有气缸，所述气缸一端通过气管连接有两通四位手动控制阀，所述两通四位手动控制阀操控气缸工作方向，所述两通四位手动控制阀管道连接有气压调节阀，所述气压调节阀控制气缸的上下速度。
[0006]在进一步的实施例中，所述托盘基座可以承载5”、6”掩膜版托盘。
[0007]在进一步的实施例中，所述顶杆上下、行程、速度由气缸控制。
[0008]在进一步的实施例中，所述气缸的缸体上安装有位置传感器和指示灯，且指示灯显示其位置状态，所述指示灯的绿色灯表示可以从产品托盘中推进/退出产品，所述指示灯的红色灯则禁止产品转换动作。
[0009]本技术所达到的有益效果是：本技术专利设计科学合理，操作简单方便，可以有效提高修补成功率，最大限度地降低因产品转换装置引起的产品缺陷。
附图说明
[0010]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0011]图1是本技术的正面立体结构示意图；
[0012]图2是本技术的背面结构示意图；
[0013]图3是本技术的两通四位手动控制阀结构示意图。
[0014]图中：1、托盘基座；2、固定支架；3、上下滑轨；4、顶杆；5、控制气缸；6、方形铝合金板；7、两通四位手动控制阀；8、气压调节阀；9、位置传感器；10、指示灯。
具体实施方式
[0015]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0016]实施例
[0017]如图1
‑
3所示，本技术一种新型FEI转换台装置，包括托盘基座1，托盘基座1顶部固定连接有固定支架2，固定支架2顶部设置有四根上下滑轨3，四根上下滑轨3上设置有顶杆4，顶杆4固定连接在方形铝合金板6四角上，方形铝合金板6顶部中间靠近顶杆4一端固定连接有气缸5，气缸5一端通过气管连接有两通四位手动控制阀7，两通四位手动控制阀7操控气缸5工作方向，两通四位手动控制阀7管道连接有气压调节阀8，气压调节阀8控制气缸5的上下速度。
[0018]其中，5”、6”掩膜版托盘承载在托盘基座1上，气缸5可以控制顶杆4的上下、行程、速度，气缸5的缸体上安装有位置传感器9和指示灯10，通过使用指示灯10可以显示其位置状态，指示灯10分为绿色灯和红色灯，其中绿色灯表示可以从产品托盘中推进/退出产品，修补产品、转换台装置转换产品在指示灯显示绿灯时进行，其中红色灯则禁止产品转换动作。
[0019]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型FEI转换台装置，包括托盘基座(1)，其特征在于：所述托盘基座(1)顶部固定连接有固定支架(2)，所述固定支架(2)顶部设置有四根上下滑轨(3)，四根所述上下滑轨(3)上设置有顶杆(4)，所述顶杆(4)固定连接在方形铝合金板(6)四角上，所述方形铝合金板(6)顶部中间靠近顶杆(4)一端固定连接有气缸(5)，所述气缸(5)一端通过气管连接有两通四位手动控制阀(7)，所述两通四位手动控制阀(7)操控气缸(5)工作方向，所述两通四位手动控制阀(7)管道连接有气压调节阀(8)，所述气压调节阀(8)控制气缸...

【专利技术属性】
技术研发人员：张月圆，薛文卿，
申请(专利权)人：无锡中微掩模电子有限公司，
类型：新型
国别省市：