一种用于掩模工艺的自动拆膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于掩模工艺的自动拆膜装置，包括底座，所述底座的中部开设有放置掩模版托盘的卡槽，其四周设有用于固定带膜掩模版的卡扣装置，所述卡扣装置依次包括螺栓、卡扣以及弹簧，所述底座上固定安装有框架，所述框架的下方设有拆膜卡爪，其上方设有用于控制拆膜卡爪的拆膜气缸，控制器与拆膜气缸连接；本装置结构简单，使用方便，拆膜卡爪前端的凸起以及卡扣装置均对掩模版起到有效的固定，防止拆膜过程中掩模版出现晃动，通过控制器来自动拆模，避免人工操作导致掩模版出现划伤、报废的情况。报废的情况。报废的情况。

【技术实现步骤摘要】
一种用于掩模工艺的自动拆膜装置


[0001]本技术涉及一种拆膜装置，特别涉及一种用于掩模工艺的自动拆膜装置。

技术介绍

[0002]掩模是半导体行业集成电路制作时所需的一种模具，可将掩模上的图形经过曝光制程复制于晶圆上。掩模厂根据客户设计的图形，将图形数据转化后，利用掩模曝光机在感光石英基材上进行曝光，经显影、蚀刻、去胶、清洗、检测等一系列制程使图形完美呈现在掩模版上。
[0003]在掩模工艺制程中，不可避免会出现贴膜不合格，在人为全手动拆膜时存在划伤掩模版表面、拆膜难拆等问题。目前的手动拆膜，也会产生掩模版报废现象，从而影响产线效率与产能。

技术实现思路

[0004]本技术提供一种用于掩模工艺的自动拆膜装置用来克服现有技术中手动拆膜时掩模版放置不稳或产生晃动而造成掩模版划伤、报废的缺陷。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术提供了如下的技术方案：
[0006]本技术公开了一种用于掩模工艺的自动拆膜装置，包括底座，所述底座的中部开设有放置掩模版托盘的卡槽，其四周设有用于固定带膜掩模版的卡扣装置，所述卡扣装置依次包括螺栓、卡扣以及弹簧，所述底座上固定安装有框架，所述框架的下方设有拆膜卡爪，其上方设有用于控制拆膜卡爪的拆膜气缸，控制器与拆膜气缸连接。
[0007]进一步的，底座的侧面设置有与所述卡槽连通的插入口。
[0008]进一步的，拆膜卡爪的前端设有可插入膜侧面孔中的凸起，便于拆膜时抓取牢靠。
[0009]进一步的，掩模版托盘和卡槽的形状均为矩形，所述掩模版托盘采用四条边组成的框架，框架外轮廓与所述卡槽一致，框架内轮廓与掩模版的尺寸一致，框架内侧设置有用于托住掩模版的支承板。
[0010]进一步的，螺栓与所述底座的上端面螺纹连接，所述螺栓的螺杆部分设有卡扣，所述卡扣的前端位于所述掩模版托盘的上方，所述卡扣与所述螺栓的螺杆部分滑动配合或间隙配合，所述卡扣下方的螺杆部分套设有弹簧。
[0011]进一步的，掩模版托盘上设有方便取放的把手。
[0012]进一步的，所述控制器上设有启动按钮和恢复按钮，启动按钮控制拆膜气缸带动拆膜卡爪上升，恢复按钮控制拆膜气缸带动拆膜卡爪恢复到原位。
[0013]本技术所达到的有益效果是：本装置结构简单，使用方便，拆膜卡爪前端的凸起以及卡扣装置均对掩模版起到有效的固定，防止拆膜过程中掩模版出现晃动，通过控制器来自动拆模，避免人工操作导致掩模版出现划伤、报废的情况。
附图说明
[0014]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0015]图1是本技术的整体示意图；
[0016]图2是本技术的底座与掩模版托盘的示意图；
[0017]图3是本技术的俯视示意图。
[0018]图中：1、底座；2、掩模版托盘；3、把手；4、拆膜卡爪；5、螺栓；6、卡扣；7、弹簧；8、框架；9、拆膜气缸；10、控制器；11、启动按钮；12、恢复按钮；13、掩模版。
具体实施方式
[0019]以下结合附图对本技术的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本技术，并不用于限定本技术。
[0020]实施例1
[0021]如图1
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3所示，一种用于掩模工艺的自动拆膜装置，包括底座1，所述底座1的中部开设有放置掩模版托盘2的卡槽，其四周设有用于固定带膜的掩模版13的卡扣装置，所述卡扣装置依次包括螺栓5、卡扣6以及弹簧7，所述底座1上固定安装有框架8，所述框架8的下方设有拆膜卡爪4，其上方设有用于控制拆膜卡爪4的拆膜气缸9，控制器10与拆膜气缸9连接，所述控制器10上设有启动按钮11和恢复按钮12。
[0022]底座1的侧面设置有与所述卡槽连通的插入口；拆膜卡爪4的前端设有可插入膜侧面孔中的凸起，拆膜时抓取牢靠；卡槽和掩模版托盘2的形状均为矩形，所述掩模版托盘2采用四条边组成的框架，框架外轮廓与所述卡槽一致，框架内轮廓与掩模版13的尺寸一致，框架内侧设置有用于托住掩模版13的支承板；螺栓5与所述底座1的上端面螺纹连接，所述螺栓5的螺杆部分套设有一个卡扣6，所述卡扣6的前端位于所述掩模版托盘2的上方，所述卡扣6与所述螺栓5的螺杆部分滑动配合或间隙配合，所述卡扣6下方的螺杆部分套设有弹簧7；所述掩模版托盘2上设有方便取放的把手3。
[0023]工作过程：将带膜的掩模版13放入掩模托盘里2，然后把掩模托盘里2快速出入底座1的卡槽里，旋紧4个螺栓5使卡扣6固定好掩模版13，然后把拆膜卡爪1前端插入带膜的掩模版13两侧的孔里，按下控制器10的启动按钮11，拆膜气缸9带动拆膜卡爪4上升，完成膜与掩模版13的分离，松开4个螺栓5，握住把手3，把掩模版托盘2取出，按下恢复按钮12，拆膜气缸9恢复到原位。
[0024]最后应说明的是：以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于掩模工艺的自动拆膜装置，其特征在于，包括底座，所述底座的中部开设有放置掩模版托盘的卡槽，其四周设有用于固定带膜掩模版的卡扣装置，所述底座上固定安装有框架，所述框架的下方设有拆膜卡爪，其上方设有用于控制拆膜卡爪的拆膜气缸，控制器与拆膜气缸连接；所述卡扣装置依次包括用于固定卡扣的螺栓、卡扣以及弹簧。2.根据权利要求1所述的用于掩模工艺的自动拆膜装置，其特征在于，所述底座的侧面设置有与所述卡槽连通的插入口。3.根据权利要求1所述的用于掩模工艺的自动拆膜装置，其特征在于，所述拆膜卡爪的前端设有可插入膜侧面孔中的凸起，便于拆膜时抓取牢靠。4.根据权利要求1所述的用于掩模工艺的自动拆膜装置，其特征在于，所述掩模版托盘和卡槽的形状均为矩形，所述掩模版托盘...

【专利技术属性】
技术研发人员：华卫群，尤春，刘维维，顾梦星，薛文卿，张月圆，
申请(专利权)人：无锡中微掩模电子有限公司，
类型：新型
国别省市：