本发明专利技术涉及一种掩模版居中性检测方法及检测装置，在检测方法中，将掩膜版放在载物台上，由图像采集单元获取掩膜版图像，掩膜版图像上包括有设置于掩膜版上的特定标记图形；根据所述特定标记图形分别在X向和Y向上相对于掩膜版与载物台交界处的距离，确定掩膜版图像的距离偏移量和角偏移量，再根据距离偏移量和角偏移量来确定掩膜版图像的居中性。所述检测装置包括载物台、图像采集单元和控制单元，载物台用于承载掩膜版，图像采集单元用于获取掩膜版图像，控制单元包括处理器、网络接口、用户接口、存储器和通信总线。本发明专利技术可以解决人为操作显微镜观察特定标记与基板边缘位置距离以检测掩模版曝光图像居中性检测精度不高问题。题。题。
【技术实现步骤摘要】
一种掩模版居中性检测方法及检测装置
[0001]本专利技术属于掩模制版
，尤其涉及一种掩模版居中性检测方法及检测装置。
技术介绍
[0002]现有半导体芯片用掩模版居中性检测方法为在掩模版图形上添加专用的标记图形，通过人员用显微镜量测标记图形与基板边缘位置距离来判断掩模版所曝光图形居中性情况。人工操作易出现错误及误差。
技术实现思路
[0003]本专利技术的目的是提供一种掩模版居中性检测方法及检测装置，旨在解决人为操作显微镜观察特定标记与基板边缘位置距离以检测掩模版曝光图像居中性检测精度不高问题。
[0004]为了实现上述目的，本专利技术所采用的技术方案是：一种掩模版居中性检测方法，将掩膜版放在载物台上，由图像采集单元获取掩膜版图像，掩膜版图像上包括有设置于掩膜版上的特定标记图形；根据所述特定标记图形分别在X向和Y向上相对于掩膜版与载物台交界处的距离，确定掩膜版图像的距离偏移量和角偏移量，再根据距离偏移量和角偏移量来确定掩膜版图像的居中性。
[0005]所述掩膜版图像获取方法为：在掩膜版边界处确定多个拍摄点，并根据各个拍摄点的位置，控制载物台沿X轴及Y轴方向移动；控制所述图像采集单元中的扫描镜头沿预设方向依次对各个拍摄点进行拍摄，以获取拍摄图像，然后按照各个拍摄点的位置对拍摄图像进行拼接，得到掩膜版图像。
[0006]在获取掩膜版图像后，将掩膜版图像分割成多个目标区域，每个目标区域包括有特定标记图形，根据目标区域确定特定标记图形在X方向上相对于掩膜版和载物台交界处的距离，并以此距离为第一距离，根据目标区域确定特定标记图形在Y方向上相对于掩膜版和载物台交界处的距离，并以此距离为第二距离；再根据第一距离和第二距离确定掩膜版图像的距离偏移量和角偏移量。
[0007]所述特定标记图形设置在掩膜版的左上、左下、右上、右下位置，且各个特定标记图形的大小相等。
[0008]所述目标区域的划分方法为：根据所述掩膜版图像中各像素点亮度将掩膜版图像转换成预设等级灰度图，再根据预设等级灰度图中的灰度值将预设等级灰度图分割成多个目标区域。
[0009]在各个目标区域的边界获取对应的边界点，根据边界点确定各个目标区域对应的边界值；各个目标区域的边界点包括X方向边界点和Y方向边界点。
[0010]具体的，获取掩膜版左上位置的特定标记图形在X方向上相对于掩膜版和载物台交界处的距离值为X1，在Y方向上相对于掩膜版和载物台交界处的距离值为Y1；
获取掩膜版左下位置的特定标记图形在X方向上相对于掩膜版和载物台交界处的距离值为X2，在Y方向上相对于掩膜版和载物台交界处的距离值为Y2；获取掩膜版右上位置的特定标记图形在X方向上相对于掩膜版和载物台交界处的距离值为X3，在Y方向上相对于掩膜版和载物台交界处的距离值为Y3；获取掩膜版右下位置的特定标记图形在X方向上相对于掩膜版和载物台交界处的距离值为X4，在Y方向上相对于掩膜版和载物台交界处的距离值为Y4；获取X1与X2，X3与X4的差值为X方向角偏移量，Y1与Y3，Y2与Y4的差值为Y方向角偏移量；获取X1与X3，X2与X4的差值为X方向距离偏移量，Y1与Y2，Y3与Y4的差值为Y方向距离偏移量；然后，获取各个方向上角偏移量的最大值以及距离偏移量的最大值，即为掩膜版图像的居中性值。
[0011]一种掩模版居中性检测装置，用于所述检测方法，包括载物台、图像采集单元和控制单元，载物台用于承载掩膜版，图像采集单元用于获取掩膜版图像，控制单元包括处理器、网络接口、用户接口、存储器和通信总线；通信总线用于连接各组件间通信，用户接口用于连接客户端并与客户端进行数据通信，网络接口用于连接服务器并与服务器进行数据通信，存储器中包括操作系统、网络通信膜块、用户接口模块及掩模版居中性检测程序。
[0012]所述存储器为磁盘存储器。
[0013]所述图像采集单元包括扫描镜头，扫描镜头设置在载物台的复位点正上方，复位点位于掩膜版和载物台交界处。
[0014]本专利技术的有益效果是：本专利技术可以提高掩膜版曝光图像居中性检测的精度，避免人工操作出现的误差和错误。
附图说明
[0015]图1为本专利技术所述检测装置中控制单元的原理框图；
[0016]图2为本专利技术所述检测装置的结构示意图；
[0017]图3为本专利技术所述检测方法中掩膜版图像获取方法示意图；
[0018]图4为本专利技术所述检测方法的流程图；
[0019]图中标记：1、载物台，2、掩膜版，3、扫描镜头，4、特定标记图形。
具体实施方式
[0020]下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步的详细说明，但并不作为对专利技术做任何限制的依据。
[0021]实施例1：如图1、2所示，一种掩模版居中性检测装置，包括载物台1、图像采集单元和控制单元，载物台1用于承载掩膜版2，图像采集单元用于获取掩膜版图像，控制单元包括处理器、网络接口、用户接口、存储器和通信总线；通信总线用于连接各组件间通信；用户接口包括电脑显示屏及键盘等，用于连接客户端并与客户端进行数据通信；网络接口可以为有线接口或者无线接口，用于连接服务器并与服务器进行数据通信；存储器为磁盘存储器，包括操作系统、网络通信膜块、用户接口模块及掩模版居中性检测程序；处理器可以调用存
储器中存储的掩模版居中性检测程序。
[0022]所述图像采集单元包括扫描镜头3，扫描镜头3设置在载物台1的复位点正上方，复位点位于掩膜版2和载物台1交界处。
[0023]实施例2：一种掩模版居中性检测方法，包括如下步骤：
[0024]S1，将掩膜版2放置在载物台1上，在掩膜版2的左上、左下、右上、右下位置分别设置大小相等的特定标记图形4；在掩膜版边界处确定多个拍摄点，并根据各个拍摄点的位置，控制载物台沿X轴及Y轴方向移动；控制所述图像采集单元中的扫描镜头沿预设方向依次对各个拍摄点进行拍摄(图3箭头表示扫描轨迹)，以获取拍摄图像，然后按照各个拍摄点的位置对拍摄图像进行拼接，得到掩膜版图像，掩膜版图像中包括所述的特定标记图形；
[0025]S2，在获取掩膜版图像后，将掩膜版图像分割成多个目标区域，每个目标区域包括有特定标记图形，根据目标区域确定特定标记图形在X方向上相对于掩膜版和载物台交界处的距离，并以此距离为第一距离，根据目标区域确定特定标记图形在Y方向上相对于掩膜版和载物台交界处的距离，并以此距离为第二距离；再根据第一距离和第二距离确定掩膜版图像的距离偏移量和角偏移量，然后根据距离偏移量和角偏移量来确定掩膜版图像的居中性；
[0026]S21，所述目标区域的划分方法为：根据所述掩膜版图像中各像素点亮度将掩膜版图像转换成预设等级灰度图，再根据预设等级灰度图中的灰度值将预设等级灰度图分割成多个目标区域；
[0027]S22，获取掩膜版左上位置的特定标记图形在X方向上相对于掩膜版和载物台交界处的距离值为X1，在Y方向上相对于掩膜版和载物台交界处的距离值为Y1；S23，获取掩膜版左下位置的特本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种掩模版居中性检测方法，其特征在于，将掩膜版放在载物台上，由图像采集单元获取掩膜版图像，掩膜版图像上包括有设置于掩膜版上的特定标记图形；根据所述特定标记图形分别在X向和Y向上相对于掩膜版与载物台交界处的距离，确定掩膜版图像的距离偏移量和角偏移量，再根据距离偏移量和角偏移量来确定掩膜版图像的居中性。2.根据权利要求1所述的一种掩模版居中性检测方法，其特征在于，所述掩膜版图像获取方法为：在掩膜版边界处确定多个拍摄点，并根据各个拍摄点的位置，控制载物台沿X轴及Y轴方向移动；控制所述图像采集单元中的扫描镜头沿预设方向依次对各个拍摄点进行拍摄，以获取拍摄图像，然后按照各个拍摄点的位置对拍摄图像进行拼接，得到掩膜版图像。3.根据权利要求1所述的一种掩模版居中性检测方法，其特征在于，在获取掩膜版图像后，将掩膜版图像分割成多个目标区域，每个目标区域包括有特定标记图形，根据目标区域确定特定标记图形在X方向上相对于掩膜版和载物台交界处的距离，并以此距离为第一距离，根据目标区域确定特定标记图形在Y方向上相对于掩膜版和载物台交界处的距离，并以此距离为第二距离；再根据第一距离和第二距离确定掩膜版图像的距离偏移量和角偏移量。4.根据权利要求1
‑
3任一项所述的一种掩模版居中性检测方法，其特征在于，所述特定标记图形设置在掩膜版的左上、左下、右上、右下位置，且各个特定标记图形的大小相等。5.根据权利要求3所述的一种掩模版居中性检测方法，其特征在于，所述目标区域的划分方法为：根据所述掩膜版图像中各像素点亮度将掩膜版图像转换成预设等级灰度图，再根据预设等级灰度图中的灰度值将预设等级灰度图分割成多个目标区域。6.根据权利要求3所述的一种掩模版居中性检测方法，其特征在于，在各个目标区域的边界获取对应的边界点，根据边界点确定各个目标区域对应的边界值；各个目标区域的边界点包括X方向边界...
【专利技术属性】
技术研发人员：尤春，汪志得，刘维维，
申请(专利权)人：无锡中微掩模电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。