温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种掩模版居中性检测方法及检测装置，在检测方法中，将掩膜版放在载物台上，由图像采集单元获取掩膜版图像，掩膜版图像上包括有设置于掩膜版上的特定标记图形；根据所述特定标记图形分别在X向和Y向上相对于掩膜版与载物台交界处的距离，确定掩膜...
该专利属于无锡中微掩模电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡中微掩模电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。