光路折叠组件及具有其的位移检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种光路折叠组件及具有其的位移检测装置，包括相对间隔设置的两个反射镜组，每一反射镜组包括两排第一直角棱镜、一平行四边形反射镜及一第二直角棱镜；两反射镜组的第一直角棱镜的斜面相对；平行四边形反射镜设置于其中一排第一直角棱镜中的相邻两个第一直角棱镜之间；两反射镜组的第二直角棱镜分别位于该光路折叠组件的相对两端，第二直角棱镜与第一直角棱镜相互垂直；每一反射镜组的第二直角棱镜的斜面与另一反射镜组对应端的两排第一直角棱镜的斜面相对。光束进入光路折叠组件后能够在两反射镜组之间进行多次反射后再出射，增加了光程变化量，在不改变光源的前提下，能够提高位移检测的灵敏度，进而能够进一步提高位移测量的精度。够进一步提高位移测量的精度。够进一步提高位移测量的精度。

【技术实现步骤摘要】
光路折叠组件及具有其的位移检测装置


[0001]本技术涉及光学
，具体涉及一种光路折叠组件及具有其的位移检测装置。

技术介绍

[0002]迈克尔干涉仪通常用于纳米级位移的测量，其是一种利用分割光波振幅的方法实现干涉的光学仪器，目前，根据迈克尔逊干涉仪的基本原理制成的各种精密仪器已广泛应用于生产和科研领域。迈克尔逊干涉仪有多种多样的形式，其基本光路图如图1所示：从光源S发出的一束光，在分光镜G1上被分成光强近似相等的透射光束1和反射光束2，透射光束1射出G1后经过补偿板G2投向反射镜M1，反射回来再穿过G1，并在分光镜G1上反射；反射光束2投向反射镜M2，反射回来再通过G1，于是，这两束相干光在空间相遇并产生干涉，通过望远镜或人眼可以观察到干涉条纹。根据光的干涉原理，若光源S的波长已知，反射镜M1沿反射光束1的光路移动，其移动的位移Δd＝ΔN*λ/2，式中，λ为入射光的波长；ΔN为反射镜M1移动过程中观察到的干涉条纹冒出或缩进的条纹的数量，当Δd值每改变λ/2时，干涉条纹变化一级，也就是说，反射镜M2每移动λ/2的距离，干涉条纹的圆心就冒出本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光路折叠组件，其特征在于，包括相对间隔设置的两个反射镜组(21)，两反射镜组(21)之间围成间隔腔(210)；每一反射镜组(21)包括两排第一直角棱镜(22)、一平行四边形反射镜(23)及一第二直角棱镜(24)；每一反射镜组(21)中的两排第一直角棱镜(22)层叠设置；每排第一直角棱镜(22)中的若干第一直角棱镜(22)沿间隔腔(210)的长度方向排列；第一直角棱镜(22)用对应的两直角面对光产生反射；两反射镜组(21)的第一直角棱镜(22)的斜面相对，两反射镜组(21)的第一直角棱镜(22)错开设置；平行四边形反射镜(23)设置于其中一排第一直角棱镜(22)中的相邻两个第一直角棱镜(22)之间；两反射镜组(21)的第二直角棱镜(24)分别位于该光路折叠组件的相对两端，第二直角棱镜(24)与第一直角棱镜(22)相互垂直，第二直角棱镜(24)的主截面(29)朝向对应反射镜组(21)的第一直角棱镜(22)，第二直角棱镜(24)用对应的两直角面对光产生反射；每一反射镜组(21)的第二直角棱镜(24)的斜面与另一反射镜组(21)对应端的两排第一直角棱镜(22)的斜面相对；光束经由其中一组反射镜组(21)的平行四边形反射镜(23)入射，通过两反射镜组(21)的多个第一直角棱镜(22)及第二直角棱镜(24)反射后经由另一组反射镜组(21)的平行四边形反射镜(23)出射。2.如权利要求1的光路折叠组件，其特征在于，两个反射镜组(21)关于光路折叠组件的中心点对称。3.如权利要求1的光路折叠组件，其特征在于，第一直角棱镜(22)的两直角面及第二直角棱镜(24)的两直角面上均镀履有反射膜。4.如权利要求1的光路折叠组件，其特征在于，平行四边形反射镜(23)与对应排的若干第一直角棱镜(22)位于同一平面上。5.如权利要求1的光路折叠组件，其特征在于，平行四边形反射镜(23)上设有两个平行相对设置的反射面(27)及两个平行相对设置的入射出射面(28)，两个反射面(27)分别面向对应排相...

【专利技术属性】
技术研发人员：林澎，孙荣敏，于祥昱，常志鹏，张树鑫，马向军，吕国庆，李莹，向淞麟，黄隆建，
申请(专利权)人：柳州工学院，
类型：新型
国别省市：