【技术实现步骤摘要】
一种角度分辨光学测试系统及角度分辨光学测试方法
[0001]本专利技术涉及光学测试系统
，尤其涉及一种角度分辨光学测试系统及角度分辨光学测试方法。
技术介绍
[0002]半导体发光器件在消费、通信系统、医疗仪器等领域有广泛应用。无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体发光器件都具有广阔的应用前景，受到广泛的关注和研究。随着半导体发光器件尺寸越来越小，甚至低于10μm，半导体发光器件的侧壁出光效率严重影响半导体发光器件整体的出光效果，对半导体发光器件侧壁出光性能进行研究尤为重要，通过优化出光角度、改善侧壁出光或制作表面透镜等手段，可以对发光器件的光提取效率进行大幅度的改善和提高。在生产和研发的过程中，通常使用半导体发光器件检测系统对半导体发光器件进行出光性能的分析和测试。以Micro
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LED器件为例，先将半导体样品放置到样品台上，再通过检测模块对半导体样品进行分析和测试。目前的半导体发光器件检测系统中，检测模块通常正对样品台，只能对半导体发光器件的顶面出光性能进行分析和测试，无法对半导体发光器件的侧壁...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种角度分辨光学测试系统，其特征在于，包括：样品承载模块（10），包括样品台（11），所述样品台（11）用于承载半导体样品（50）；检测模块，用于收集所述半导体样品（50）发出的光；翻转驱动模块（40），包括翻转组件，所述翻转组件具有第二旋转轴线，所述翻转组件用于驱动所述样品台（11）或所述检测模块绕所述第二旋转轴线旋转以改变所述检测模块收集所述半导体样品（50）发出的光的角度。2.根据权利要求1所述的角度分辨光学测试系统，其特征在于，所述样品台（11）或所述检测模块绕第二旋转轴线旋转时，所述半导体样品（50）的待测区域位于所述第二旋转轴线上。3.根据权利要求2所述的角度分辨光学测试系统，其特征在于，所述样品承载模块（10）还包括XYZ三轴移动基座（13），所述XYZ三轴移动基座（13）设置在所述翻转驱动模块（40）上，所述样品台（11）设置在所述XYZ三轴移动基座（13）上。4.根据权利要求1所述的角度分辨光学测试系统，其特征在于，所述翻转组件至少包括第二旋转轴（41）；所述第二旋转轴（41）用于驱动所述样品台（11）或所述检测模块绕所述第二旋转轴线旋转；和/或，所述翻转组件还包括旋转板（42），所述样品承载模块（10）或所述检测模块设置在所述旋转板（42）上，所述第二旋转轴（41）通过旋转板（42）驱动所述样品台（11）或所述检测模块绕所述第二旋转轴线旋转；其中，所述旋转板（42）与所述第二旋转轴（41）一体成型或固定连接。5.根据权利要求1所述的角度分辨光学测试系统，其特征在于，所述样品承载模块（10）还包括旋转组件，所述旋转组件具有第一旋转轴线，所述旋转组件用于驱动所述样品台（11）绕所述第一旋转轴线旋转，所述第一旋转轴线与所述第二旋转轴线非平行。6.根据权利要求5所述的角度分辨光学测试系统，其特征在于，所述旋转组件还包括第一旋转轴（12），所述第一旋转轴（12）支撑所述样品台（11）并用于驱动所述样品台（11）绕第一旋转轴线旋转，所述第一旋转轴线与所述第二旋转轴线垂直。7.根据权利要求1所述的角度分辨光学测试系统，其特征在于，所述检测模块包括成像组件（20）和测试组件（30），所述成像组件（20）用于获取所述样品台（11）上的所述半导体样品（50）的图像，所述测试组件（30）用于收集所述半导体样品（50）发出的光；其中，至少所述测试组件（30）的位置可调，以实现多种测试模式。8.根据权利要求7所述的角度分辨光学测试系统，其特征在于，所述测试组件（30）包括物镜（31）和光收集构件（32），所述物镜（31）可移除地设置在第一安装位置，所述光收集构件（32）用于收集半导体样品（50）发出的光，所述光收集构件（32）可拆卸地设置在第一安装位置或第二安装位置，所述第一安装位置与样品台（11）的距离小于所述第二安装位置与所述样品台（11）的距离。9.根据权利要求8所述的角度分辨光学测试系统，其特征在于，所述多种测试模式包括：微区角度分...
【专利技术属性】
技术研发人员：周梦凡，
申请(专利权)人：江苏第三代半导体研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：
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