温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种角度分辨光学测试系统及角度分辨光学测试方法，角度分辨光学测试系统包括样品承载模块、检测模块和翻转驱动模块。样品承载模块包括样品台，样品台用于承载半导体样品。检测模块用于收集半导体样品发出的光。翻转驱动模块包括翻转组件，翻转组...
该专利属于江苏第三代半导体研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏第三代半导体研究院有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。