版图数据精度的转换方法技术

本发明专利技术提供了一种版图数据精度的转换方法，包括：提供原始版图数据，并从原始版图数据中读取初始DBU；将初始DBU和设置的目标DBU进行除法计算，以得到除法计算结果；判断除法计算结果是否具有浮点误差；若具有浮点误差，则对浮点误差进行消除，消除浮点误差后的除法计算结果为转换后的版图数据；若不具有浮点误差，则除法计算结果为转换后的版图数据。本发明专利技术将精度更低的版图数据转换为精度更高的版图数据，并且提高了转换效率。并且提高了转换效率。并且提高了转换效率。

【技术实现步骤摘要】
版图数据精度的转换方法


[0001]本专利技术涉及半导体
，尤其是涉及一种版图数据精度的转换方法。

技术介绍

[0002]光学邻近效应修正(Optical Proximity Correction,OPC)是通过一定的计算方法，对光刻掩膜版上的图形形状和尺寸做不同程度上的修正，比如在光刻掩膜板上，改变某透光区域图形的拓扑结构或者添加相对应的细微辅助图形，从而使得投射到光刻胶上的实际图形与设计图形尽可能保持一致。在半导体制造工艺器件的过程中，光学临近修正起到了至关重要的作用。现有的主流版图数据存储文件格式是GDSII和OASIS，通过对版图数据进行光学临近修正，可以使得投影到光刻胶上的图形与光刻掩膜版上的原有图形相比能够尽可能保持不失真的状态，从而使得集成电路设计的成品率得到提升。
[0003]随着工艺的进展，对GDSII格式版图数据的精度要求越来越高，因此，需要对精度较低的GDSII格式版图数据转换成更高精度的版图数据。
[0004]现有技术中，借助于外部的版图工具，将GDSII格式版图数据导入版图工具时设定UNIT，以实现低精度的GDSII格式版图数据到高精度的GDSII格式版图数据的转换，每次转换一个cell的版图数据，所有cell的版图数据转换后再拼接在一起，然后从版图工具中导出。然而，在现有技术中，多数据导入时，转换效率很低。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种版图数据精度的转换方法，可以将精度更低的版图数据转换为精度更高的版图数据，并且使得转换效率较高。
[0006]为了达到上述目的，本专利技术提供了一种版图数据精度的转换方法，包括：
[0007]提供原始版图数据，并从所述原始版图数据中读取初始DBU；
[0008]将所述初始DBU和设置的目标DBU进行除法计算，以得到除法计算结果；
[0009]判断所述除法计算结果是否具有浮点误差；
[0010]若具有浮点误差，则对所述浮点误差进行消除，消除所述浮点误差后的除法计算结果为转换后的版图数据；
[0011]若不具有浮点误差，则所述除法计算结果为转换后的版图数据。
[0012]可选的，在所述的版图数据精度的转换方法中，所述原始版图数据和转换后的版图数据均为GDSII格式的版图数据。
[0013]可选的，在所述的版图数据精度的转换方法中，在提供原始版图数据，并从所述原始版图数据中读取初始DBU之前，还包括：
[0014]提供原始版图数据集合，所述原始版图数据集合包括多个原始版图数据。
[0015]可选的，在所述的版图数据精度的转换方法中，每个所述原始版图数据均进行DBU转换，当转换完成后，所有的转换后的版图数据形成转换后的版图数据集合。
[0016]可选的，在所述的版图数据精度的转换方法中，所述原始版图数据集合按照四叉
树的数据结构存储，所述四叉树上的每个节点存储一个原始版图数据。
[0017]可选的，在所述的版图数据精度的转换方法中，所述原始版图数据包括多边形图形的数据。
[0018]可选的，在所述的版图数据精度的转换方法中，所述多边形数据包括多边形的各个点的位置坐标。
[0019]可选的，在所述的版图数据精度的转换方法中，判断所述除法计算结果是否具有浮点误差的方法包括：判断所述版图数据包含的四边形图形相对于初始复制的四边形图形具有角度。
[0020]可选的，在所述的版图数据精度的转换方法中，对所述浮点误差进行消除的方法包括：
[0021]查找该四边形图形的一定范围内的图形；
[0022]对该四边形图形和该四边形图形的一定范围内的图形进行合并。
[0023]可选的，在所述的版图数据精度的转换方法中，查找该四边形图形的1nm的图形；
[0024]对该四边形图形和该四边形图形的1nm范围内的图形进行合并。
[0025]在本专利技术提供的版图数据精度的转换方法中，版图数据精度的转换方法，包括：提供原始版图数据，并从所述原始版图数据中读取初始DBU；将所述初始DBU和设置的目标DBU进行除法计算，以得到除法计算结果；判断所述除法计算结果是否具有浮点误差；若具有浮点误差，则对所述浮点误差进行消除，消除所述浮点误差后的除法计算结果为转换后的版图数据；若不具有浮点误差，则所述除法计算结果为转换后的版图数据。本专利技术将精度更低的版图数据转换为精度更高的版图数据，并且提高了转换效率。
附图说明
[0026]图1是本专利技术实施例的版图数据精度的转换方法的流程图。
具体实施方式
[0027]下面将结合示意图对本专利技术的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述，本专利技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本专利技术实施例的目的。
[0028]在下文中，术语“第一”“第二”等用于在类似要素之间进行区分，且未必是用于描述特定次序或时间顺序。要理解，在适当情况下，如此使用的这些术语可替换。类似的，如果本文所述的方法包括一系列步骤，且本文所呈现的这些步骤的顺序并非必须是可执行这些步骤的唯一顺序，且一些所述的步骤可被省略和/或一些本文未描述的其他步骤可被添加到该方法。
[0029]请参照图1，本专利技术提供了一种版图数据精度的转换方法，包括：
[0030]S11：提供原始版图数据，并从原始版图数据中读取初始DBU；
[0031]S12：将初始DBU和设置的目标DBU进行除法计算，以得到除法计算结果；
[0032]S13：判断除法计算结果是否具有浮点误差；
[0033]S14：若具有浮点误差，则对浮点误差进行消除，消除浮点误差后的除法计算结果为转换后的版图数据；
[0034]S15：若不具有浮点误差，则除法计算结果为转换后的版图数据。
[0035]本专利技术实施例中，原始版图数据和转换后的版图数据均为GDSII格式的版图数据。本专利技术实施例主要是针对GDSII格式版图数据，所以转换前是GDSII格式版图数据，转换后也是GDSII格式版图数据，转换只是精度的转换，不针对格式的转换。精度转换可以将不能适用现在生产或设计的低精度GDSII格式版图数据转换为高精度的GDSII格式版图数据，以使得设计或生产可用。同时，也可以将不同精度的GDSII格式版图数据的精度进行统一，方便生产和管理。
[0036]本专利技术实施例中，在提供原始版图数据，并从原始版图数据中读取初始DBU之前，还包括：提供原始版图数据集合，原始版图数据集合包括多个原始版图数据。
[0037]本专利技术实施例中，每个原始版图数据均进行DBU转换，当转换完成后，所有的转换后的版图数据形成转换后的版图数据集合。一个原始版图数据是一个cell的原始版图数据，一个晶圆包括多个cell，所以有多个cell的原始版图数据，因此，在进行精度转换的时候是对原始版图数据一个一个地进行处理，处理后得到的版图数据也是一个一个的，最后将所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种版图数据精度的转换方法，其特征在于，包括：提供原始版图数据，并从所述原始版图数据中读取初始DBU；将所述初始DBU和设置的目标DBU进行除法计算，以得到除法计算结果；判断所述除法计算结果是否具有浮点误差；若具有浮点误差，则对所述浮点误差进行消除，消除所述浮点误差后的除法计算结果为转换后的版图数据；若不具有浮点误差，则所述除法计算结果为转换后的版图数据。2.如权利要求1所述的版图数据精度的转换方法，其特征在于，所述原始版图数据和转换后的版图数据均为GDSII格式的版图数据。3.如权利要求1所述的版图数据精度的转换方法，其特征在于，在提供原始版图数据，并从所述原始版图数据中读取初始DBU之前，还包括：提供原始版图数据集合，所述原始版图数据集合包括多个原始版图数据。4.如权利要求3所述的版图数据精度的转换方法，其特征在于，每个所述原始版图数据均进行DBU转换，当转换完成后，所有的转换后的版图数据形成转换后的版图数据集合。5.如权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：张兴洲，
申请(专利权)人：上海华虹宏力半导体制造有限公司，
类型：发明
国别省市：