本公开是关于一种光罩信息管理方法、光罩信息管理系统、计算机可读存储介质及电子设备。该光罩信息管理方法包括：根据输入的光罩标识信息，在光罩数据库中查找光罩标识信息对应的关系线；从关系线中确定出光罩标识信息对应的光罩相关信息；在光罩信息界面的预设栏位中添加光罩相关信息对应的光罩信息、光罩群组信息、光敏层信息和光罩集合信息。本公开提高了对光罩信息管理的效率和准确性。了对光罩信息管理的效率和准确性。了对光罩信息管理的效率和准确性。
【技术实现步骤摘要】
光罩信息管理方法及系统、存储介质及电子设备
[0001]本公开涉及半导体产品
，具体而言，涉及一种光罩信息管理方法、光罩信息管理系统、计算机可读存储介质及电子设备。
技术介绍
[0002]在半导体制程中，光罩承担着重要的角色。在半导体产品的生产加工过程中，通常需要对光罩进行增加或删除等修改操作。
[0003]在实际生产加工过程中，一个半导体产品往往会使用很多的光罩，并且有的光罩可能会被多个半导体产品所使用。较多的光罩以及对应的对应关系，导致光罩的管理过程复杂，出错率高。
[0004]需要说明的是，在上述
技术介绍
部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
技术实现思路
[0005]本公开的目的在于提供一种光罩信息管理方法、光罩信息管理系统、计算机可读存储介质及电子设备，以达到对光罩进行自动化管理，提高管理的效率和准确性。
[0006]本公开的其他特性和优点将通过下面的详细描述变得显然，或部分地通过本专利技术的实践而习得。
[0007]根据本公开的第一方面，提供一种光罩信息管理方法，包括：
[0008]根据输入的光罩标识信息，在光罩数据库中查找所述光罩标识信息对应的关系线；
[0009]从所述关系线中确定出所述光罩标识信息对应的光罩相关信息；
[0010]在光罩信息界面的预设栏位中添加所述光罩相关信息对应的光罩信息、光罩群组信息、光敏层信息和光罩集合信息。
[0011]在本公开的一种可选实施方式中，所述光罩标识信息包括光罩ID、光罩群组ID和/或光敏层ID。
[0012]在本公开的一种可选实施方式中，所述方法还包括：
[0013]在所述光罩标识信息对应有多条所述关系线的时候，根据输入的至少两个所述光罩标识信息，确定出对应的所述光罩信息、所述光罩群组信息、所述光敏层信息和所述光罩集合信息。
[0014]在本公开的一种可选实施方式中，所述方法还包括：
[0015]根据输入的光罩修改信息，确定所述光罩数据库中被修改的所述光罩相关信息相对应的关系线是否断开；
[0016]如果断开，发送确认提示信息，以确认是否继续修改。
[0017]在本公开的一种可选实施方式中，所述方法还包括：
[0018]根据输入的光罩修改信息，确定在修改后，所述光罩群组信息中是否还有其他的
光罩信息存在；
[0019]如果在修改后，所述光罩群组信息中没有光罩信息存在，则提示为所述光罩群组添加新的光罩信息，或者删除所述光罩群组所在的所述关系线。
[0020]在本公开的一种可选实施方式中，所述方法还包括：
[0021]根据输入的光罩修改信息，确定与被修改的所述光罩相关信息对应的关联路径；
[0022]确定所述关联路径是否符合所述光罩数据库中所存储的卡控规则。
[0023]在本公开的一种可选实施方式中，所述方法还包括：
[0024]根据输入的光罩修改信息，确定被修改的所述光罩相关信息是否关联至多个半导体产品；
[0025]如果是，发送提示确认信息。
[0026]在本公开的一种可选实施方式中，所述方法还包括：
[0027]对修改模板中记录的修改请求信息进行拆分，提取出光罩修改信息、光罩群组修改信息、光敏层修改信息或光罩集合修改信息对应的关键修改信息；
[0028]根据所述关键修改信息，对所述光罩相关数据进行修改。
[0029]在本公开的一种可选实施方式中，所述方法还包括：
[0030]在新增光罩信息的过程中，根据预设的关联关系，将所述新增光罩信息添加到对应的所述光罩群组信息中。
[0031]在本公开的一种可选实施方式中，所述方法还包括：
[0032]在新增光罩信息或者修改光罩相关信息的过程中，对被修改的所述光罩相关信息以及所述新增光罩信息进行区别性显示。
[0033]在本公开的一种可选实施方式中，所述方法还包括：
[0034]从原始数据库中提取光罩集合信息、光敏层信息、光罩群组信息和光罩信息，并根据预设规则建立光罩信息、光罩群组信息、光敏层信息和光罩集合信息之间的对应关系；
[0035]根据所述对应关系建立相应的关系线，将所述关系线存储至所述光罩数据库中。
[0036]在本公开的一种可选实施方式中，所述方法还包括：
[0037]在所述预设规则中，一个半导体产品对应一个光罩集合信息，一个所述光罩集合信息包括多个光敏层信息，一个所述光敏层信息对应一个光罩群组信息，一个所述光罩群组信息对应至少一个光罩信息。
[0038]在本公开的一种可选实施方式中，所述方法还包括：
[0039]在所述光罩数据库中建立卡控规则；
[0040]在对所述光罩相关信息修改过程中，判断对所述光罩相关信息的修改是否符合所述预设规则和所述卡控规则；
[0041]如果不符合，发送报警提示信息。
[0042]在本公开的一种可选实施方式中，所述方法还包括：
[0043]在所述卡控规则中，对同一个所述光罩相关信息的修改，每次只接收一种修改操作；
[0044]如果在对所述光罩相关信息修改过程中，断开了光罩信息和光罩群组信息的对应关系，确定所述光罩群组中还有剩余光罩。
[0045]在本公开的一种可选实施方式中，所述方法还包括：
[0046]在一个所述光敏层信息与对应的所述光罩群组信息断开对应关系时，将所述光罩群组信息及其对应的所述光罩信息与所述半导体产品断开对应关系。
[0047]根据本公开的第二方面，提供一种光罩信息管理系统，包括：
[0048]对应关系查找模块，用于根据输入的光罩标识信息，在光罩数据库中查找所述光罩标识信息对应的关系线；
[0049]对应信息确定模块，用于从所述关系线中确定出所述光罩标识信息对应的光罩信息、光罩群组信息、光敏层信息和光罩集合信息；
[0050]对应信息填入模块，用于在光罩信息界面的预设栏位中填入对应的所述光罩信息、所述光罩群组信息、所述光敏层信息和所述光罩集合信息。
[0051]根据本公开的第三方面，提供一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现上述的光罩信息管理方法。
[0052]根据本公开的第四方面，提供一种电子设备，包括：
[0053]处理器；以及
[0054]存储器，用于存储所述处理器的可执行指令；
[0055]其中，所述处理器配置为经由执行所述可执行指令来执行上述的光罩信息管理方法。
[0056]本公开提供的技术方案可以包括以下有益效果：
[0057]本公开示例性实施方式提供的光罩信息管理方法，一方面，通过输入的光罩标识信息，即可以从光罩数据库中查找该光罩标识信息对应的关系线；并且根据该关系线即可以确定出光罩标识信息对应的光罩信息、光罩群组信息、光敏层本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光罩信息管理方法，其特征在于，包括：根据输入的光罩标识信息，在光罩数据库中查找所述光罩标识信息对应的关系线；从所述关系线中确定出所述光罩标识信息对应的光罩相关信息；在光罩信息界面的预设栏位中添加所述光罩相关信息对应的光罩信息、光罩群组信息、光敏层信息和光罩集合信息。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述光罩标识信息包括光罩ID、光罩群组ID和/或光敏层ID。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：在所述光罩标识信息对应有多条所述关系线的时候，根据输入的至少两个所述光罩标识信息，确定出对应的所述光罩信息、所述光罩群组信息、所述光敏层信息和所述光罩集合信息。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：根据输入的光罩修改信息，确定所述光罩数据库中被修改的所述光罩相关信息相对应的关系线是否断开；如果断开，发送确认提示信息，以确认是否继续修改。5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：根据输入的光罩修改信息，确定在修改后，所述光罩群组信息中是否还有其他的光罩信息存在；如果在修改后，所述光罩群组信息中没有光罩信息存在，则提示为所述光罩群组添加新的光罩信息，或者删除所述光罩群组所在的所述关系线。6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：根据输入的光罩修改信息，确定与被修改的所述光罩相关信息对应的关联路径；确定所述关联路径是否符合所述光罩数据库中所存储的卡控规则。7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：根据输入的光罩修改信息，确定被修改的所述光罩相关信息是否关联至多个半导体产品；如果是，发送提示确认信息。8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：对修改模板中记录的修改请求信息进行拆分，提取出光罩修改信息、光罩群组修改信息、光敏层修改信息或光罩集合修改信息对应的关键修改信息；根据所述关键修改信息，对所述光罩相关数据进行修改。9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：在新增光罩信息的过程中，根据预设的关联关系，将所述新增光罩信息添加到对应的所述光罩群组信息中。10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：在新增光罩信息或者修改光罩相关信息的过程中，对被修改的所述光罩相关信息以及所述新增光罩信息进行区别性显示。11.根据权利要求1
【专利技术属性】
技术研发人员：郑悦文，徐莹，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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