一种双摆臂装置及固晶设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种双摆臂装置，包括安装底板、旋转驱动单元、左摆臂升降驱动单元、右摆臂升降驱动单元、左摆臂机构、右摆臂机构、双摆臂中心旋转杆、左摆臂升降运动连接杆和右摆臂升降运动连接杆，所述双摆臂中心旋转杆具有供所述左摆臂升降运动连接杆穿过的中心通孔，所述左摆臂升降运动连接杆具有供所述右摆臂升降运动连接杆穿过的中心通孔，所述双摆臂中心旋转杆、左摆臂升降运动连接杆和右摆臂升降运动连接杆同轴设置。本发明专利技术还提供了一种固晶设备。本发明专利技术的有益效果是：设计了一种结构相对简单，且能相对无声运行的双摆臂装置。且能相对无声运行的双摆臂装置。且能相对无声运行的双摆臂装置。

【技术实现步骤摘要】
一种双摆臂装置及固晶设备


[0001]本专利技术涉及摆臂装置，尤其涉及一种双摆臂装置及固晶设备。

技术介绍

[0002]如今自动化固晶机械的摆臂设计大多以单臂为主，这种单臂固晶结构经过了多年的改进与实践，现在已经非常的稳定可靠。但受限于其单臂结构与电机转速上限，单摆臂固晶结构的固晶速度已经很难再有突破性的进展。
[0003]为了突破摆臂固晶的速度上限，其解决方法之一就是采用双摆臂结构，但现有的双摆臂机构，Z轴运动是由两侧的音圈电机或者伺服电机结构驱动的。上方的伺服电机与摆臂部分是直接由锁紧块锁住电机轴进行连接，Z轴运动是由音圈电机或者伺服电机底部连接件对摆臂部分的轴承向下顶升来实现的，摆臂的复位则由弹簧实现，由于两端的音圈电机或者伺服电机底部连接件之间很难做到无缝连接，必然会存在缝隙，而且由于装配误差的存在，很难保证音圈电机组底部平面相互重合，所以当摆臂快速旋转时，轴承经过缝隙处时就会发出巨大的声响，而且由于缝隙的存在，摆臂旋转在发出声响的同时也会造成一定的震动，可能会导致芯片从摆臂吸嘴上掉落。

技术实现思路

[0004]为了解决现有技术中的问题，本专利技术提供了一种双摆臂装置及固晶设备。
[0005]本专利技术提供了一种双摆臂装置，包括安装底板、旋转驱动单元、左摆臂升降驱动单元、右摆臂升降驱动单元、左摆臂机构、右摆臂机构、双摆臂中心旋转杆、左摆臂升降运动连接杆和右摆臂升降运动连接杆，其中，所述双摆臂中心旋转杆具有供所述左摆臂升降运动连接杆穿过的中心通孔，所述左摆臂升降运动连接杆具有供所述右摆臂升降运动连接杆穿过的中心通孔，所述双摆臂中心旋转杆、左摆臂升降运动连接杆和右摆臂升降运动连接杆同轴设置，所述左摆臂机构、右摆臂机构分别安装在所述双摆臂中心旋转杆的外侧，所述左摆臂机构与所述双摆臂中心旋转杆为轴向活动、周向固定配合，所述右摆臂机构与所述双摆臂中心旋转杆为轴向活动、周向固定配合，所述双摆臂中心旋转杆与所述旋转驱动单元连接，所述旋转驱动单元安装在所述安装底板上，所述左摆臂升降运动连接杆的底部与所述左摆臂机构为周向活动、轴向固定配合，所述左摆臂升降运动连接杆的顶部与所述左摆臂升降驱动单元连接，所述左摆臂升降驱动单元安装在所述安装底板上，所述右摆臂升降运动连接杆的底部与所述右摆臂机构为周向活动、轴向固定配合，所述右摆臂升降运动连接杆的顶部与所述右摆臂升降驱动单元连接，所述右摆臂升降驱动单元安装在所述安装底板上。
[0006]作为本专利技术的进一步改进，所述右摆臂升降运动连接杆的顶部和底部均伸出于所述左摆臂升降运动连接杆之外。
[0007]作为本专利技术的进一步改进，所述双摆臂装置还包括角接触轴承组、角接触轴承盖和旋转机构锁紧螺母，所述角接触轴承组安装在所述安装底板的轴承孔内，所述角接触轴
承盖与所述安装底板的轴承孔的下端锁紧连接，所述双摆臂中心旋转杆从下往上穿过所述角接触轴承组与所述旋转驱动单元连接，所述旋转机构锁紧螺母锁紧在所述双摆臂中心旋转杆上并压紧在所述角接触轴承组的上方。
[0008]作为本专利技术的进一步改进，所述旋转驱动单元为旋转伺服电机，所述双摆臂装置还包括旋转伺服电机固定座和旋转伺服电机连接件，所述旋转伺服电机固定座固定在所述安装底板上，所述旋转伺服电机固定在所述旋转伺服电机固定座上，所述旋转伺服电机固定座上设有容纳所述旋转伺服电机连接件的旋转伺服电机连接件容纳凹槽，所述旋转伺服电机连接件的底部与所述双摆臂中心旋转杆的顶部固定连接，所述旋转伺服电机连接件的顶部与所述旋转伺服电机固定连接。
[0009]作为本专利技术的进一步改进，所述旋转伺服电机连接件的中部设有避让所述左摆臂升降驱动单元和右摆臂升降驱动单元的避让凹槽，所述旋转伺服电机连接件连接有旋转限位轴。
[0010]作为本专利技术的进一步改进，所述双摆臂装置还包括左摆臂升降安装角接触轴承组、左摆臂升降安装角接触轴承组密封盖和左摆臂升降运动连接杆锁紧螺母，所述左摆臂升降安装角接触轴承组安装在所述左摆臂机构的轴承孔内，所述左摆臂升降安装角接触轴承组密封盖与所述左摆臂机构的轴承孔锁紧连接，所述左摆臂升降运动连接杆穿过所述左摆臂升降安装角接触轴承组，所述左摆臂升降运动连接杆锁紧螺母锁紧在所述左摆臂升降运动连接杆上，所述左摆臂升降运动连接杆锁紧螺母位于所述左摆臂机构的轴承孔的下方；所述双摆臂装置还包括右摆臂升降安装角接触轴承组、右摆臂升降安装角接触轴承组密封盖和右摆臂升降运动连接杆锁紧垫片，所述右摆臂升降安装角接触轴承组安装在所述右摆臂机构的轴承孔内，所述右摆臂升降安装角接触轴承组密封盖与所述右摆臂机构的轴承孔锁紧连接，所述右摆臂升降运动连接杆穿过所述右摆臂升降安装角接触轴承组，所述右摆臂升降运动连接杆锁紧垫片锁紧在所述右摆臂升降运动连接杆的底部端面，所述右摆臂升降运动连接杆锁紧垫片位于所述右摆臂机构的轴承孔的下方。
[0011]作为本专利技术的进一步改进，所述双摆臂装置还包括双摆臂Z轴升降运动机构马达固定座；所述左摆臂升降驱动单元包括左摆臂Z向升降运动伺服电机、将旋转运动转换为Z轴升降的左摆臂偏心轴旋转机构、左摆臂Z向升降导向机构、左摆臂升降运动连接杆固定件和左摆臂升降运动连接杆锁紧件，所述左摆臂升降运动连接杆锁紧件将所述左摆臂升降运动连接杆的顶端锁紧固定在所述左摆臂升降运动连接杆固定件的内端，所述左摆臂升降运动连接杆固定件的外端通过所述左摆臂偏心轴旋转机构与所述左摆臂Z向升降运动伺服电机连接，所述左摆臂Z向升降运动伺服电机安装在所述双摆臂Z轴升降运动机构马达固定座上，所述左摆臂升降运动连接杆固定件的外端通过所述左摆臂Z向升降导向机构与所述双摆臂Z轴升降运动机构马达固定座连接；所述右摆臂升降驱动单元包括右摆臂Z向升降运动伺服电机、将旋转运动转换为Z轴升降的右摆臂偏心轴旋转机构、右摆臂Z向升降导向机构、右摆臂升降运动连接杆固定件和右摆臂升降运动连接杆锁紧件，所述右摆臂升降运动连接杆锁紧件将所述右摆臂升降运动连接杆的顶端锁紧固定在所述右摆臂升降运动连接杆固定件的内端，所述右摆臂升降运动连接杆固定件的外端通过所述右摆臂偏心轴旋转机构与所述右摆臂Z向升降运动伺服电机连接，所述右摆臂Z向升降运动伺服电机安装在所述双摆臂Z轴升降运动机构马达固定座上，所述右摆臂升降运动连接杆固定件的外端通过所述右
摆臂Z向升降导向机构与所述双摆臂Z轴升降运动机构马达固定座连接。
[0012]作为本专利技术的进一步改进，Z轴垂直于水平面，所述左摆臂Z向升降运动伺服电机、右摆臂Z向升降运动伺服电机、左摆臂升降运动连接杆固定件、右摆臂升降运动连接杆固定件均与水平面相平行，所述旋转驱动单元、双摆臂中心旋转杆、左摆臂升降运动连接杆和右摆臂升降运动连接杆呈竖直均垂直于水平面，所述左摆臂机构、右摆臂机构左右对称设置，所述双摆臂中心旋转杆的左右两侧分别固定有垂直于水平面的交叉滚子导轨，所述左摆臂机构、右摆臂机构分别与双摆臂中心旋转杆两侧的交叉滚子导轨滑动配合。
[0013]作为本专利技术的进一步改进，所述右摆臂偏心轴旋转机构与所述左摆臂偏心轴旋转机构的结构相同，所述右摆本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双摆臂装置，其特征在于：包括安装底板、旋转驱动单元、左摆臂升降驱动单元、右摆臂升降驱动单元、左摆臂机构、右摆臂机构、双摆臂中心旋转杆、左摆臂升降运动连接杆和右摆臂升降运动连接杆，其中，所述双摆臂中心旋转杆具有供所述左摆臂升降运动连接杆穿过的中心通孔，所述左摆臂升降运动连接杆具有供所述右摆臂升降运动连接杆穿过的中心通孔，所述双摆臂中心旋转杆、左摆臂升降运动连接杆和右摆臂升降运动连接杆同轴设置，所述左摆臂机构、右摆臂机构分别安装在所述双摆臂中心旋转杆的外侧，所述左摆臂机构与所述双摆臂中心旋转杆为轴向活动、周向固定配合，所述右摆臂机构与所述双摆臂中心旋转杆为轴向活动、周向固定配合，所述双摆臂中心旋转杆与所述旋转驱动单元连接，所述旋转驱动单元安装在所述安装底板上，所述左摆臂升降运动连接杆的底部与所述左摆臂机构为周向活动、轴向固定配合，所述左摆臂升降运动连接杆的顶部与所述左摆臂升降驱动单元连接，所述左摆臂升降驱动单元安装在所述安装底板上，所述右摆臂升降运动连接杆的底部与所述右摆臂机构为周向活动、轴向固定配合，所述右摆臂升降运动连接杆的顶部与所述右摆臂升降驱动单元连接，所述右摆臂升降驱动单元安装在所述安装底板上。2.根据权利要求1所述的双摆臂装置，其特征在于：所述右摆臂升降运动连接杆的顶部和底部均伸出于所述左摆臂升降运动连接杆之外。3.根据权利要求1所述的双摆臂装置，其特征在于：所述双摆臂装置还包括角接触轴承组、角接触轴承盖和旋转机构锁紧螺母，所述角接触轴承组安装在所述安装底板的轴承孔内，所述角接触轴承盖与所述安装底板的轴承孔的下端锁紧连接，所述双摆臂中心旋转杆从下往上穿过所述角接触轴承组与所述旋转驱动单元连接，所述旋转机构锁紧螺母锁紧在所述双摆臂中心旋转杆上并压紧在所述角接触轴承组的上方。4.根据权利要求3所述的双摆臂装置，其特征在于：所述旋转驱动单元为旋转伺服电机，所述双摆臂装置还包括旋转伺服电机固定座和旋转伺服电机连接件，所述旋转伺服电机固定座固定在所述安装底板上，所述旋转伺服电机固定在所述旋转伺服电机固定座上，所述旋转伺服电机固定座上设有容纳所述旋转伺服电机连接件的旋转伺服电机连接件容纳凹槽，所述旋转伺服电机连接件的底部与所述双摆臂中心旋转杆的顶部固定连接，所述旋转伺服电机连接件的顶部与所述旋转伺服电机固定连接。5.根据权利要求4所述的双摆臂装置，其特征在于：所述旋转伺服电机连接件的中部设有避让所述左摆臂升降驱动单元和右摆臂升降驱动单元的避让凹槽，所述旋转伺服电机连接件连接有旋转限位轴。6.根据权利要求1所述的双摆臂装置，其特征在于：所述双摆臂装置还包括左摆臂升降安装角接触轴承组、左摆臂升降安装角接触轴承组密封盖和左摆臂升降运动连接杆锁紧螺母，所述左摆臂升降安装角接触轴承组安装在所述左摆臂机构的轴承孔内，所述左摆臂升降安装角接触轴承组密封盖与所述左摆臂机构的轴承孔锁紧连接，所述左摆臂升降运动连接杆穿过所述左摆臂升降安装角接触轴承组，所述左摆臂升降运动连接杆锁紧螺母锁紧在所述左摆臂升降运动连接杆上，所述左摆臂升降运动连接杆锁紧螺母位于所述左摆臂机构的轴承孔的下方；所述双摆臂装置还包括右摆臂升降安装角接触轴承组、右摆臂升降安装角接触轴承组密封盖和右摆臂升降运动连接杆锁紧垫片，所述右摆臂升降安装角接触轴承组安装在所述右摆臂机构的轴承孔内，所述右摆...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨华，张昇堂，
申请(专利权)人：深圳市卓兴精密设备有限公司，
类型：发明
国别省市：