一种半导体烧结炉制造技术

本实用新型专利技术提供了一种半导体烧结炉，包括烧结机座、炉盖装置、烧结装置、推料机构和框架料盒机构，所述烧结装置沿X轴布置在所述烧结机座上，所述烧结装置包括对框架进行烧结的烧结平台和沿X轴传送框架的钢条传送机构，所述烧结平台的一端连接有入炉平台，所述烧结平台另一端连接有出料平台，所述入炉平台、烧结平台、出料平台沿X轴依次布置。本实用新型专利技术的有益效果是：在实现框架自动烧结的基础下，改进了结构，使得设备整体更为紧凑，减小了体积，需要占用的空间较小，并且，实现两组焊接区独立送料和烧结、自动收料，生产节拍较快，提高了生产效率。效率。效率。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体烧结炉


[0001]本技术涉及烧结炉，尤其涉及一种半导体烧结炉。

技术介绍

[0002]半导体具有体积小,使用方便等特点,在家用电器和工业电子电路中应用非常广泛。
[0003]现有的半导体在制备时，需要通过烧结炉对贴装有芯片和跳线的框架进行烧结，但现有的烧结炉的结构较复杂，体积较大，需要占用较大空间。

技术实现思路

[0004]为了解决现有技术中的问题，本技术提供了一种半导体烧结炉。
[0005]本技术提供了一种半导体烧结炉，包括烧结机座、炉盖装置、烧结装置、推料机构和框架料盒机构，所述烧结装置沿X轴布置在所述烧结机座上，所述烧结装置包括对框架进行烧结的烧结平台和沿X轴传送框架的钢条传送机构，所述烧结平台的一端连接有入炉平台，所述烧结平台另一端连接有出料平台，所述入炉平台、烧结平台、出料平台沿X轴依次布置，所述炉盖装置与所述烧结装置旋转连接，所述推料机构沿Y轴布置在所述烧结机座上，所述推料机构悬于所述出料平台的上方，所述框架料盒机构沿X轴布置在所述烧结机座上，所述框架料盒机构与所述出料平台沿Y轴对接，所述钢条传送机构沿X轴将位于入炉平台的待烧结的框架传送到烧结平台进行烧结，再传送到出料平台，所述推料机构沿Y轴将位于出料平台上的完成烧结的框架推移到所述框架料盒机构，完成收料。
[0006]作为本技术的进一步改进，所述烧结平台包括平台安装底板、烧结安装板、至少两个实现独立加热控制的加热块和降温块，所述烧结安装板架设在所述平台安装底板上，所述加热块平铺在所述烧结安装板上并沿X向依次排列构成了加热区，所述降温块平铺在所述烧结安装板上构成了冷却区，所述加热区、冷却区沿X向依次排列，所述钢条传送机构包括钢条安装框架、钢条和钢条XZ传动机构，所述钢条至少有两条并位于同一平面张紧在所述钢条安装框架上，所述钢条沿X向布置，所述钢条XZ传动机构与所述钢条安装框架连接，所述钢条XZ传动机构安装在所述平台安装底板上，所述钢条安装框架位于所述烧结安装板、平台安装底板之间，所述加热块和降温块上均设有容纳所述钢条的钢条容纳凹槽，所述钢条XZ传动机构有两个并对称设置在所述钢条安装框架两端。
[0007]作为本技术的进一步改进，所述钢条安装框架包括钢条安装底板和设置在所述钢条安装底板两端的第一钢条安装侧板和第二钢条安装侧板，所述钢条的一端固定在所述第一钢条安装侧板上，所述钢条的另一端通过弹簧张紧机构安装在所述第二钢条安装侧板上，所述弹簧张紧机构包括钢条拉杆、钢条张紧弹簧和钢条调节螺母，所述钢条拉杆固定在所述钢条的端部，所述钢条拉杆沿X向穿过所述第二钢条安装侧板后与所述钢条调节螺母螺纹配合，所述钢条张紧弹簧夹紧在所述第二钢条安装侧板与所述钢条调节螺母之间。
[0008]作为本技术的进一步改进，所述钢条XZ传动机构包括钢条顶升板，钢条X轴导
向轴、钢条X向移动板、钢条X轴传动机构和钢条Z轴顶升机构，所述钢条Z轴顶升机构固定在所述平台安装底板上，所述钢条Z轴顶升机构与所述钢条顶升板连接，所述钢条顶升板与所述钢条X轴导向轴为X向滑动配合，所述钢条安装底板上设有X向中空通道，所述钢条X轴导向轴设置在所述X向中空通道之内，所述钢条X轴导向轴的一端与所述钢条安装底板连接，所述钢条X轴导向轴的另一端与所述钢条X向移动板连接，所述钢条X向移动板与所述钢条X轴传动机构连接。
[0009]作为本技术的进一步改进，所述钢条X轴传动机构包括钢条X轴伺服电机、钢条X轴丝杆组件和钢条X轴驱动支座，所述钢条X轴伺服电机通过所述钢条X轴丝杆组件与所述钢条X轴驱动支座连接，所述钢条X轴驱动支座上设有容纳所述钢条X向移动板的移动板凹槽，所述移动板凹槽的两侧分别安装有轴承滚动轴，所述轴承滚动轴上设有深沟球轴承，所述钢条X向移动板插入所述移动板凹槽之内，所述深沟球轴承紧贴在所述钢条X向移动板的两侧，所述钢条Z轴顶升机构包括钢条Z轴伺服电机和与所述钢条Z轴伺服电机连接的钢条Z轴丝杆组件，所述钢条Z轴丝杆组件包括钢条Z轴丝杆和安装在所述钢条Z轴丝杆上的钢条Z轴丝杆螺母，所述钢条Z轴丝杆螺母的上下两端均安装有防撞胶垫。
[0010]作为本技术的进一步改进，每个所述加热块均内嵌有独立加热控制的发热管和测温头，每个所述降温块均内嵌有冷却水管，所述烧结安装板上均布有氮气管，所述氮气管上密布有针孔，所述平台安装底板的两端分别设有平行于水平面的密封侧板。
[0011]作为本技术的进一步改进，所述炉盖装置包括吊机、炉盖主体和位于所述炉盖主体左右两端的炉盖侧封组件，所述炉盖主体的后端通过合页与烧结平台旋转连接，所述炉盖主体的前端设有炉盖吊升组件，所述吊机通过吊机钢绳与所述炉盖吊升组件连接，所述炉盖侧封组件包括侧盖板、Z向密封侧板和驱动所述Z向密封侧板进行Z向升降的Z向密封侧板升降驱动机构，所述Z向密封侧板升降驱动机构安装在所述侧盖板上，所述Z向密封侧板升降驱动机构与所述Z向密封侧板连接，在关闭状态下，所述Z向密封侧板紧贴在所述密封侧板上。
[0012]作为本技术的进一步改进，所述推料机构包括Y轴推料皮带组件和推料组件，所述Y轴推料皮带组件与所述推料组件连接，所述推料组件包括Z轴推料滑台气缸、推料座、推料杆和推料缓冲保护机构，所述Z轴推料滑台气缸与所述Y轴推料皮带组件连接，所述推料座与所述Z轴推料滑台气缸连接，所述推料杆通过所述推料缓冲保护机构与所述推料座连接，所述推料缓冲保护机构包括推料缓冲直线轴承安装块、推料缓冲直线轴承、推料缓冲弹簧、推料缓冲导向轴和推料缓冲感应器，所述推料缓冲导向轴安装在所述推料座上，所述推料缓冲直线轴承安装在所述推料缓冲直线轴承安装块上，所述推料缓冲直线轴承安装块与所述推料杆连接，所述推料缓冲直线轴承与所述推料缓冲导向轴为滑动配合，所述推料缓冲弹簧夹紧在所述推料缓冲直线轴承安装块、推料座之间，所述推料缓冲感应器安装在所述推料座上。
[0013]作为本技术的进一步改进，所述框架料盒机构包括料盒存放机构、运送料盒的料盒托举平台和驱动料盒托举平台进行升降运动的料盒升降驱动机构，所述料盒升降驱动机构与所述料盒托举平台连接，所述料盒存放机构包括空料盒进料层和满料盒缓存层，所述空料盒进料层包括放置空料盒的空料盒放置平台、将空料盒从空料盒放置平台推送至料盒托举平台的空料盒推移机构，所述满料盒缓存层包括放置满料盒的满料盒放置平台和
将满料盒从料盒托举平台推送至满料盒放置平台的满料盒推移机构。
[0014]作为本技术的进一步改进，所述料盒压紧机构包括料盒压紧气缸和与所述料盒压紧气缸连接的料盒压紧块，所述料盒托举平台的顶部连接有气缸安装座，所述料盒压紧气缸安装在所述气缸安装座上。
[0015]本技术的有益效果是：通过上述方案，在实现框架自动烧结的基础下，改进了结构，使得设备整体更为紧凑，减小了体积，需要占用的空间较小，并且，可不停机自动烧结、自动收料，生产节拍较快，提高了生产效率。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术实施例本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体烧结炉，其特征在于：包括烧结机座、炉盖装置、烧结装置、推料机构和框架料盒机构，所述烧结装置沿X轴布置在所述烧结机座上，所述烧结装置包括对框架进行烧结的烧结平台和沿X轴传送框架的钢条传送机构，所述烧结平台的一端连接有入炉平台，所述烧结平台另一端连接有出料平台，所述入炉平台、烧结平台、出料平台沿X轴依次布置，所述炉盖装置与所述烧结装置旋转连接，所述推料机构沿Y轴布置在所述烧结机座上，所述推料机构悬于所述出料平台的上方，所述框架料盒机构沿X轴布置在所述烧结机座上，所述框架料盒机构与所述出料平台沿Y轴对接。2.根据权利要求1所述的半导体烧结炉，其特征在于：所述烧结平台包括平台安装底板、烧结安装板、至少两个实现独立加热控制的加热块和降温块，所述烧结安装板架设在所述平台安装底板上，所述加热块平铺在所述烧结安装板上并沿X向依次排列构成了加热区，所述降温块平铺在所述烧结安装板上构成了冷却区，所述加热区、冷却区沿X向依次排列，所述钢条传送机构包括钢条安装框架、钢条和钢条XZ传动机构，所述钢条至少有两条并位于同一平面张紧在所述钢条安装框架上，所述钢条沿X向布置，所述钢条XZ传动机构与所述钢条安装框架连接，所述钢条XZ传动机构安装在所述平台安装底板上，所述钢条安装框架位于所述烧结安装板、平台安装底板之间，所述加热块和降温块上均设有容纳所述钢条的钢条容纳凹槽，所述钢条XZ传动机构有两个并对称设置在所述钢条安装框架两端。3.根据权利要求2所述的半导体烧结炉，其特征在于：所述钢条安装框架包括钢条安装底板和设置在所述钢条安装底板两端的第一钢条安装侧板和第二钢条安装侧板，所述钢条的一端固定在所述第一钢条安装侧板上，所述钢条的另一端通过弹簧张紧机构安装在所述第二钢条安装侧板上，所述弹簧张紧机构包括钢条拉杆、钢条张紧弹簧和钢条调节螺母，所述钢条拉杆固定在所述钢条的端部，所述钢条拉杆沿X向穿过所述第二钢条安装侧板后与所述钢条调节螺母螺纹配合，所述钢条张紧弹簧夹紧在所述第二钢条安装侧板与所述钢条调节螺母之间。4.根据权利要求2所述的半导体烧结炉，其特征在于：所述钢条XZ传动机构包括钢条顶升板，钢条X轴导向轴、钢条X向移动板、钢条X轴传动机构和钢条Z轴顶升机构，所述钢条Z轴顶升机构固定在所述平台安装底板上，所述钢条Z轴顶升机构与所述钢条顶升板连接，所述钢条顶升板与所述钢条X轴导向轴为X向滑动配合，所述钢条安装底板上设有X向中空通道，所述钢条X轴导向轴设置在所述X向中空通道之内，所述钢条X轴导向轴的一端与所述钢条安装底板连接，所述钢条X轴导向轴的另一端与所述钢条X向移动板连接，所述钢条X向移动板与所述钢条X轴传动机构连接。5.根据权利要求2所述的半导体烧结炉，其特征在于：所述钢条X轴传动机构包括钢条X轴伺服电机、钢条X轴丝杆组件和钢条X轴驱动支座，所述钢条X轴伺服电机通过所述钢条X轴丝杆组件与所述钢条X轴驱动支座连接，所述钢条X轴驱动支座上设有容纳所述钢条X向移动板的移动板凹槽，所述移动板凹槽的两侧分别安装有轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨华，杨军，
申请(专利权)人：深圳市卓兴精密设备有限公司，
类型：新型
国别省市：