【技术实现步骤摘要】
一种用等离子体刻蚀法制备二维层状MXene材料的方法
[0001]本专利技术属于二维材料有关的
,特别涉及一种用等离子体刻蚀法制备二维层状MXene材料的方法。
技术介绍
[0002]MXene是一种新的二维材料,这类材料来源于MAX相。MAX相的化学组分可以写成Mn+1AXn,这里M指的是前过度金属,包括Sc、Ti、V、Cr、Zr、Nb、Mo、Hf、Ta等;A主要是指第三主族和第四主族的元素,如Al、Ga、Ln、Ti、Si、Ge、Sn、Pb等;X表示C或者N;n=1,2或者3。MAX相结构其实是二维过渡金属碳化物或者氮化物通过A原子粘在一起。对于M
‑
X之间的成键具有共价键、金属键、离子键混合的特点,而M
‑
A之间的键合是靠金属键结合成的。传统的层状材料如石墨烯和过度金属硫族化物TMDs,它们层与层之间依靠范德瓦尔斯力相结合。而MAX层状材料之间的作用力比范德华力强很多,依靠传统的机械剥离方法很难将他们分开。然而,如前所述,M
‑
A和M
‑
X之间 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用等离子体刻蚀法制备二维层状MXene材料的方法,其特征在于:包括以下步骤:步骤(1)、将MAX相粉末放入低压等离子体反应器中,向反应器内通入载气,启动等离子体;步骤(2)、向反应器内通入刻蚀气体和辅助气体,反应完成后得到二维层状MXene材料。2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:所述步骤(1)中,MAX相粉末为M
n+1
AX
n
型化合物,其中n=1到3,M为过渡金属Sc、Ti、V、Cr、Zr、Nb、Mo、Hf、Ta中的一种或几种,A为Si或Al,X为C或N。3.根据权利要求3所述的方法,其特征在于:所述步骤(1)中,低压等离子体反应...
【专利技术属性】
技术研发人员:余柯涵,樊硕,赵浩宇,陈庆鹏,甘凡,郑加金,胡二涛,
申请(专利权)人:南京邮电大学,
类型:发明
国别省市:
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