一种拼接式喷射管，包括L型硅管、转接硅管和尾硅管，L型硅管的一端部设有沿轴向凸起的圆环形的螺接头，转接硅管的一端设有沿轴向开设的螺接孔且另一端设有沿轴向凸起的圆环形的螺接头；尾硅管的一端部设有沿轴向开设的螺接孔，转接硅管的螺接孔连接至L型硅管的螺接头，转接硅管的螺接头连接至尾硅管螺接孔，L型硅管、转接硅管和尾硅管均设有沿轴向设置的导气孔，L型硅管、转接硅管和尾硅管的导气孔依次导通。上述方案使得L型硅管、转接硅管和尾硅管能够各自独立加工导气孔，缩短了所需的钻孔深度，有效提升了导气孔的加工精度。本公开还提到了一种拼接式喷射管的导气孔制作方法和一种拼接式喷射管的本体制作方法。种拼接式喷射管的本体制作方法。种拼接式喷射管的本体制作方法。
【技术实现步骤摘要】
一种拼接式喷射管及其导气孔和本体的制作方法
[0001]本专利技术涉及气体喷射管的
，具体涉及一种拼接式喷射管，一种拼接式喷射管的导气孔制作方法，一种拼接式喷射管的本体的制作方法。
技术介绍
[0002]硅片热处理是半导体或集成电路加工过程中一个重要的步骤，热处理的效果好坏直接关系到硅片的最终性能。硅片热处理包含氧化、扩散、退火等工序，在热处理时，半导体硅片需要放置在炉体内，而这时候就需要一种用于往炉体内送气的管道，这种管道在业内被称作喷射管。喷射管作为将工艺气体导入炉腔内的关键性零部件，直接影响硅片的热处理效果。
[0003]喷射管大多先由硅材料一体化成型至棒状的胚体，随后再通过钻头进行钻孔，使得胚体的中心形成轴向的导气孔。喷射管用于插入炉体的那端一般为L形，这就导致喷射管内需要加工两个相互垂直的导气孔。然而，由于喷射管的尺寸往往较长，钻孔往往较深，这就导致加工出的导气孔的垂直度和加工均匀性较差，影响送气效果。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的是解决现有技术中的喷射管在加工时，由于钻孔较深使得导气孔的加工精度无法保证，进而影响送气效果的问题。
[0005]为解决上述问题，本专利技术提供一种拼接式喷射管，包括L型硅管、转接硅管和尾硅管，所述L型硅管的一端部设有沿轴向凸起的圆环形的螺接头，所述转接硅管的一端设有沿轴向开设的螺接孔且另一端设有沿轴向凸起的圆环形的螺接头；所述尾硅管的一端部设有沿轴向开设的螺接孔，所述转接硅管的螺接孔连接至所述L型硅管的螺接头，所述转接硅管的螺接头连接至所述尾硅管螺接孔，所述L型硅管、转接硅管和尾硅管均设有沿轴向设置的导气孔，所述L型硅管、转接硅管和尾硅管的导气孔依次导通。
[0006]上述方案通过将喷射管分为三段，其中L型硅管用于伸入炉体内实现送气，尾硅管则用于连通至气源实现进气，而转接硅管则在L型硅管导气和尾硅管之间实现导气，从而使得L型硅管、转接硅管和尾硅管能够各自独立加工导气孔，缩短了所需的钻孔深度，有效提升了导气孔的加工精度；同时由于螺接头和螺接孔的设置，使得L型硅管、转接硅管和尾硅管之间的组装高效便捷，无需消耗大量的电能熔接，节省成本，解决了现有技术中的一体式喷射管大深径比钻孔的难题，保证了导气孔的加工精度和加工均匀性，且由于螺接头能够插接至螺接孔的内部，密封性好，避免了漏气问题。
[0007]本专利技术还提供一种拼接式喷射管的导气孔制作方法，应用于如上所述的拼接式喷射管，包括如下步骤：
[0008]S1、将待加工件粘蜡后沿竖向固定在夹具上，根据所要加工的导气孔的孔径选用相应尺寸的磨头，磨头的刀头端设有沿轴向开设的容纳槽以使得刀头端形成筒形，容纳槽的槽底设有出水孔；
[0009]S2、加工中心带动磨头移动至待加工件处并开始初始磨削：此阶段磨头的转速为S1RPM，磨头的进给速度为Z1mm/min，磨削深度为T1mm，每磨削t1mm对磨头进行一次抬刀，每次抬刀时磨头移动至待加工件上方的R1mm处，每次抬刀持续时间为P1秒，每次抬刀时由出水孔流出切屑液以实现对刀头端的冲洗冷却；
[0010]S3、初始磨削结束，开始高进给磨削：此阶段磨头的转速为S2RPM，磨头的进给速度为Z2mm/min，磨削深度为T1+T2mm，每磨削t2mm对磨头进行一次抬刀，每次抬刀时磨头移动至待加工件上方的R2mm处，每次抬刀持续时间为P2秒，每次抬刀时由出水孔流出切屑液以实现对刀头端的冲洗冷却，其中S2≥S1，Z2＞Z1，t2＜t1，R2＜R1，P2＜P1；
[0011]S4、高进给磨削结束，开始低进给磨削：此阶段磨头的转速为S3RPM，进给速度为Z3mm/min，磨削深度T1+T2+T3mm，每磨削t3mm对磨头进行一次抬刀，每次抬刀时磨头移动至待加工件上方的R3mm处，每次抬刀持续时间为P3秒，每次抬刀时由出水孔流出切屑液以实现对刀头端的冲洗冷却，其中S3≥S2，Z3＜Z2，t3≤t2，R3≥R2，P3≥P2；
[0012]S5、低进给磨削结束，开始末端磨削：此阶段磨头的转速为S4RPM，进给速度为Z4mm/min，磨削深度为T1+T2+T3+T4mm，每磨削t4mm对磨头进行一次抬刀，每次抬刀时磨头移动至待加工件上方的R4mm处，每次抬刀持续时间为P4秒，每次抬刀时由出水孔流出切屑液以实现对刀头端的冲洗冷却，其中S4≤S3，Z4＜Z3，t4≥t3，R4≤R3，P4≤P3，T1+T2+T3+T4＞导气孔的孔深。
[0013]上述方案通过将对导气孔的加工分为四个阶段，并在每个阶段对磨头设定不同的磨削参数，其中初始磨削阶段实现了对待加工件的导气孔的初步定位，高进给磨削阶段实现了对导气孔的主体部分的快速加工，低进给磨削阶段实现了对导气孔深处的稳定加工，而末端磨削则实现了对导气孔的末端的收尾加工，每个阶段各有侧重，最终实现了对导气孔的精确、高效的加工。同时，上述方案还对磨头的刀头端进行了设计，使得磨削过程中的废屑能够暂存在容纳槽内，随后在每次抬刀时出水孔流出的切屑液能够对容纳槽内的废屑进行冲洗，为后续的再次磨削提供了便利。
[0014]作为优选的，所述磨头的刀头端电镀有金刚石镀层，所述容纳槽的槽壁设有若干沿周向分布的排屑通槽，从而使得磨头能够更稳定地对待加工件进行磨削，而磨削出的废屑能够由排屑通槽排出。
[0015]作为优选的，所述出水孔的出水压力为40MPa，从而实现对磨头的有效冲洗。
[0016]本专利技术还提供一种拼接式喷射管的本体的制作方法，应用于如上所述的拼接式喷射管，包括如下步骤：
[0017]S1、将待加工件粘蜡后平卧固定在夹具上，根据所要加工的外管管径选用相应尺寸的铣刀，铣刀的刀头端设有沿轴向开设的容置槽以使得刀头端形成筒形，容置槽的槽底设有出液孔；
[0018]S2、加工中心带动铣刀移动至待加工件处开始铣削：铣刀的转速至少为3000RPM，进给速度不超过50mm/min，下刀量不超过0.1mm，平移速度不超过100mm/min；
[0019]S3、加工中心带动铣刀移动至待加工件的轴向侧面处，对待加工件的螺接头和/或螺接孔进行加工：加工螺接头阶段，铣刀上装配螺纹攻丝刀，铣刀的转速至少为5000RPM，进给速度不超过100mm/min，下刀量不超过0.05mm，螺牙的牙顶至牙底距离k1至少为0.5mm；加工螺接孔阶段，铣刀上先装配金刚石铣头，并在待加工件的端部铣出底孔，此时铣刀的转速至少为4000RPM，进给速度不超过200mm/min，下刀量不超过0.05mm，随后用螺纹攻丝刀替换
金刚石洗头装配到铣刀上，并对底孔进行攻丝，此时铣刀的转速至少为5000RPM，进给速度不超过100mm/min，下刀量不超过0.05mm，螺牙的牙顶至牙底距离k2至少为0.5mm；
[0020]S4、得到加工完成的L型硅管、转接硅管和尾硅管，将所述转接硅管的螺接孔连接至所述L型硅管的螺接头，将所述转接硅管的螺接头连接至所述尾硅管螺接孔。
[0021]上述方案在步骤S2中通过铣刀实现对待加工本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种拼接式喷射管，其特征在于，包括L型硅管(1)、转接硅管(2)和尾硅管(3)，所述L型硅管(1)的一端部设有沿轴向凸起的圆环形的螺接头(4)，所述转接硅管(2)的一端设有沿轴向开设的螺接孔(5)且另一端设有沿轴向凸起的圆环形的螺接头(4)；所述尾硅管(3)的一端部设有沿轴向开设的螺接孔(5)，所述转接硅管(2)的螺接孔(5)连接至所述L型硅管(1)的螺接头(4)，所述转接硅管(2)的螺接头(4)连接至所述尾硅管(3)螺接孔(5)，所述L型硅管(1)、转接硅管(2)和尾硅管(3)均设有沿轴向设置的导气孔(6)，所述L型硅管(1)、转接硅管(2)和尾硅管(3)的导气孔(6)依次导通。2.一种拼接式喷射管的导气孔制作方法，应用于如权利要求1所述的拼接式喷射管，其特征在于，包括如下步骤：S1、将待加工件粘蜡后沿竖向固定在夹具上，根据所要加工的导气孔(6)的孔径选用相应尺寸的磨头(7)，磨头(7)的刀头端设有沿轴向开设的容纳槽(71)以使得刀头端形成筒形，容纳槽(71)的槽底设有出水孔(73)；S2、加工中心带动磨头(7)移动至待加工件处并开始初始磨削：此阶段磨头(7)的转速为S1RPM，磨头(7)的进给速度为Z1mm/min，磨削深度为T1mm，每磨削t1mm对磨头(7)进行一次抬刀，每次抬刀时磨头(7)移动至待加工件上方的R1mm处，每次抬刀持续时间为P1秒，每次抬刀时由出水孔(73)流出切屑液以实现对刀头端的冲洗冷却；S3、初始磨削结束，开始高进给磨削：此阶段磨头(7)的转速为S2RPM，磨头(7)的进给速度为Z2mm/min，磨削深度为T1+T2mm，每磨削t2mm对磨头(7)进行一次抬刀，每次抬刀时磨头(7)移动至待加工件上方的R2mm处，每次抬刀持续时间为P2秒，每次抬刀时由出水孔(73)流出切屑液以实现对刀头端的冲洗冷却，其中S2≥S1，Z2＞Z1，t2＜t1，R2＜R1，P2＜P1；S4、高进给磨削结束，开始低进给磨削：此阶段磨头(7)的转速为S3RPM，进给速度为Z3mm/min，磨削深度T1+T2+T3mm，每磨削t3mm对磨头(7)进行一次抬刀，每次抬刀时磨头(7)移动至待加工件上方的R3mm处，每次抬刀持续时间为P3秒，每次抬刀时由出水孔(73)流出切屑液以实现对刀头端的冲洗冷却，其中S3≥S2，Z3＜Z2，t3≤t2，R3≥R2，P3≥P2；S5、低进给磨削结束，开始末端磨削：此阶段磨头(7)的转速为S4RPM，进给速度为Z4mm/min，磨削深度为T1+T2+T3+T4mm，每磨削t4mm对磨头(7)进行一次抬刀，每次抬刀时磨头(7)移动至待加工件上方的R4mm处，每次抬刀持续时间为P4秒，每次抬刀时由出水孔(73)流出切屑液以实现对刀头端的冲洗冷却，其中S4≤...
【专利技术属性】
技术研发人员：范荣，李士昌，
申请(专利权)人：盛吉盛精密技术宁波有限公司，
类型：发明
国别省市：
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