线性光源和平凸柱面透镜的一致性检测方法和装置制造方法及图纸

本发明专利技术实施例提出的平凸柱面透镜的检测方法和线性光源的检测方法，能以较高的效率拣选出批量的具有较好的一致性的该线性光源6和该平凸柱面透镜7，能够有效改善照明效果不一致的状况，尽可能地确保在不同的设备中，同一物体在相机中成像的一致性，从而针对同一对象的检测结果的差异性不会过大，减少不良检测对象进入下道工序。本发明专利技术实施例提出的平凸柱面透镜夹具和应用了该平凸柱面透镜夹具的测量台，为非标的线性光源6和平凸柱面透镜7提供了在半导体、面板行业，或其他产业的Defect高精度(微米，甚至纳米级)量测、检测等领域中能够直接适用的检验方法和装置，能获得可靠的验收依据，推动了相关领域的标准化的发展进程。推动了相关领域的标准化的发展进程。推动了相关领域的标准化的发展进程。

【技术实现步骤摘要】
线性光源和平凸柱面透镜的一致性检测方法和装置


[0001]本专利技术涉及光学元件的检测领域，尤其涉及线性光源和平凸柱面透镜的检测方法和装置。

技术介绍

[0002]在半导体、面板行业，或其他产业的Defect高精度(微米，甚至纳米级)量测、检测的视觉工程中，经常会遇到使用同一型号的设备来检测同一对象时，获得的图像效果差异过大而导致检测结果误差严重的情况。
[0003]究其原因，主要是同型号的不同设备中的照明效果差异过大造成的。因此，如何在同型号的不同设备中获得较接近的照明效果，就成为了本行业亟需解决的问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术解决的技术问题是：不同设备中的照明效果差异过大造成的检测同一对象时，获得的图像效果差异过大而导致检测结果误差严重的问题。
[0005]在解决该问题的过程中，通过对相关影响因素的仔细梳理，专利技术人发现了对该线性光源和该平凸柱面透镜的检测具有重要的价值，进而建立起了针对在AOI设备中使用的该线性光源和该平凸柱面透镜的一致性检测的概念和方法，进一步地，又设计了能满足该方法的需求的该平凸柱面透镜夹具和测量台，挑选出具有较好的一致性的线性光源和平凸柱面透镜，以在不同的设备中获得较接近的照明效果，解决针对同一瑕疵获得的图像的效果差异过大的问题。
[0006]这里需要补充说明的是，目前，线性光源和平凸柱面透镜都属于定制的非标产品，没有统一的国标或行业标准来规范其生产制造，各个厂家也没有制定自己的厂标。尽管目前也有一些针对线性光源和平凸柱面透镜的检测方法，但是，这些方法基本都是针对某一特定的参数或工艺指标的，而没有针对使用中的综合性能的测试，也不是为了在半导体、面板行业，或其他产业的Defect高精度(微米，甚至纳米级)量测、检测这样较狭窄的领域内的应用而进行的专门设计，无法直接应用。因此，本专利技术对线性光源和平凸柱面透镜在缺陷检测中的应用，尤其是在高精度缺陷检测中的应用，这样一个较狭窄的领域，提出的适于实际使用的检验方法和装置，具有突出的实质性特点。也因为在解决前述技术问题中，确实能够在不同的设备中获得较接近的照明效果，解决了针对同一瑕疵获得的图像的效果差异过大的问题，尤其是在高精度的检测中，带来了巨大的技术上的进步，因此具有显著的进步。
[0007]第一方面，本专利技术实施例提出一种平凸柱面透镜的检测方法，该方法包括：
[0008]S1：选取一个标准线性光源6。
[0009]S2：将该标准线性光源6安装到光源支架4上。将该平凸柱面透镜7安装到夹具3上。将该标准线性光源6和该平凸柱面透镜7对中。
[0010]S3：调整该标准线性光源6到该平凸柱面透镜7的距离，使得该标准线性光源6在该平凸柱面透镜7的焦点上。
[0011]S4：测量模块5包括照度计52。沿着Y方向移动该测量模块5，测量该平凸柱面透镜7长度方向上的照度值，获得该平凸柱面透镜7本身的一致性。
[0012]第二方面，本专利技术实施例提出一种平凸柱面透镜的检测方法，该方法包括：
[0013]S1：选取一个标准线性光源6。
[0014]S2：将该标准线性光源6安装到光源支架4上。将该平凸柱面透镜7安装到夹具3上。将该标准线性光源6和该平凸柱面透镜7对中。
[0015]S3：调整该标准线性光源6到该平凸柱面透镜7的距离，使得该标准线性光源6在该平凸柱面透镜7的焦点上。
[0016]S4：改变测量模块5和该平凸柱面透镜7之间的距离l，确定该平凸柱面透镜7的工作距离L。
[0017]S5：保持该标准线性光源6和该平凸柱面透镜7的位置不变。将该平凸柱面透镜7更换为同型号的其他该平凸柱面透镜7，对比该测量模块5的测量结果，获得不同的该平凸柱面透镜7的一致性。
[0018]第三方面，本专利技术实施例提出一种线性光源的检测方法，该方法包括：
[0019]S1：选取一个标准平凸柱面透镜7。
[0020]S2：将该线性光源6安装到光源支架4上。将该标准平凸柱面透镜7安装到夹具3上。将该线性光源6和该标准平凸柱面透镜7对中。
[0021]S3：调整该线性光源6到该标准平凸柱面透镜7的距离，使得该线性光源6在该标准平凸柱面透镜7的焦点上。
[0022]S4：改变测量模块5和该标准平凸柱面透镜7之间的距离l，确定该标准平凸柱面透镜7的工作距离L。
[0023]S5：保持该线性光源6和该标准平凸柱面透镜7的位置不变。将该线性光源6更换为同型号的其他该线性光源6，对比该测量模块5的测量结果，获得不同的该线性光源6的一致性。
[0024]第四方面，本专利技术实施例提出一种平凸柱面透镜夹具，该夹具包括：
[0025]竖直支架1和水平移动部件2。
[0026]该竖直支架1包括左支架11和右支架12。
[0027]该左支架11包括左侧板111和左夹块112。
[0028]该右支架12包括右侧板121和右夹块122。
[0029]该左侧板111和该右侧板121分别从左、右两边夹住该平凸柱面透镜7。
[0030]该左夹块112和该右夹块122分别安装在该左侧板111和该右侧板121上，并分别从上方向下压住该平凸柱面透镜7。
[0031]该水平移动部件2包括水平轨道21，该左侧板111和该右侧板121都安装在该水平轨道21上，并能通过调整该左侧板111和该右侧板121的相对位置来调节该左侧板111和该右侧板121之间的距离，以适应该平凸柱面透镜7的长度。
[0032]在一些实施例中，本专利技术提供的一种平凸柱面透镜夹具：
[0033]该左支架11还包括左弹簧113和左阻挡块114。
[0034]该右支架12还包括右弹簧123和右阻挡块124。
[0035]该左阻挡块114和该右阻挡块124分别安装在该左夹块112和该右夹块122的上方。
[0036]该左阻挡块114和该左夹块112之间有左弹簧113，该右阻挡块124和该右夹块122之间有右弹簧123。在该左阻挡块114和该右阻挡块124的位置固定后，能够通过该左弹簧113和该右弹簧123的弹力分别将该左夹块112和该右夹块122向下压住，夹紧该平凸柱面透镜7。
[0037]在一些实施例中，本专利技术提供的一种平凸柱面透镜夹具：
[0038]该左夹块112和该右夹块122均包括连接在一起的内侧夹块和外侧夹块。该左夹块112和该右夹块122的该内侧夹块分别在该左侧板111和该右侧板121紧靠该平凸柱面透镜7的一侧。该左夹块112和该右夹块122的该外侧夹块分别在该左侧板111和该右侧板121没有靠着该平凸柱面透镜7的一侧。当该外侧夹块受到外力而移动时，能够带动相应的该内侧夹块做同向的移动。当该内侧夹块受到外力而移动时，也能够带动相应的该外侧夹块做同向的移动。
[0039]该左阻挡块114和该左弹簧113，该右阻挡块124和该右弹簧123，均通过压住该外侧夹块来带动该内侧夹块压住该平凸柱面透镜7。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种平凸柱面透镜的检测方法，其特征在于，所述方法包括：S1：选取一个标准线性光源(6)；S2：将所述标准线性光源(6)安装到光源支架(4)上；将所述平凸柱面透镜(7)安装到夹具(3)上；将所述标准线性光源(6)和所述平凸柱面透镜(7)对中；S3：调整所述标准线性光源(6)到所述平凸柱面透镜(7)的距离，使得所述标准线性光源(6)在所述平凸柱面透镜(7)的焦点上；S4：测量模块(5)包括照度计(52)；沿着Y方向移动所述测量模块(5)，测量所述平凸柱面透镜(7)长度方向上的照度值，获得所述平凸柱面透镜(7)本身的一致性。2.一种平凸柱面透镜的检测方法，其特征在于，所述方法包括：S1：选取一个标准线性光源(6)；S2：将所述标准线性光源(6)安装到光源支架(4)上；将所述平凸柱面透镜(7)安装到夹具(3)上；将所述标准线性光源(6)和所述平凸柱面透镜(7)对中；S3：调整所述标准线性光源(6)到所述平凸柱面透镜(7)的距离，使得所述标准线性光源(6)在所述平凸柱面透镜(7)的焦点上；S4：改变测量模块(5)和所述平凸柱面透镜(7)之间的距离l，确定所述平凸柱面透镜(7)的工作距离L；S5：保持所述标准线性光源(6)和所述平凸柱面透镜(7)的位置不变；将所述平凸柱面透镜(7)更换为同型号的其他所述平凸柱面透镜(7)，对比所述测量模块(5)的测量结果，获得不同的所述平凸柱面透镜(7)的一致性。3.一种线性光源的检测方法，其特征在于，所述方法包括：S1：选取一个标准平凸柱面透镜(7)；S2：将所述线性光源(6)安装到光源支架(4)上；将所述标准平凸柱面透镜(7)安装到夹具(3)上；将所述线性光源(6)和所述标准平凸柱面透镜(7)对中；S3：调整所述线性光源(6)到所述标准平凸柱面透镜(7)的距离，使得所述线性光源(6)在所述标准平凸柱面透镜(7)的焦点上；S4：改变测量模块(5)和所述标准平凸柱面透镜(7)之间的距离l，确定所述标准平凸柱面透镜(7)的工作距离L；S5：保持所述线性光源(6)和所述标准平凸柱面透镜(7)的位置不变；将所述线性光源(6)更换为同型号的其他所述线性光源(6)，对比所述测量模块(5)的测量结果，获得不同的所述线性光源(6)的一致性。4.一种平凸柱面透镜夹具，其特征在于，所述夹具包括：竖直支架(1)和水平移动部件(2)；所述竖直支架(1)包括左支架(11)和右支架(12)；所述左支架(11)包括左侧板(111)和左夹块(112)；所述右支架(12)包括右侧板(121)和右夹块(122)；所述左侧板(111)和所述右侧板(121)分别从左、右两边夹住所述平凸柱面透镜(7)；所述左夹块(112)和所述右夹块(122)分别安装在所述左侧板(111)和所述右侧板(121)上，并分别从上方向下压住所述平凸柱面透镜(7)；所述水平移动部件(2)包括水平轨道(21)，所述左侧板(111)和所述右侧板(121)都安
装在所述水平轨道(21)上，并能通过调整所述左侧板(111)和所述右侧板(121)的相对位置来调节所述左侧板(111)和所述右侧板(121)之间的距离，以适应所述平凸柱面透镜(7)的长度。5.根据权利要求4所述的夹具，其特征在于：所述左支架(11)还包括左弹簧(113)和左阻挡块(114)；所述右支架(12)还包括右弹簧(123)和右阻挡块(124)；所述左阻挡块(114)和所述右阻挡块(124)分别安装在所述左夹块(112)和所述右夹块(122)的上方；所述左阻挡块(114)和所述左夹块(112)之间有左弹簧(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：兰海燕，李士昌，
申请(专利权)人：盛吉盛精密技术宁波有限公司，
类型：发明
国别省市：