本发明专利技术公开了一种Micro LED检测及分等装置，属于半导体检测技术领域；所述Micro LED检测及分等装置集成自动上料、自动检测和自动分等，自动化程度高；通过托盘搬运机械手实现装置内空托盘的循环，减少人工搬运空托盘的步骤，降低人力成本；同时减少分等区中人工上料位的设置，缩小设备空间；检测单元中集成多个检测模块，提高检测效率，检测流程顺畅；多个检测模块沿Y轴依次排布，该排布方式使得在X轴方向上留有空间设置多个检测单元，提高空间利用率；检测完成后可直接进行分等，减少中间搬运环节，节省人力成本。节省人力成本。节省人力成本。
【技术实现步骤摘要】
一种Micro LED检测及分等装置
[0001]本专利技术属于半导体检测
，具体涉及一种Micro LED检测及分等装置。
技术介绍
[0002]Micro LED（微型发光二极管）是以自发光的微米级发光二极管作为像素单元，将其组装到驱动面板上形成高密度LED阵列的显示技术。由于Micro LED尺寸小、集成度高，相比于传统的液晶显示面板具有更高的亮度和分辨率。
[0003]Micro LED模组在生产过程中需要经过多次检测，例如有测距检测、Gamma检测、API检测和Demura检测等，目前针对Micro LED模组的检测装置大多为单一检测模组，各单一检测模组独立为一条产线，针对一个Micro LED产品，其需要经过多条产线，才能完成多个检测项目，因而在此过程中需要经过多次人工转运，自动化程度较低，不利于节约人力成本、易于出错；多条产线的分开检测方法不能做到检测信息的实时监测和更新，导致上下游信息交互不及时，检测效率较为低下；并且检测信息需要经过汇总的步骤后，控制系统才能综合判定等级信息，再根据等级信息分等，检测步骤和分等步骤不能直接顺序进行；且针对每条产线，需要重复设置基本的设备机构，不利于提高设备利用率和节省生产空间。
技术实现思路
[0004]鉴于以上所述现有技术的全部或部分不足，本专利技术的目的在于：提供一种Micro LED检测及分等装置，所述Micro LED检测及分等装置集成上料、检测和分等区，自动化程度高；整体结构排布紧凑，空间利用率高。
[0005]为实现上述全部或部分目的，本专利技术提供以下技术方案：本专利技术提供一种Micro LED检测及分等装置，包括机架，在所述机架上设置有缓存区、检测区和分等区，所述缓存区与所述检测区沿Y向依次设置，所述分等区沿所述缓存区或所述检测区的X向设置；所述缓存区设置有上料托盘位、空托盘位和托盘搬运机械手，所述上料托盘位用于缓存载有待检测Micro LED的托盘组，所述空托盘位用于缓存空托盘，所述托盘搬运机械手用于将所述上料托盘位上的空托盘搬运至所述空托盘位；所述检测区包括多个沿X向排布的检测单元，每个所述检测单元包括若干不同的沿Y向排布的检测模组，用于对Micro LED进行检测；所述缓存区与所述检测区之间设置有上下料机械手，用于将所述上料托盘位中的Micro LED上料至所述检测单元中检测，并待检测完成后下料至所述分等区；所述分等区包括中转台、分等机械手和下料托盘缓存区，所述中转台用于接收所述上下料机械手下料的完成检测的Micro LED，所述下料托盘缓存区设有用于放置对应不同等级Micro LED的托盘组，所述分等机械手用于将所述中转台上的Micro LED搬运至所述下料托盘缓存区中对应等级的托盘组中缓存。该技术方案的有益效果在于，所述Micro LED检测及分等装置集成自动上料、自动检测和自动分等，自动化程度高；检测单元中的多个检
测模块沿Y轴排布，因此在X轴方向上留有空间设置多个检测单元，在提高空间利用率的同时，检测流程顺畅，提高检测效率。
[0006]所述分等区沿所述检测区的X向设置，所述分等机械手位于所述检测区和下料托盘缓存区之间，所述下料托盘缓存区设有多个沿Y向排布的下料托盘位，所述分等机械手将所述中转台上的Micro LED搬运至对应等级下料托盘位的托盘组中。该技术方案的有益效果在于，分等区的物流传送沿Y轴方向，与上下料机械手的工作区互不干涉；下料托盘位的数量可依据实际需求灵活设置，其数量的增加不影响检测区的物料传送效率；该检测区和分等区的布局方式适合在X轴方向上具有较多空间的场地。
[0007]所述分等区沿所述检测区的Y向、所述缓存区的X向设置，所述中转台、分等机械手和下料托盘缓存区沿Y轴且远离所述检测区的方向依次排布，所述下料托盘缓存区设有多个沿X轴排布的下料托盘位，所述分等机械手沿X向将所述中转台上的Micro LED搬运至对应等级下料托盘位的托盘组中。该检测区和分等区的布局方式适合在Y轴方向上具有较多空间的场地。
[0008]所述上料托盘位和空托盘位沿Y轴排布，且所述空托盘位位于靠近所述下料托盘缓存区的一侧，所述托盘搬运机械手将所述空托盘位的空托盘搬运至所述下料托盘缓存区中的各个下料托盘位中。该技术方案的有益效果在于，通过托盘搬运机械手实现装置内的空托盘循环，减少人工搬运空托盘的步骤，降低人力成本；同时减少分等区中人工上料位的设置，缩小设备空间。
[0009]所述托盘搬运机械手为六轴机械手。此时设置一个机械手即可实现将上料托盘位中的空托盘搬运至空托盘位上，以及将空托盘位上的空托盘搬运至下料托盘位上；但例如也可以设置两个四轴的托盘搬运机械手，一个托盘搬运机械手位于上料托盘位和空托盘位的外部，用于将上料托盘位中的空托盘搬运至空托盘位上，另一个托盘搬运机械手位于下料托盘缓存区的外部，在需要时，将空托盘位上的空托盘叠放在下料托盘位上。
[0010]所述上下料机械手为四轴机械手，所述四轴机械手包括吸附组件，所述吸附组件包括至少两个独立工作的吸盘。该技术方案的有益效果在于，上下料机械手能够将检测单元中完成检测的Micro LED吸出后，直接将吸取的待检测Micro LED放入检测单元，减少上下料机械手来回移动的次数。
[0011]所述检测单元包括点屏治具，以及测距检测模组、Gamma检测模组、API检测模组和Demura检测模组中的至少两种。该技术方案的有益效果在于，多个检测模组的集成利于可缩小检测设备占用空间，提高检测效率。
[0012]所述检测单元包括检测台，所述检测台上设有Y轴导轨，所述点屏治具设置于所述Y轴导轨上并沿Y轴导轨移动；所述至少两种检测模组沿所述Y轴导轨设置于所述检测台上，所述点屏治具沿所述Y轴导轨移动以将待测Micro LED依次运送至所述检测模组检测。该技术方案的有益效果在于，点屏治具沿Y轴导轨移动以使Micro LED依次位移到相应检测模组中进行检测，中间不需要再经过人工搬运或机械手搬运步骤，提高检测效率。
[0013]所述Y轴导轨上设置有Xθ调节组件，所述Xθ调节组件包括滑动安装在所述Y轴导轨上的X轴导轨，以及滑动安装在所述X轴导轨上的旋转台，所述点屏治具安装在所述旋转台上。该技术方案的有益效果在于，Xθ调节组件用于对待测Micro LED的具体位置和放置角度进行调整，消除检测台上各检测模组的安装精度的影响。
[0014]所述检测台上设置有CCD对位机构，所述上下料机械手经所述CCD对位机构对位后将Micro LED放入所述点屏治具。该技术方案的有益效果在于，上下料机械手只需经一次CCD对位机构对位，即可使Micro LED完成多种检测，减少了对位机构的数量，缩小设备的占用空间。
[0015]与现有技术相比，本专利技术至少具有以下有益效果：（1）本专利技术提供的Micro LED检测及分等装置集成自动上料、自动检测和自动分等，自动化程度高；（2）本专利技术提供两种检测区和分等区的布局结构，可根据场地条件灵活选择；（3）通过托盘搬运机械手实现装置内空托盘的循环本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种Micro LED检测及分等装置，其特征在于，包括机架（1），在所述机架（1）上设置有缓存区、检测区和分等区，所述缓存区与所述检测区沿Y向依次设置，所述分等区沿所述缓存区或所述检测区的X向设置；所述缓存区设置有上料托盘位（2）、空托盘位（3）和托盘搬运机械手（4），所述上料托盘位（2）用于缓存载有待检测Micro LED的托盘组，所述空托盘位（3）用于缓存空托盘，所述托盘搬运机械手（4）用于将所述上料托盘位（2）上的空托盘搬运至所述空托盘位（3）；所述检测区包括多个沿X向排布的检测单元（6），每个所述检测单元（6）包括若干不同的沿Y向排布的检测模组，用于对Micro LED进行检测；所述缓存区与所述检测区之间设置有上下料机械手（5），用于将所述上料托盘位（2）中的Micro LED上料至所述检测单元（6）中检测，并待检测完成后下料至所述分等区；所述分等区包括中转台（7）、分等机械手（8）和下料托盘缓存区（9），所述中转台（7）用于接收所述上下料机械手（5）下料的完成检测的Micro LED，所述下料托盘缓存区（9）设有用于放置对应不同等级Micro LED的托盘组，所述分等机械手（8）用于将所述中转台（7）上的Micro LED搬运至所述下料托盘缓存区（9）中对应等级的托盘组中缓存。2.根据权利要求1所述的Micro LED检测及分等装置，其特征在于，所述分等区沿所述检测区的X向设置，所述分等机械手（8）位于所述检测区和下料托盘缓存区（9）之间，所述下料托盘缓存区（9）设有多个沿Y向排布的下料托盘位，所述分等机械手（8）将所述中转台（7）上的Micro LED搬运至对应等级下料托盘位的托盘组中。3.根据权利要求1所述的Micro LED检测及分等装置，其特征在于，所述分等区沿所述检测区的Y向、所述缓存区的X向设置，所述中转台（7）、分等机械手（8）和下料托盘缓存区（9）沿Y轴且远离所述检测区的方向依次排布，所述下料托盘缓存区（9）设有多个沿X轴排布的下料托盘位，所述分等机械手（8）沿X向将所述中转台（7）上的Micro LED搬运至对应等级下料托盘位的托盘组中。4...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱涛，肖治祥，叶坤，商秋峰，
申请(专利权)人：武汉精测电子集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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