运动机构及运动系统技术方案

本发明专利技术提供一种运动机构及运动系统，涉及精密运动领域。所述运动机构包括第一支撑组件、第二支撑组件和柔性组件，所述第一支撑组件能够相对所述第二支撑组件旋转，所述柔性组件的一端固定于所述第一支撑组件，所述柔性组件的另一端与所述第二支撑组件转动连接，在所述旋转的过程中，所述柔性组件被设置为能够发生弹性形变。该运动机构及运动系统，通过设置柔性组件，在第一支撑组件相对第二支撑组件旋转的过程中，柔性组件发生弹性形变，为第一支撑组件提供低刚度高阻尼的同时能够保证第一支撑组件能够相对第二支撑组件的装配机械零位，并且柔性组件能够相对第二支撑构件旋转，能够避免柔性组件出现损伤，保证了人员和设备的安全。的安全。的安全。

【技术实现步骤摘要】
运动机构及运动系统


[0001]本申请涉及精密运动领域，尤其是涉及一种运动机构及运动系统。

技术介绍

[0002]在高精度高速度高实时多自由度运动台中，往往需要有X、Y和Rz三自由度运动需求，针对高实时性要求运动机构要求在Rz方向上需要低刚度高阻尼，目前，在现有的运动机构中一般设置钢制柔性件，通过钢制柔性件的形变来实现低刚度和高阻尼，然而，受钢制柔性件自身疲劳的影响，钢制柔性件存在断裂的风险，进而人员和设备造成损伤。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本申请提供一种运动机构及运动系统，通过设置柔性组件，在第一支撑组件相对第二支撑组件旋转的过程中，柔性组件发生弹性形变，为第一支撑组件提供低刚度高阻尼的同时能够保证第一支撑组件能够相对第二支撑组件的装配机械零位，并且柔性组件能够相对第二支撑构件旋转，能够避免柔性组件出现损伤，保证了人员和设备的安全。
[0004]根据本申请的一方面提供一种运动机构，所述运动机构包括第一支撑组件、第二支撑组件和柔性组件，所述第一支撑组件能够相对所述第二支撑组件旋转，所述柔性组件的一端固定于所述第一支撑组件，所述柔性组件的另一端与所述第二支撑组件转动连接，在所述旋转的过程中，所述柔性组件被设置为能够发生弹性形变。
[0005]优选地，所述柔性组件包括第一固定部、第二固定部、销轴和柔性件，所述柔性件连接所述第一固定部和所述第二固定部两者，所述第一固定部与所述第一支撑组件固定连接，所述第二固定部通过所述销轴与所述第二支撑组件连接。
[0006]优选地，所述第二固定部包括第一固定件、第二固定件和衔接件，所述第一固定件和所述第二固定件两者间隔设置，所述衔接件连接所述第一固定件和所述第二固定件两者，所述柔性件与所述衔接件连接，所述销轴贯穿所述第一固定件和所述第二固定件两者，所述销轴上套设有滚动轴承。
[0007]优选地，所述第一支撑组件包括第一固定块和旋转轴，所述第一固定块与所述第一固定部连接，所述旋转轴穿设于所述第一固定块，所述旋转轴能够旋转，以带动所述第一固定块旋转。
[0008]优选地，所述第二支撑组件包括第二固定块，所述第一固定块包括凹向所述第一固定块内部的凹陷部分，所述凹陷部分围设出凹陷空间，所述第二固定块包括凸出部分，所述凸出部分设置于所述凹陷空间内，所述旋转轴贯穿所述凹陷部分和所述凸出部分两者。
[0009]优选地，所述第二支撑组件还包括交叉滚子轴承，所述交叉滚子轴承套设于所述旋转轴，所述交叉滚子轴承的侧部与所述凸出部分连接。
[0010]优选地，所述第一支撑组件包括第一气浮机构和气浮解耦部，所述气浮解耦部包括在第一方向上相对的第一端和第二端，所述第一端与所述第一气浮机构连接，所述第二端与所述气浮解耦部连接，所述第一气浮机构能够形成气膜，以支撑所述气浮解耦部和所
述第一固定块。
[0011]优选地，所述气浮解耦部包括第一板件、第二板件和连接件，所述连接件连接所述第一板件和所述第二板件两者，所述第一板件与所述第一气浮机构连接，所述第二板件与所述第一固定块连接，所述连接件能够进行弹性形变。
[0012]优选地，所述第二支撑组件还包括第二气浮机构，所述第二固定块还包括主体部分，所述主体部分包括在第二方向上相对的第一侧部和第二侧部，所述第一侧部与所述凸出部分连接，所述第二侧部与所述第二气浮机构连接，所述第一方向与所述第二方向垂直，所述第二气浮机构能够形成气膜，以支撑所述第二固定块。
[0013]优选地，所述第二支撑组件还包括预载磁铁，所述预载磁铁与所述第二侧部连接，所述第二气浮机构的数量为两个，两个所述第二气浮机构分别设置在所述预载磁铁在所述第一方向上的两侧。
[0014]根据本申请的另一方面提供一种运动系统，所述运动系统包括驱动机构和上述的运动机构，所述驱动机构与所述第一支撑组件连接，以驱动所述运动机构移动。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0016]图1示出根据本专利技术的实施例的运动机构的一视角的立体结构示意图；
[0017]图2示出根据本专利技术的实施例的运动机构的另一视角的立体结构示意图；
[0018]图3示出根据本专利技术的实施例的运动机构的一视角的平面结构示意图；
[0019]图4示出根据本专利技术的实施例的运动机构的另一视角的平面结构示意图；
[0020]图5示出图4的运动机构沿A
‑
A
’
的剖面结构示意图；
[0021]图6示出根据本专利技术的实施例的气浮解耦部的一视角的结构示意图；
[0022]图7示出根据本专利技术的实施例的气浮解耦部的另一视角的结构示意图；
[0023]图8示出根据本专利技术的实施例的柔性组件的结构示意图。
[0024]图标：100
‑
第一支撑组件；110
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第一固定块；111
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凹陷部分；120
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旋转轴；130
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第一气浮机构；140
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气浮解耦部；141
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第一板件；142
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第二板件；143
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连接件；200
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第二支撑组件；210
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第二固定块；211
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凸出部分；212
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主体部分；220
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交叉滚子轴承；230
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交叉滚子轴承锁母；240
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转轴固定件；250
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第二气浮机构；260
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预载磁铁；300
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柔性组件；310
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第一固定部；320
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第二固定部；321
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第一固定件；322
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第二固定件；323
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衔接件；324
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滚动轴承；325
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销轴；330
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柔性件；400
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支撑座；410
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第一板部；420
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第二板部。
具体实施方式
[0025]提供以下具体实施方式以帮助读者获得对这里所描述的方法、设备和/或系统的全面理解。然而，在理解本申请的公开内容之后，这里所描述的方法、设备和/或系统的各种改变、修改及等同物将是显而易见的。例如，这里所描述的操作的顺序仅仅是示例，其并不限于这里所阐述的顺序，而是除了必须以特定顺序发生的操作之外，可做出在理解本申请
的公开内容之后将是显而易见的改变。此外，为了提高清楚性和简洁性，可省略本领域中已知的特征的描述。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种运动机构，其特征在于，所述运动机构包括第一支撑组件、第二支撑组件和柔性组件，所述第一支撑组件能够相对所述第二支撑组件旋转，所述柔性组件的一端固定于所述第一支撑组件，所述柔性组件的另一端与所述第二支撑组件转动连接，在所述旋转的过程中，所述柔性组件被设置为能够发生弹性形变。2.根据权利要求1所述的运动机构，其特征在于，所述柔性组件包括第一固定部、第二固定部、销轴和柔性件，所述柔性件连接所述第一固定部和所述第二固定部两者，所述第一固定部与所述第一支撑组件固定连接，所述第二固定部通过所述销轴与所述第二支撑组件连接。3.根据权利要求2所述的运动机构，其特征在于，所述第二固定部包括第一固定件、第二固定件和衔接件，所述第一固定件和所述第二固定件两者间隔设置，所述衔接件连接所述第一固定件和所述第二固定件两者，所述柔性件与所述衔接件连接，所述销轴贯穿所述第一固定件和所述第二固定件两者，所述销轴上套设有滚动轴承。4.根据权利要求2所述的运动机构，其特征在于，所述第一支撑组件包括第一固定块和旋转轴，所述第一固定块与所述第一固定部连接，所述旋转轴穿设于所述第一固定块，所述旋转轴能够旋转，以带动所述第一固定块旋转。5.根据权利要求4所述的运动机构，其特征在于，所述第二支撑组件包括第二固定块，所述第一固定块包括凹向所述第一固定块内部的凹陷部分，所述凹陷部分围设出凹陷空间，所述第二固定块包括凸出部分，所述凸出部分设置于所述凹陷空间内，所述旋转轴贯穿所述凹陷部分和所述凸出部分两者。6.根据权利要求5所述的运动机构，其特征在于，所述第二支撑组件还包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：田世伟，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：