一种洗手液及其应用以及一种无粉乳胶手套的清洗方法技术

本发明专利技术涉及乳胶手套预处理技术领域，本发明专利技术提供了一种洗手液及其应用以及一种无粉乳胶手套的清洗方法。本发明专利技术提供的洗手液，由包含下列体积份数的组分制备得到：SS

【技术实现步骤摘要】
一种洗手液及其应用以及一种无粉乳胶手套的清洗方法


[0001]本专利技术涉及乳胶手套预处理
，尤其涉及一种洗手液及其应用以及一种无粉乳胶手套的清洗方法。

技术介绍

[0002]晶圆抛光车间一般使用无粉乳胶手套来保证手套的洁净度，所以不要求对手套进行预处理。但无粉乳胶手套在生产、拆包存放或使用的过程中，都会有概率受到粉尘、油污或其他物质污染，这些污染物大都不溶于水。戴有被污染的手套操作抛光晶圆的过程中，去离子水可能接触手套后再沾染到晶圆上，不融于水的污染物就会附着在晶圆表面，降低晶圆表面的浸润性，导致抛光后的晶圆不能被水完全浸润，从而产生水印、脏点等表面缺陷，影响晶圆的表面质量，降低抛光成品率。
[0003]在现有技术中，通过两点对无粉乳胶手套进行污染防控，一是依赖于手套生产厂商的自身品质管控，但可控性很差；二是将抛光车间打造为洁净车间，通过对车间整体的环境管控来进行污染防控，但车间内的局部污染可能无法被快速辨别，依然存在污染风险。因此提供一种高效预处理无粉乳胶手套的方法成为目前亟待解决的问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于克服现有技术中存在的问题，提供一种洗手液及其应用以及一种无粉乳胶手套的清洗方法。
[0005]为了实现上述专利技术目的，本专利技术提供以下技术方案：
[0006]本专利技术提供了一种洗手液，由包含下列体积份数的组分制备得到：
[0007]SS
‑
C22NS原液1～3份、硫代硫酸钠溶液0.5～1.5份、水6～8份。
[0008]作为优选，洗手液由包含下列体积份数的组分制备得到：
[0009]SS
‑
C22NS原液1.2～2.8份、硫代硫酸钠溶液0.6～1.4份、水6.2～7.8份。
[0010]作为优选，洗手液由包含下列体积份数的组分制备得到：
[0011]SS
‑
C22NS原液1.5～2.5份、硫代硫酸钠溶液0.8～1.2份、水6.5～7.5份。
[0012]作为优选，所述硫代硫酸钠溶液的质量分数为8～12％。
[0013]本专利技术还提供了一种洗手液在清洗晶圆抛光车间所用乳胶手套中的应用。
[0014]本专利技术还提供了一种无粉乳胶手套的清洗方法，包含下列步骤：
[0015]使用所述洗手液清洗无粉乳胶手套，干燥后完成处理。
[0016]作为优选，所述洗手液的用量为4～6mL/副。
[0017]作为优选，所述干燥的温度为50～60℃。
[0018]作为优选，所述干燥的时间为18～22s。
[0019]作为优选，所述干燥的气流速度为95～115m/s。
[0020]本专利技术的有益效果是：
[0021](1)本专利技术提供了一种洗手液，由包含下列体积份数的组分制备得到：SS
‑
C22NS原
液1～3份、硫代硫酸钠溶液0.5～1.5份、水6～8份；洗手液使用的原料均为晶圆抛光过程会使用的原料，不会为抛光过程引入其它污染；组分配制比例合理，能够充分有效地对手套进行清洁；经过本专利技术洗手液清洗后，在后续使用过程中乳胶手套缺陷率仅为1.18％，明显低于不清洗或者仅使用清水清洗的缺陷率。
[0022](2)本专利技术设置干燥的温度为50～60℃，干燥的时间为18～22s。在此温度下，手套不会因温度太高而产生乳化分解等副反应，也不会因温度过低导致手套上的水吹不干；特定干燥时间的设置也保证了手套上的水能够充分吹干。
[0023](3)本专利技术提供的无粉乳胶手套的清洗方法，保证了手套使用前的洁净度，能够有效改变污染物的表面特性，使其容易被流动水带走，即使沾染到晶片上也不影响晶圆表面的浸润性，改善了晶圆的表面质量与抛光成品率；避免了手套因生产过程中品质的不稳定性带来的可能污染，也避免了手套使用前因暴露在车间内而造成的污染。
具体实施方式
[0024]本专利技术提供了一种洗手液，由包含下列体积份数的组分制备得到：
[0025]SS
‑
C22NS原液1～3份、硫代硫酸钠溶液0.5～1.5份、水6～8份。
[0026]在本专利技术中，洗手液由包含下列体积份数的组分制备得到：
[0027]SS
‑
C22NS原液1.2～2.8份、硫代硫酸钠溶液0.6～1.4份、水6.2～7.8份。
[0028]在本专利技术中，洗手液由包含下列体积份数的组分制备得到：
[0029]SS
‑
C22NS原液1.5～2.5份、硫代硫酸钠溶液0.8～1.2份、水6.5～7.5份。
[0030]在本专利技术中，所述SS
‑
C22NS原液的质量份数优选为1.5～2.5份，进一步优选为1.6～2.4份，更优选为1.8～2.2份。
[0031]在本专利技术中，所述硫代硫酸钠溶液的质量份数优选为0.8～1.2份，进一步优选为0.9～1.1份，更优选为0.95～1.05份。
[0032]在本专利技术中，所述水的质量份数优选为6.5～7.5份，进一步优选为6.6～7.4份，更优选为6.8～7.2份。
[0033]在本专利技术中，所述硫代硫酸钠溶液的质量分数优选为8～12％，进一步优选为9～11％，更优选为9.5～10.5％。
[0034]在本专利技术中，所述SS
‑
C22NS原液为美国进口药液，通过购买获得，所述SS
‑
C22NS原液的购买厂家为制造商Applied Chemistry Co.(应用化学有限公司)，地址位于Honolulu，HI 96822，USA。
[0035]本专利技术还提供了一种洗手液在清洗晶圆抛光车间所用乳胶手套中的应用。
[0036]本专利技术还提供了一种无粉乳胶手套的清洗方法，包含下列步骤：
[0037]使用所述洗手液清洗无粉乳胶手套，干燥后完成处理。
[0038]在本专利技术中，在抛光车间佩戴上新的无粉乳胶手套后，先使用清水冲洗手套，将手套充分润湿，然后挤上配制好的洗手液，掌芯相对，双手交叉沿指缝相互揉搓直至手套各处沾满均匀的泡沫，此时使用清水冲洗掉手套上的泡沫，再进行干燥，完成处理。
[0039]在本专利技术中，所述洗手液的用量优选为4～6mL/副，进一步优选为4.5～5.5mL/副，更优选为4.7～5.3mL/副。
[0040]在本专利技术中所述干燥优选使用喷气式烘手机进行。
[0041]在本专利技术中，所述干燥的气流速度优选为95～115m/s，进一步优选为98～112m/s，更优选为100～110m/s。
[0042]在本专利技术中，所述干燥的温度优选为50～60℃，进一步优选为52～58℃，更优选为54～56℃。
[0043]在本专利技术中，所述干燥的时间优选为18～22s，进一步优选为19～21s，更优选为20s。
[0044]下面结合实施例对本专利技术提供的技术方案进行详细的说明，但是不能把它们理解为对本专利技术保护本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种洗手液，其特征在于，由包含下列体积份数的组分制备得到：SS
‑
C22NS原液1～3份、硫代硫酸钠溶液0.5～1.5份、水6～8份。2.如权利要求1所述的洗手液，其特征在于，由包含下列体积份数的组分制备得到：SS
‑
C22NS原液1.2～2.8份、硫代硫酸钠溶液0.6～1.4份、水6.2～7.8份。3.如权利要求2所述的洗手液，其特征在于，由包含下列体积份数的组分制备得到：SS
‑
C22NS原液1.5～2.5份、硫代硫酸钠溶液0.8～1.2份、水6.5～7.5份。4.如权利要求1～3任意一项所述的洗...

【专利技术属性】
技术研发人员：古新远，刘晓亮，房强，李民，周涛，焦恩见，张海涛，赵波，高伟，
申请(专利权)人：保定通美晶体制造有限责任公司，
类型：发明
国别省市：