低温泵制造技术

本申请提供一种低温泵，包括第一低温吸附组件、驱动模组、第二低温吸附组件。第一低温吸附组件包括多个第一吸附孔以用于吸附气体。第二低温吸附组件包括多个第二吸附孔以用于吸附所述气体，多个第二吸附孔和多个第一吸附孔构成气体的吸附路径，第二低温吸附组件受驱动模组驱动而相对于第一低温吸附组件移动。其中当第一低温吸附组件和第二低温吸附组件开始吸附气体时，第二低温吸附组件受驱动模组驱动而远离第一低温吸附组件，第一低温吸附组件和第二低温吸附组件处于分离状态。第二低温吸附组件处于分离状态。第二低温吸附组件处于分离状态。

【技术实现步骤摘要】
低温泵


[0001]本申请关于真空
，特别是一种低温泵。

技术介绍

[0002]低温泵(cryo
‑
pump)，主要用于实现高真空(10E
‑
5Torr以下)，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及应用于分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。
[0003]低温泵在超低温时利用活性炭吸附表面吸附气体来减少分子热运动，进而减少气体分子压强，以实现高真空；因此，活性炭吸附表面在低温泵中扮演重要角色。为了增加吸附气体量，活性炭吸附表面通常为多孔结构，但此种多孔结构增加气体的运动路径，而由于运动路径的增加，吸附时间增加，进而阻碍抽真空的进行，使抽气速率下降而严重影响。另外，在低温泵再生时，由于气体的运动路径长，导致再生时间漫长而且排气不彻底，减少低温泵的使用寿命。

技术实现思路

[0004]根据前述，本申请提供一种低温泵，可以改善低温吸附表面的吸附时间，从而解决低温泵的吸附表面路径长的问题。
[0005]基于上述目的，本申请提供一种低温泵，包括第一低温吸附组件、驱动模组、第二低温吸附组件。第一低温吸附组件包括多个第一吸附孔以用于吸附气体。第二低温吸附组件包括多个第二吸附孔以用于吸附所述气体，多个第二吸附孔和多个第一吸附孔构成气体的吸附路径，第二低温吸附组件受驱动模组驱动而相对于第一低温吸附组件移动。其中当第一低温吸附组件和第二低温吸附组件开始吸附气体时，第二低温吸附组件受驱动模组驱动而远离第一低温吸附组件，第一低温吸附组件和第二低温吸附组件处于分离状态。
[0006]在本申请的实施例中，当第一低温吸附组件和第二低温吸附组件为分离状态时，多个第一吸附孔和多个第二吸附孔彼此错位。
[0007]在本申请的实施例中，当第一低温吸附组件和第二低温吸附组件从开始吸附气体转换成深度吸附气体时，第二低温吸附组件受驱动模组驱动而靠近第一低温吸附组件，第一低温吸附组件和第二低温吸附组件从分离状态转为重叠状态。
[0008]在本申请的实施例中，当第一低温吸附组件和第二低温吸附组件为重叠状态时，多个第一吸附孔和多个第二吸附孔彼此连通。
[0009]在本申请的实施例中，其中当清理第一低温吸附组件和第二低温吸附组件时，第二低温吸附组件受驱动模组驱动而远离第一低温吸附组件，第一低温吸附组件和第二低温吸附组件处于分离状态。
[0010]在本申请的实施例中，驱动模组包括电机、转动组以及移动平台，电机设置于转动组的一侧，移动平台设置于转动组的另一侧并承载第二低温吸附组件，电机驱动转动组来移动移动平台。
[0011]在本申请的实施例中，驱动模组包括气缸、连杆组以及移动平台，气缸设置于连杆组的一侧，移动平台设置于连杆组的另一侧并承载第二低温吸附组件，气缸带动连杆组以移动移动平台。
[0012]在本申请的实施例中，本申请的低温泵更包括滑轨，第一低温吸附组件和第二低温吸附组件设置于滑轨，驱动模组设置于滑轨，第二低温吸附组件受驱动模组驱动而在滑轨上移动。
[0013]在本申请的实施例中，本申请的低温泵更包括压缩机，压缩机用于冷凝气体，第一低温吸附组件的数目及第二低温吸附组件的数目为多个，多个第一低温吸附组件和多个第二低温吸附组件设置压缩机的相对两侧，驱动模组邻近设置于压缩机。
[0014]在本申请的实施例中，本申请的低温泵更包括压缩机，压缩机用于冷凝所述气体并具有多个槽部，第一低温吸附组件的数目、第二低温吸附组件的数目以及驱动模组的数目为多个，多个槽部的每一个容置多个第一低温吸附组件中的一个、多个第二低温吸附组件中的一个以及多个驱动模组中的一个。
[0015]综上所述，本申请的低温泵，透过移动低温吸附组件，增加冷凝后气体的吸附路径，改善低温吸附组件的气体吸附效率及气体吸附时间，从而缩减低温泵的制程压力等待时间。
[0016]上述说明仅是本申请技术方案的概述，为了能够更清楚了解本申请的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本申请较佳的实施例并配合附图对本申请进行详细说明。
附图说明
[0017]图1为低温泵的整体示意图。
[0018]图2为根据本申请一实施例绘示低温吸附组件的配置图。
[0019]图3A和图3B为根据本申请一实施例绘示低温吸附组件的作动示意图。
[0020]图4为根据本申请另一实施例绘示驱动模组的配置图。
[0021]图5A和图5B根据本申请另一实施例绘示驱动模组的作动示意图。
[0022]图6为根据本申请又另一实施例绘示驱动模组的配置图。
[0023]图7A和图7B根据本申请又另一实施例绘示驱动模组的作动示意图。
[0024]附图标记说明：
[0025]1：低温泵
[0026]10：低温吸附模组
[0027]11：第一低温吸附组件
[0028]12：第二低温吸附组件
[0029]20：压缩机
[0030]21：冷媒入口
[0031]30、30A、30B：驱动模组
[0032]31A：电机
[0033]31B：气缸
[0034]32A：转动组
[0035]32B：连杆组
[0036]33A、33B：移动平台
[0037]111：第一吸附孔
[0038]121：第二吸附孔
[0039]IG1：气体
[0040]IL1：清洁气体入口
具体实施方式
[0041]以下由特定的具体实施例说明本申请的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所公开的内容轻易地了解本申请的其他优点及功效。
[0042]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以互相组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。为了使本
的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。
[0043]需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于包覆不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其他步骤或单元。
[0044]先介绍低温泵的整体配置如下。请参阅图1，其为低温泵的整体示意图。如图1所示，低温泵1包括多个低温吸附组件10和压缩机20。多个低温吸附组件10设置于腔室内且用于吸附气体IG1，而腔室具有清洁气体入口IL1，清洁气体入口IL1可导入氮气(N本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种低温泵(1)，其特征在于，包括：第一低温吸附组件(11)，包括多个第一吸附孔(111)以用于吸附气体；驱动模组(30、30A、30B)；以及第二低温吸附组件(12)，包括多个第二吸附孔(121)以用于吸附所述气体，所述多个第二吸附孔(121)和所述多个第一吸附孔(111)构成气体的吸附路径，所述第二低温吸附组件(12)受所述驱动模组(30)驱动而相对于所述第一低温吸附组件(11)移动；其中当所述第一低温吸附组件(11)和所述第二低温吸附组件(12)开始吸附气体时，所述第二低温吸附组件(12)受所述驱动模组(30)驱动而远离所述第一低温吸附组件(11)，所述第一低温吸附组件(11)和所述第二低温吸附组件(12)处于分离状态。2.如权利要求1所述的低温泵，其中当所述第一低温吸附组件(11)和所述第二低温吸附组件(12)为分离状态时，所述多个第一吸附孔(111)和所述多个第二吸附孔(121)彼此错位。3.如权利要求1所述的低温泵，其中当所述第一低温吸附组件(11)和所述第二低温吸附组件(12)从开始吸附气体转换成深度吸附气体时，所述第二低温吸附组件(12)受所述驱动模组(30)驱动而靠近所述第一低温吸附组件(11)，所述第一低温吸附组件(11)和所述第二低温吸附组件(12)从所述分离状态转为重叠状态。4.如权利要求3所述的低温泵，其中当所述第一低温吸附组件(11)和所述第二低温吸附组件(12)为所述重叠状态时，所述多个第一吸附孔(111)和所述多个第二吸附孔(121)彼此连通。5.如权利要求1所述的低温泵，其中当清理所述第一低温吸附组件(11)和所述第二低温吸附组件(12)时，所述第二低温吸附组件(12)受所述驱动模组(30)驱动而远离所述第一低温吸附组件(11)，所述第一低温吸附组件(11)和所述第二低温吸附组件(12)处于所述分离状态。6...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏文华，李振雨，马闯，
申请(专利权)人：杭州富芯半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：