一种直拉法生长硅单晶的热场装置制造方法及图纸

技术编号:36136282 阅读:13 留言:0更新日期:2022-12-28 14:54
本实用新型专利技术属于单晶硅生产设备技术领域,公开了一种直拉法生长硅单晶的热场装置,包括炉盖和炉体,所述炉盖的外端固定连接有支架,所述炉体的后部转动安装在支架的后部,所述炉体的前部固定连接有支撑轮,所述炉盖和炉体之间固定连接有锁扣,所述支架的下部固定连接有限位弹扣,所述限位弹扣与炉体活动扣接匹配,所述炉体包括炉壳和转套,所述转套与炉壳固定连接,所述炉体还包括把手,所述把手固定连接在炉壳的上部外端,所述炉体还包括支撑座,所述支撑座活动支撑在炉壳的下端。本实用新型专利技术将锁扣打开,再将炉体向侧部转开,使得炉盖离开炉体的上部,同理反向操作将炉体恢复,方便了打开炉体或闭合炉体的空间,从而方便了检修炉体。体。体。

【技术实现步骤摘要】
一种直拉法生长硅单晶的热场装置


[0001]本技术属于单晶硅生产设备
,尤其涉及一种直拉法生长硅单晶的热场装置。

技术介绍

[0002]直拉法生长硅单晶生产时,将原料放入到加热炉中,然后由炉盖中伸出长杆插入熔液中,再向上旋转拉出单晶硅柱。
[0003]由于常规的单晶硅加热炉的炉盖比较高,且比较笨重,打开时受到重力和高度影响,造成常规单晶硅加热炉的打开或闭合炉盖比较麻烦的问题。
[0004]为此,我们提出来一种直拉法生长硅单晶的热场装置解决上述问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是为了解决现有技术中,常规单晶硅加热炉的打开或闭合炉盖比较麻烦的问题,而提出的一种直拉法生长硅单晶的热场装置。
[0006]为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:一种直拉法生长硅单晶的热场装置,包括炉盖和炉体,所述炉盖的外端固定连接有支架,所述炉体的后部转动安装在支架的后部,所述炉体的前部固定连接有支撑轮,所述炉盖和炉体之间固定连接有锁扣。
[0007]将锁扣打开,再将炉体向侧部转开,使得炉盖离开炉体的上部,同理反向操作将炉体恢复,方便了打开炉体或闭合炉体的空间,从而方便了检修炉体。
[0008]优选的,所述支架的下部固定连接有限位弹扣,所述限位弹扣与炉体活动扣接匹配。
[0009]通过炉体带动支撑轮移动,直到支撑轮与限位弹扣扣合,利用扣合定位炉体,方便了炉体与炉盖对齐。
[0010]优选的,所述炉体包括炉壳和转套,所述转套与炉壳固定连接。
[0011]通过转套方便了炉壳与支架转动连接。
[0012]优选的,所述炉体还包括把手,所述把手固定连接在炉壳的上部外端。
[0013]通过把手方便了手动操作炉壳移动。
[0014]优选的,所述炉体还包括支撑座,所述支撑座活动支撑在炉壳的下端。
[0015]通过支撑座稳定闭合状态下的炉壳高度。
[0016]优选的,所述支撑轮包括六棱滑柱、第一导套、第一弹簧、滚轮和轴承座,所述六棱滑柱滑动贯穿第一导套固定连接在轴承座的上端,所述第一弹簧活动套在六棱滑柱的外侧,所述第一弹簧的上端固定连接在第一导套的下端,所述第一弹簧的下端固定连接在轴承座的上端,所述滚轮转动连接在轴承座的前端。
[0017]通过滚轮支撑在地面,通过第一弹簧的弹力作用于第一导套,使得第一导套作用于炉壳,降低炉壳前部应力,通过第一弹簧弥补地面距离变化,提高了炉壳前部被支撑的稳定性。
[0018]优选的,所述限位弹扣包括第二导套、第二弹簧、滑块和滚球,所述第二弹簧活动套在滑块的外侧,所述第二弹簧的一端与滑块固定连接,所述滑块的另一端与第二导套固定连接,所述滑块滑动贯穿第二导套,所述滚球活动嵌在滑块的外端。
[0019]通过滚轮与滚球对接后,使得滚球克服第二弹簧的弹力推动滑块,直到滚球卡入到滚轮前端的槽口内,方便了滚轮与限位弹扣扣合定位。
[0020]综上所述,本技术的技术效果和优点:1、将锁扣打开,再将炉体向侧部转开,使得炉盖离开炉体的上部,同理反向操作将炉体恢复,方便了打开炉体或闭合炉体的空间,从而方便了检修炉体。
[0021]2、通过滚轮支撑在地面,通过第一弹簧的弹力作用于第一导套,使得第一导套作用于炉壳,降低炉壳前部应力,通过第一弹簧弥补地面距离变化,提高了炉壳前部被支撑的稳定性。
[0022]3、通过滚轮与滚球对接后,使得滚球克服第二弹簧的弹力推动滑块,直到滚球卡入到滚轮前端的槽口内,方便了滚轮与限位弹扣扣合定位。
附图说明
[0023]图1为本技术的整体结构示意图;
[0024]图2为本技术的炉体结构示意图;
[0025]图3为本技术的支撑轮结构示意图;
[0026]图4为本技术的限位弹扣结构示意图。
[0027]图中:1、炉盖;2、炉体;3、支撑轮;4、限位弹扣;5、支架;21、炉壳;22、把手;23、支撑座;24、转套;31、六棱滑柱;32、第一导套;33、第一弹簧;34、滚轮;35、轴承座;41、第二导套;42、第二弹簧;43、滑块;44、滚球。
具体实施方式
[0028]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。
[0029]请参阅图1,一种直拉法生长硅单晶的热场装置,包括炉盖1和炉体2,炉盖1的外端固定连接有支架5,炉体2的后部转动安装在支架5的后部,炉体2的前部固定连接有支撑轮3,炉盖1和炉体2之间固定连接有锁扣。需要打开炉体2的上部空间时,先打开锁扣,然后再将炉体2向侧部转开,使得炉盖1离开炉体2的上部,同理反向操作将炉体2恢复。
[0030]请参阅图1,支架5的下部固定连接有限位弹扣4,限位弹扣4与炉体2活动扣接匹配。将炉体2闭合时,利用炉体2带动支撑轮3移动,直到支撑轮3与限位弹扣4扣合,利用扣合定位炉体2,使炉体2与炉盖1对齐。
[0031]请参阅图1和2,炉体2包括炉壳21和转套24,转套24转动套在支架5的后部,转套24与炉壳21固定连接。炉壳21通过转套24与支架5转动连接。
[0032]请参阅图2,炉体2还包括把手22,把手22固定连接在炉壳21的上部外端。把手22用于手动操作炉壳21移动。
[0033]请参阅图1和2,炉体2还包括支撑座23,支撑座23活动支撑在炉壳21的下端。支撑
座23固定连接在支架5的后部下端。
[0034]请参阅图2和3,支撑轮3包括六棱滑柱31、第一导套32、第一弹簧33、滚轮34和轴承座35,第一导套32的外端固定连接在炉壳21的前部外壁,六棱滑柱31滑动贯穿第一导套32固定连接在轴承座35的上端,第一弹簧33活动套在六棱滑柱31的外侧,第一弹簧33的上端固定连接在第一导套32的下端,第一弹簧33的下端固定连接在轴承座35的上端,滚轮34转动连接在轴承座35的前端。利用滚轮34支撑在地面,通过第一弹簧33的弹力作用于第一导套32,使得第一导套32作用于炉壳21。
[0035]请参阅图1、3和4,限位弹扣4包括第二导套41、第二弹簧42、滑块43和滚球44,第二导套41固定连接在支架5的前部,滚球44滚动嵌在滚轮34的前端,第二弹簧42活动套在滑块43的外侧,第二弹簧42的一端与滑块43固定连接,滑块43的另一端与第二导套41固定连接,滑块43滑动贯穿第二导套41,滚球44活动嵌在滑块43的外端。当滚轮34与滚球44对接后,使得滚球44克服第二弹簧42的弹力推动滑块43,直到滚球44卡入到滚轮34前端的槽口内。
[0036]工作原理:需要打开炉体2内部空间时,先将炉盖1和炉体2之间的锁扣打开,然后手握把手22带动炉壳21围绕支架5后部转动,直到炉壳21离开炉盖1,再歇闭合时,同理反向操作,过程中,利用滚轮34与滚球44扣合的方式,定位炉壳21,使得本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种直拉法生长硅单晶的热场装置,包括炉盖(1)和炉体(2),其特征在于:所述炉盖(1)的外端固定连接有支架(5),所述炉体(2)的后部转动安装在支架(5)的后部,所述炉体(2)的前部固定连接有支撑轮(3),所述炉盖(1)和炉体(2)之间固定连接有锁扣。2.根据权利要求1所述的一种直拉法生长硅单晶的热场装置,其特征在于:所述支架(5)的下部固定连接有限位弹扣(4),所述限位弹扣(4)与炉体(2)活动扣接匹配。3.根据权利要求1所述的一种直拉法生长硅单晶的热场装置,其特征在于:所述炉体(2)包括炉壳(21)和转套(24),所述转套(24)与炉壳(21)固定连接。4.根据权利要求3所述的一种直拉法生长硅单晶的热场装置,其特征在于:所述炉体(2)还包括把手(22),所述把手(22)固定连接在炉壳(21)的上部外端。5.根据权利要求3所述的一种直拉法生长硅单晶的热场装置,其特征在于:所述炉体(2)还包括支撑座(23),所述支撑座(23)活动支撑在炉壳(21)的下端...

【专利技术属性】
技术研发人员:王琳郝小平叶慧慧樊世飞
申请(专利权)人:新疆贤安新材料有限公司
类型:新型
国别省市:

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