一种单晶炉副室高效清理装置制造方法及图纸

技术编号:35324367 阅读:18 留言:0更新日期:2022-10-22 13:26
本实用新型专利技术公开了一种单晶炉副室高效清理装置,属于清理装置技术领域,包括运载车,所述运载车上表面中部固定连接有液压杆,所述液压杆的顶部固定连接有电机,所述电机的顶部固定连接有水箱,所述电机的输出轴贯穿水箱延伸至水箱的上方,所述电机输出轴的顶端固定连接有滑板,所述滑板一侧顶部固定连接有调整件,所述调整件远离滑板的一端转动连接有清洁刷,所述清洁刷靠近滑板的一侧底部与滑板之间铰接有连接杆。该单晶炉副室高效清理装置,通过设置调整件和清洁刷,使用者可以通过调整件调整清洁刷到滑板的距离,以此使得清洁刷紧贴在单晶炉副室的内壁,同时设置喷水筒对单晶炉副室内壁进行喷水,以此有效增加清洁刷的清洁效率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉副室高效清理装置


[0001]本技术属于清理装置
,尤其涉及一种单晶炉副室高效清理装置。

技术介绍

[0002]单晶硅生长炉是通过直拉法生产单晶硅的制造设备。主要由主机、加热电源和计算机控制系统三大部分组成。在单晶硅生长过程中,单晶硅晶体会在单晶炉的副室内上移伸长,因此单晶炉副室内部环境对单晶硅晶体成型十分重要,因此需要频繁的对单晶硅副室进行清洁。
[0003]但是传统的单晶炉副室清洁方式无法充分的清洁单晶炉副室,往往会在单晶炉副室内壁残留一些杂质,这些杂质会对成型中的单晶硅造成极大影响。
[0004]为此,我们提出来一种单晶炉副室高效清理装置解决上述问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是为了解决现有技术中,现有单晶炉清洁装置清理效率不高的问题,而提出的一种单晶炉副室高效清理装置。
[0006]为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:
[0007]一种单晶炉副室高效清理装置,包括运载车,所述运载车上表面中部固定连接有液压杆,所述液压杆的顶部固定连接有电机,所述电机的顶部固定连接有水箱,所述电机的输出轴贯穿水箱延伸至水箱的上方,所述电机输出轴的顶端固定连接有滑板,所述滑板一侧顶部固定连接有调整件,所述调整件远离滑板的一端转动连接有清洁刷,所述清洁刷靠近滑板的一侧底部与滑板之间铰接有连接杆,所述电机的输出轴侧面固定连接有安装杆,所述安装杆的端部固定连接有喷水筒。
[0008]通过设置调整件和清洁刷,使用者可以通过调整件调整清洁刷到滑板的距离,以此使得清洁刷紧贴在单晶炉副室的内壁,使得电机能够带动清洁刷对单晶炉副室进行充分的清洁,同时设置喷水筒对单晶炉副室内壁进行喷水,以此有效增加清洁刷的清洁效率,便于对单晶炉内壁进行高效清洁。
[0009]优选的,所述滑板的侧面开设有多个与调整件配合的卡孔。
[0010]通过设置多个卡孔,便于使用者将调整件安装在滑板上不同的位置。
[0011]优选的,所述调整件包括通过螺栓与滑板固定连接的滑筒、固定安装在滑筒远离滑板一端的螺杆和螺纹套设在螺杆上的螺纹筒。
[0012]通过设置螺杆和螺纹筒,使用者可以转动螺纹筒使得螺纹筒在螺杆上滑动,便于螺杆带动清洁刷移动。
[0013]优选的,所述清洁刷靠近滑板的一侧固定连接有短杆,所述短杆与螺纹筒转动连接。
[0014]通过在清洁刷的侧面设置短杆,轴向移动的螺纹筒能够带动清洁刷移动,便于清洁刷紧贴在单晶炉副室内壁。
[0015]优选的,所述喷水筒呈锥形设置,且喷水筒与水平面呈倾斜设置。
[0016]通过将喷水筒呈锥形设置,转动的喷水筒能够增加从喷水筒大端进行的水流压力,并将高压水流从喷水筒小端喷出,以此对单晶炉内壁进行冲洗清洁。
[0017]优选的,所述喷水筒的下表面与喷水筒的转筒方向相切设置。
[0018]通过将喷水筒的底部设置为与喷水筒的转动方向相切,便于水流冲入转动的喷水筒下部大端。
[0019]优选的,所述运载车的上表面固定连接有水泵,所述水泵和水箱之间固定连接有水管。
[0020]通过设置水泵和水管,便于使用者对水箱内部添加清洁水。
[0021]综上所述,本技术的技术效果和优点:该单晶炉副室高效清理装置,通过设置调整件和清洁刷,使用者可以通过调整件调整清洁刷到滑板的距离,以此使得清洁刷紧贴在单晶炉副室的内壁,使得电机能够带动清洁刷对单晶炉副室进行充分的清洁,同时设置喷水筒对单晶炉副室内壁进行喷水,以此有效增加清洁刷的清洁效率,便于对单晶炉内壁进行高效清洁。
附图说明
[0022]图1为本技术整体结构示意图;
[0023]图2为本技术推车结构示意图;
[0024]图3为本技术滑板结构示意图;
[0025]图4为本技术图3中A部位放大图;
[0026]图5为本技术喷水筒结构示意图。
[0027]图中:1、运载车;2、液压杆;3、电机;4、水箱;5、滑板;51、卡孔;
[0028]6、调整件;61、滑筒;62、螺杆;63、螺纹筒;
[0029]7、清洁刷;71、短杆;8、连接杆;9、安装杆;10、喷水筒;11、水泵;12、水管。
具体实施方式
[0030]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。
[0031]参照图1

2,一种单晶炉副室高效清理装置,包括运载车1,运载车1上表面中部固定连接有液压杆2,液压杆2的顶部固定连接有电机3,液压杆2能够带动电机3进行上下位移,电机3的顶部固定连接有水箱4,电机3的输出轴贯穿水箱4延伸至水箱4的上方,电机3输出轴的顶端固定连接有滑板5,电机3的输出轴能够带动滑板5进行转动,滑板5一侧顶部固定连接有调整件6,滑板5的侧面开设有多个与调整件6配合的卡孔51,调整件6能够通过卡孔51安装在滑板5不同位置,调整件6远离滑板5的一端转动连接有清洁刷7,调整件6能够调整清洁刷7到滑板5的距离,清洁刷7靠近滑板5的一侧底部与滑板5之间铰接有连接杆8。
[0032]电机3的输出轴侧面固定连接有安装杆9,安装杆9的端部固定连接有喷水筒10,电机3的输出轴能够通过安装杆9带动喷水筒10进行转动,然后转动的喷水筒10能够将水箱4内部的水喷出。
[0033]运载车1的上表面固定连接有水泵11,水泵11和水箱4之间固定连接有水管12,使用者可以通过水泵11和水管12对水箱4进行补水。
[0034]参照图3

4,调整件6包括通过螺栓与滑板5固定连接的滑筒61、固定安装在滑筒61远离滑板5一端的螺杆62和螺纹套设在螺杆62上的螺纹筒63,使用者可以转动螺纹筒63,使得螺纹筒63在螺杆62上进行转动,然后螺纹筒63就会调整清洁刷7的位置。
[0035]清洁刷7靠近滑板5的一侧固定连接有短杆71,短杆71与螺纹筒63转动连接,螺纹筒63就会通过短杆71带着清洁刷7进行移动。
[0036]参照图1和图5,喷水筒10呈锥形设置,且喷水筒10与水平面呈倾斜设置,锥形设置的喷水筒10能够增加喷水的压力,以此有效冲洗单晶炉副室内壁。喷水筒10的下表面与喷水筒10的转筒方向相切设置,便于转动的喷水筒10将水流灌入喷水筒10的大端。
[0037]工作原理:使用者可以通过运载车1将液压杆2运送到单晶炉副室底部,根据不同单晶炉副室内壁直径,可以将滑筒61在滑板5上滑动到不同位置,通过螺栓将滑筒61安装在不同卡孔51位置,并转动螺纹筒63带动清洁刷7进行移动,此时清洁刷7就会带着连接杆8进行转动,此时清洁刷7就会紧贴在单晶炉副室内壁,然后伸长液压杆2使得电机3移动到副室顶端并启动电机3,电机3的输出轴会通过滑板5和调整件6带动清洁刷7进行转动,然后转动的清洁刷7就会对单晶本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉副室高效清理装置,包括运载车(1),其特征在于,所述运载车(1)上表面中部固定连接有液压杆(2),所述液压杆(2)的顶部固定连接有电机(3),所述电机(3)的顶部固定连接有水箱(4),所述电机(3)的输出轴贯穿水箱(4)延伸至水箱(4)的上方,所述电机(3)输出轴的顶端固定连接有滑板(5),所述滑板(5)一侧顶部固定连接有调整件(6),所述调整件(6)远离滑板(5)的一端转动连接有清洁刷(7),所述清洁刷(7)靠近滑板(5)的一侧底部与滑板(5)之间铰接有连接杆(8),所述电机(3)的输出轴侧面固定连接有安装杆(9),所述安装杆(9)的端部固定连接有喷水筒(10)。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉副室高效清理装置,其特征在于,所述滑板(5)的侧面开设有多个与调整件(6)配合的卡孔(51)。3.根据权利要求1所述的一种单晶炉副室高效清理装置,其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员:马瑞樊世飞叶慧慧张银平
申请(专利权)人:新疆贤安新材料有限公司
类型:新型
国别省市:

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