一种高脉冲在钛管内壁沉积纳米氮化钛薄膜装置结构制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于镀膜技术领域，公开了一种高脉冲在钛管内壁沉积纳米氮化钛薄膜装置结构，包括双层水冷真空镀膜室，所述双层水冷真空镀膜室上安装有高脉冲电源，所述高脉冲电源上安装有旋转基片台，所述旋转基片台上固定连接有高脉冲磁控溅射旋转阴极，所述高脉冲磁控溅射旋转阴极处于双层水冷真空镀膜室的内部，所述高脉冲磁控溅射旋转阴极的外侧套设有钛合金管，所述钛合金管的底端与旋转基片台的外侧接触，所述双层水冷真空镀膜室上安装有加热烘烤系统。该实用新型专利技术，采用高脉冲技术，使钛管内壁沉积的纳米氮化钛耐磨涂层更光洁、更均匀、更耐磨、附着力更好。附着力更好。附着力更好。

【技术实现步骤摘要】
一种高脉冲在钛管内壁沉积纳米氮化钛薄膜装置结构


[0001]本技术涉及镀膜
，具体涉及一种高脉冲在钛管内壁沉积纳米氮化钛薄膜装置结构。

技术介绍

[0002]公知的，随着科学技术的飞速发展，真空镀膜的技术已经得到普遍应用，在钛管内壁沉积纳米氮化钛耐磨涂层时，真空镀膜结构是一个重要的问题，镀膜结构设计不合理，会严重影响产品的沉积品质，钛管内表面沉积纳米氮化钛耐磨涂层是指在钛合金管内表面镀上一层维氏硬度约2000HV的纳米薄膜材料，它与加热温度、高脉冲磁控溅射阴极布置、高脉冲溅射电源功率大小、气路结构有关。
[0003]现有的钛管内壁制备耐磨涂层主要采用超音速喷涂技术，但该方式在使用过程中存在以下缺陷：
[0004]采用超音速喷涂技术，虽可达到生产需求，但其均匀一般，易影响产品的沉积品质，从而导致钛管上纳米氮化钛耐磨涂层的耐磨性与附着力不佳。

技术实现思路

[0005]针对现有技术中存在的问题，本技术的目的在于提供一种高脉冲在钛管内壁沉积纳米氮化钛薄膜装置结构。
[0006]为解决上述背景技术问题，本技术采本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高脉冲在钛管内壁沉积纳米氮化钛薄膜装置结构，包括双层水冷真空镀膜室(1)，其特征在于：所述双层水冷真空镀膜室(1)上安装有高脉冲电源(8)，所述高脉冲电源(8)上安装有旋转基片台(7)，所述旋转基片台(7)上固定连接有高脉冲磁控溅射旋转阴极(3)，所述高脉冲磁控溅射旋转阴极(3)处于双层水冷真空镀膜室(1)的内部，所述高脉冲磁控溅射旋转阴极(3...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹杨，孙蕾，邹松东，
申请(专利权)人：洛阳奥尔材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：