一种掩膜板、显示面板及显示装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术实施例公开了一种掩膜板、显示面板及显示装置。掩膜板包括，金属掩膜板蒸镀区。金属掩膜板对位区，金属掩膜板对位区包括对位部。金属框架，金属掩膜板蒸镀区和金属掩膜板对位区均设置于金属框架上。其中，掩膜板能够贴合于显示基板，金属掩膜板对位区与显示基板之间的距离大于金属掩膜板蒸镀区与显示基板之间的距离。本实用新型专利技术实施例通过分别设置金属掩膜板对位区与基板间的距离以及金属掩膜板蒸镀区与基板间的距离，提高了金属掩膜板蒸镀区与基板之间的贴合平坦度。降低基板与掩膜板贴合后产生的细微平坦度差异，以提升对位精度，降低蒸镀工艺中浪费的时间成本和物料成本。成本。成本。

【技术实现步骤摘要】
一种掩膜板、显示面板及显示装置


[0001]本技术实施例涉及掩膜板技术，尤其涉及一种掩膜板、显示面板及显示装置。

技术介绍

[0002]有机电激光显示(Organic Light
‑
Emitting Diode)OLED显示面板作为目前广受消费者欢迎的产品走进千家万户。随着产量提升，作为OLED显示面板生产过程中必不可少的掩膜板也备受显示面板生产厂家备受重视。
[0003]在OLED显示面板行业有时需要采用高精度的精细金属掩膜板(Fine Metal Mask，FMM)来进行掩膜蒸镀。蒸镀过程中精细金属掩膜板需要与TFT基板进行准确对位，由于基板与对位FMM贴合后产生的细微平坦度差异，造成对位异常。不仅增加返工成本，而且会造成大批量的混色不良，产品批量性报废，造成大量时间成本和物料成本损失。

技术实现思路

[0004]本技术提供一种掩膜板、显示面板及显示装置，以降低基板与掩膜板贴合后产生的细微平坦度差异，提升对位精度，降低蒸镀工艺中浪费的时间成本和物料成本。
[0005]第一方面，本技术实施例提供了一种掩膜板，包括：
[0006]金属掩膜板蒸镀区；
[0007]金属掩膜板对位区，所述金属掩膜板对位区包括对位部；
[0008]金属框架，所述金属掩膜板蒸镀区和所述金属掩膜板对位区均设置于所述金属框架上；
[0009]其中，所述掩膜板能够贴合于显示基板，所述金属掩膜板对位区与所述显示基板之间的距离大于所述金属掩膜板蒸镀区与所述显示基板之间的距离。
[0010]可选的，多个通孔组成的待蒸镀图案仅分布于所述金属掩膜板蒸镀区上。
[0011]可选的，所述金属掩膜板对位区与所述显示基板之间的距离等于所述金属掩膜板蒸镀区的厚度。
[0012]可选的，所述金属掩膜板对位区与所述显示基板之间的距离为20
‑
50微米。
[0013]可选的，所述金属框架包括金属掩膜板对位区容置槽，所述金属掩膜板对位区部分容置于所述金属掩膜板对位区容置槽。
[0014]可选的，所述金属掩膜板对位区容置槽的深度与所述金属掩膜板对位区的厚度相同。
[0015]可选的，所述金属掩膜板蒸镀区包括整片金属掩膜板。
[0016]可选的，所述金属掩膜板蒸镀区包括多个分体式金属掩膜子板。
[0017]可选的，包括两个所述金属掩膜板对位区，两个所述金属掩膜板对位区分别位于所述金属掩膜板蒸镀区的两侧。
[0018]第二方面，本技术实施例还提供了一种显示面板，使用上述任意一种掩膜板制得。
[0019]第三方面，本技术实施例还提供了一种显示装置，包括上述显示面板。
[0020]本技术实施例中，掩膜板包括，金属掩膜板蒸镀区。金属掩膜板对位区，金属掩膜板对位区包括对位部。金属框架，金属掩膜板蒸镀区和金属掩膜板对位区均设置于金属框架上。其中，掩膜板能够贴合于显示基板，金属掩膜板对位区与显示基板之间的距离大于金属掩膜板蒸镀区与显示基板之间的距离。通过分别设置金属掩膜板对位区与基板间的距离以及金属掩膜板蒸镀区与基板间的距离，避免了金属掩膜板对位区朝向基板一侧凸起，从而影响金属掩膜板蒸镀区与基板之间的贴合平坦度。降低基板与掩膜板贴合后产生的细微平坦度差异，以提升对位精度，降低蒸镀工艺中浪费的时间成本和物料成本。
附图说明
[0021]图1为本技术实施例提供的一种掩膜板的俯视图；
[0022]图2为本技术实施例提供的一种掩膜板的正视图；
[0023]图3为本技术实施例提供的一种显示面板的制备方法的逻辑示意图。
具体实施方式
[0024]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部结构。
[0025]图1为本技术实施例提供的一种掩膜板的俯视图，图2为本技术实施例提供的一种掩膜板的正视图，参见图1和图2。本技术实施例提供了一种掩膜板，包括：
[0026]金属掩膜板蒸镀区1；
[0027]金属掩膜板对位区2，金属掩膜板对位区2包括对位部21；
[0028]金属框架3，金属掩膜板蒸镀区1和金属掩膜板对位区2均设置于金属框架3上；
[0029]其中，掩膜板能够贴合于显示基板4，金属掩膜板对位区2与显示基板4之间的距离大于金属掩膜板蒸镀区1与显示基板4之间的距离。
[0030]其中，金属掩膜板对位区2可以包括对位部21，所述对位部21可以是任何形状的通孔，用于在对位过程中与显示基板4(下文简称为基板)上的对位标记重合，以对齐掩膜板和基板4之间的相对位置，利于后续准确的将蒸镀材料蒸镀到目标位置。可选的，金属掩膜板蒸镀区1上可以包括通孔，由多个通孔组成的待蒸镀图案分布于金属掩膜板蒸镀区1。使用时，金属掩膜板蒸镀区1紧贴基板4，蒸镀材料透过金属掩膜板蒸镀区1上的通孔，附着于基板4上的目标位置。金属框架3用于承载金属掩膜板蒸镀区1和金属掩膜板对位区2。金属框架3有着较高的刚性，不易变形。因此通过金属框架3连接金属掩膜板蒸镀区1和金属掩膜板对位区2，可以保证金属掩膜板蒸镀区1和金属掩膜板对位区2之间的位置关系相对固定。为了避免相关技术中，将金属掩膜板蒸镀区1和金属掩膜板对位区2设置在同一水平面上，由于工艺误差等原因导致金属掩膜板对位区2朝向基板4一侧与金属掩膜板蒸镀区1朝向基板4一侧存在一些平坦度差异，致使金属掩膜板蒸镀区1无法平坦贴合于基板4上。从而导致金属掩膜板蒸镀区1的通孔与基板4上的目标位置无法完全对应，即对位异常的问题。本技术实施例在金属掩膜板对位区2与基板4之间设置一定间隙，由于该间隙的存在，无需考虑金属掩膜板对位区2朝向基板4一侧的平坦度。只有金属掩膜板蒸镀区1与基板4贴合，因
此保证了金属掩膜板蒸镀区1与基板4之间的贴合。降低基板4与掩膜板贴合后产生的细微平坦度差异，以提升对位精度，降低蒸镀工艺中浪费的时间成本和物料成本。
[0031]在另一些实施例中，金属掩膜板对位区2与基板4之间的距离等于金属掩膜板蒸镀区1的厚度。
[0032]其中，可以将金属掩膜板对位区2与基板4之间的距离设置为金属掩膜板蒸镀区1的厚度，有利于保证金属掩膜板蒸镀区1与基板4之间的贴合。降低基板4与掩膜板贴合后产生的细微平坦度差异。
[0033]在另一些实施例中，金属掩膜板对位区2与显示基板4之间的距离为20
‑
50微米。
[0034]其中，20
‑
50微米的距离可以保证金属掩膜板对位区2的平坦度不会干扰到金属掩膜板蒸镀区1与基板4的贴合，降低基板4与掩膜板贴合后产生的细微平坦度差异。
[0035]在另一些实施例中，金属框架3包括金属掩膜板对位区2容置槽，金属掩膜板对位区2部分容本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种掩膜板，其特征在于，包括：金属掩膜板蒸镀区；金属掩膜板对位区，所述金属掩膜板对位区包括对位部；金属框架，所述金属掩膜板蒸镀区和所述金属掩膜板对位区均设置于所述金属框架上；其中，所述掩膜板能够贴合于显示基板，所述金属掩膜板对位区与所述显示基板之间的距离大于所述金属掩膜板蒸镀区与所述显示基板之间的距离。2.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，多个通孔组成的待蒸镀图案仅分布于所述金属掩膜板蒸镀区上。3.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述金属掩膜板对位区与所述显示基板之间的距离等于所述金属掩膜板蒸镀区的厚度。4.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述金属掩膜板对位区与所述显示基板之间的距离为20
‑
50微米。5.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：屈晓娟，李冬冬，
申请(专利权)人：上海和辉光电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：