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本实用新型属于镀膜技术领域，公开了一种高脉冲在钛管内壁沉积纳米氮化钛薄膜装置结构，包括双层水冷真空镀膜室，所述双层水冷真空镀膜室上安装有高脉冲电源，所述高脉冲电源上安装有旋转基片台，所述旋转基片台上固定连接有高脉冲磁控溅射旋转阴极，所述高脉...
该专利属于洛阳奥尔材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过洛阳奥尔材料科技有限公司授权不得商用。

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