双面抛光机驱动系统及双面抛光机技术方案

本发明专利技术提供一种双面抛光机驱动系统及双面抛光机。双面抛光机驱动系统包括：主轴，与上抛光盘连接件固定连接；主轴空心电机，其转子与主轴固定连接，带动主轴旋转；第一空心轴，套设主轴，与主轴可转动连接，且与内齿圈固定连接；第一空心电机，套设主轴空心电机，其转子与第一空心轴固定连接，带动第一空心轴旋转；第二空心轴，套设第一空心轴，与第一空心轴可转动连接，且与下抛光盘固定连接；第二空心电机，套设第一空心电机，其转子与第二空心轴固定连接，带动第二空心轴旋转；第三空心轴，套设第二空心轴，与第二空心轴可转动连接，且与外齿圈固定连接；第三空心电机，套设第二空心电机，其转子与第三空心轴固定连接，带动第三空心轴旋转。转。转。

【技术实现步骤摘要】
双面抛光机驱动系统及双面抛光机


[0001]本专利技术涉及抛光机
，具体涉及一种双面抛光机驱动系统及双面抛光机。

技术介绍

[0002]双面抛光机是用于半导体硅片的双面高精度高效率的抛光加工设备。其中，各驱动电机安装于机架上，并分别借助各传动轴驱动上抛光盘连接件、内齿圈、下抛光盘和外齿圈旋转，上抛光盘连接件与上抛光盘连接，进而驱动上抛光盘旋转，承载有硅片的行星轮在下抛光盘上分别与内齿圈及外齿圈啮合连接，从而在内齿圈、外齿圈、上抛光盘和下抛光盘的共同作用下，硅片随之移动并被抛光加工。
[0003]硅片的转速是抛光工艺中至关重要的工艺参数，硅片的运动轨迹对硅片的平整度具有非常重要的影响。而硅片的转速和硅片相对于上下抛光盘的运动轨迹，是由上下抛光盘和内外齿圈的转速决定的，因此严格地控制和监测上下抛光盘、内外齿圈转速对300mm硅片获得纳米级的加工精度是非常必要的。
[0004]现有技术中，各驱动电机与传动轴多采用皮带或者齿轮传动，传动链较长，降低了传动轴的回转精度，且导致驱动系统整体结构相对复杂,传动效率较低，运行平稳性差。

技术实现思路

[0005]有鉴于此，本专利技术提供一种双面抛光机驱动系统及双面抛光机。各空心电机逐级套设，各空心轴逐级套设，借助各空心电机直接带动各空心轴旋转，从而驱动与各空心轴连接的上抛光盘、内齿圈、下抛光盘和外齿圈旋转，进而控制承载于下抛光盘上的行星轮内的硅片的运移轨迹并抛光加工硅片，以克服现有技术的缺陷。
[0006]本专利技术提供的双面抛光机驱动系统包括：主轴，所述主轴用于与上抛光盘连接件固定连接；主轴空心电机，所述主轴空心电机的转子与所述主轴固定连接，带动所述主轴旋转；第一空心轴，所述第一空心轴套设所述主轴，与所述主轴可转动连接，且用于与内齿圈固定连接；第一空心电机，所述第一空心电机套设所述主轴空心电机，所述第一空心电机的转子与所述第一空心轴固定连接，带动所述第一空心轴旋转；第二空心轴，所述第二空心轴套设所述第一空心轴，与所述第一空心轴可转动连接，且用于与下抛光盘固定连接；第二空心电机，所述第二空心电机套设所述第一空心电机，所述第二空心电机的转子与所述第二空心轴固定连接，带动所述第二空心轴旋转；第三空心轴，所述第三空心轴套设所述第二空心轴，与所述第二空心轴可转动连接，且用于与外齿圈固定连接；第三空心电机，所述第三空心电机套设所述第二空心电机，所述第三空心电机的转子与所述第三空心轴固定连接，带动所述第三空心轴旋转。
[0007]可选地，所述双面抛光机驱动系统还包括：第二空心轴固定座，所述第二空心轴固定座用于与机架固定连接，所述第二空心轴固定座套设所述第二空心轴，所述第二空心轴与所述第二空心轴固定座可转动连接，所述第三空心轴套设所述第二空心轴固定座，与所述第二空心轴固定座可转动连接。
[0008]可选地，所述双面抛光机驱动系统还包括第一直驱装置，所述第一直驱装置包括：第一伸缩组件，所述第一伸缩组件的固定部用于与所述机架固定连接；外齿圈升降座，所述外齿圈升降座套设所述第二空心轴固定座，与所述第二空心轴固定座可转动连接，所述第三空心轴套设所述外齿圈升降座，与所述外齿圈升降座可转动连接，所述外齿圈升降座的第一端与所述第一伸缩组件的活动部可拆卸连接，所述外齿圈升降座的第二端用于与外齿圈固定连接。
[0009]可选地，所述外齿圈升降座的内壁设置有滑块；所述第二空心轴固定座的外壁设置有多个沿周向的第一环形滑道和沿延伸方向的第一直线滑道，所述外齿圈升降座随所述外齿圈旋转时，所述滑块沿所述第一环形滑道转动，所述外齿圈升降座随所述第一伸缩组件直线移动时，所述滑块沿所述第一直线滑道移动。
[0010]可选地，所述第一伸缩组件包括电机、丝杠和连接件，其中：所述电机与所述机架固定连接；所述丝杠包括螺杆和螺母，所述电机与所述螺杆驱动连接，驱动所述螺杆转动，所述螺母与所述螺杆螺纹连接；所述连接件的第一端与所述螺母固定连接，所述连接件的第二端与所述外齿圈升降座的第一端可拆卸连接。
[0011]可选地，所述外齿圈升降座与所述第三空心轴之间借助液体静压轴承实现可转动连接，所述液体静压轴承的内壁与所述外齿圈升降座的外壁连接，所述液体静压轴承的外壁与所述第三空心轴的内壁连接，所述第三空心轴开设有进油孔道，所述进油孔道连通所述液体静压轴承的进油口。
[0012]可选地，所述双面抛光机驱动系统还包括：主轴固定座，所述主轴固定座用于与所述机架固定连接，所述主轴固定座套设所述主轴，所述主轴与所述主轴固定座可转动连接，所述第一空心轴套设所述主轴固定座，与所述主轴固定座可转动连接。
[0013]可选地，所述双面抛光机驱动系统还包括第二直驱装置，所述第二直驱装置包括：第二伸缩组件，所述第二伸缩组件的固定部用于与所述机架固定连接；内齿圈升降座，所述内齿圈升降座套设所述主轴固定座，与所述主轴固定座可转动连接，所述第一空心轴套设所述内齿圈升降座，与所述内齿圈升降座可转动连接，所述内齿圈升降座的第一端与所述第二伸缩组件的活动部可拆卸连接，所述内齿圈升降座的第二端用于与所述内齿圈固定连接。
[0014]可选地，所述双面抛光机驱动系统还包括：测速传感器，所述测速传感器与所述主轴空心电机连接，监测所述主轴空心电机的转速；控制器，所述控制器的输入端与所述测速传感器的输出端通信连接，所述控制器的输出端与所述主轴空心电机的控制端通信连接。
[0015]本专利技术还提供一种双面抛光机，包括机架、外齿圈、下抛光盘、内齿圈、上抛光盘和行星轮，所述上抛光盘与所述下抛光盘通过上抛光盘连接件实现连接，所述行星轮分别与所述外齿圈及所述内齿圈啮合连接，还包括上述任一项所述的双面抛光机驱动系统，所述双面抛光机驱动系统的主轴空心电机、第一空心电机、第二空心电机和第三空心电机分别与所述机架固定连接，所述双面抛光机驱动系统的主轴与所述上抛光盘连接件固定连接，第一空心轴与所述内齿圈固定连接，第二空心轴与所述下抛光盘固定连接，第三空心轴与所述外齿圈固定连接。
[0016]本专利技术提供的以上技术方案，与现有技术相比，至少具有如下有益效果：
[0017]采用本专利技术双面抛光机驱动系统，各空心电机逐级套设，各空心轴逐级套设，使系
统结构更加紧凑，且借助各空心电机的转子直接连接并带动各空心轴旋转，从而带动与各空心轴连接的外齿圈、下抛光盘、内齿圈和上抛光盘旋转，省去了传动带和齿轮等中间传动环节，提高了传动效率和旋转精度，可精确控制硅片转速和运动轨迹，能有效提高硅片的加工品质。
附图说明
[0018]图1为本专利技术一个实施例所述的双面抛光机驱动系统的爆炸图；
[0019]图2为图1所示双面抛光机驱动系统的结构示意图；
[0020]图3为图2所示双面抛光机驱动系统去掉各空心电机的示意图；
[0021]图4为图2所示双面抛光机驱动系统安装至双面抛光机的示意图；
[0022]图5为图4所示双面抛光机驱动系统安装至双面抛光机的剖视图；
[0023]图6为图5所示剖视图中主本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双面抛光机驱动系统，其特征在于，包括：主轴，所述主轴用于与上抛光盘连接件固定连接；主轴空心电机，所述主轴空心电机的转子与所述主轴固定连接，带动所述主轴旋转；第一空心轴，所述第一空心轴套设所述主轴，与所述主轴可转动连接，且用于与内齿圈固定连接；第一空心电机，所述第一空心电机套设所述主轴空心电机，所述第一空心电机的转子与所述第一空心轴固定连接，带动所述第一空心轴旋转；第二空心轴，所述第二空心轴套设所述第一空心轴，与所述第一空心轴可转动连接，且用于与下抛光盘固定连接；第二空心电机，所述第二空心电机套设所述第一空心电机，所述第二空心电机的转子与所述第二空心轴固定连接，带动所述第二空心轴旋转；第三空心轴，所述第三空心轴套设所述第二空心轴，与所述第二空心轴可转动连接，且用于与外齿圈固定连接；第三空心电机，所述第三空心电机套设所述第二空心电机，所述第三空心电机的转子与所述第三空心轴固定连接，带动所述第三空心轴旋转。2.根据权利要求1所述的双面抛光机驱动系统，其特征在于，还包括：第二空心轴固定座，所述第二空心轴固定座用于与机架固定连接，所述第二空心轴固定座套设所述第二空心轴，所述第二空心轴与所述第二空心轴固定座可转动连接，所述第三空心轴套设所述第二空心轴固定座，与所述第二空心轴固定座可转动连接。3.根据权利要求2所述的双面抛光机驱动系统，其特征在于，还包括第一直驱装置，所述第一直驱装置包括：第一伸缩组件，所述第一伸缩组件的固定部用于与所述机架固定连接；外齿圈升降座，所述外齿圈升降座套设所述第二空心轴固定座，与所述第二空心轴固定座可转动连接，所述第三空心轴套设所述外齿圈升降座，与所述外齿圈升降座可转动连接，所述外齿圈升降座的第一端与所述第一伸缩组件的活动部可拆卸连接，所述外齿圈升降座的第二端用于与所述外齿圈固定连接。4.根据权利要求3所述的双面抛光机驱动系统，其特征在于：所述外齿圈升降座的内壁设置有滑块；所述第二空心轴固定座的外壁设置有多个沿周向的第一环形滑道和沿延伸方向的第一直线滑道，所述外齿圈升降座随所述外齿圈旋转时，所述滑块沿所述第一环形滑道转动，所述外齿圈升降座随所述第一伸缩组件直线移动时，所述滑块沿所述第一直线滑道移动。5.根据权利要求3或4所述的双面抛光机驱动系统，其特征在于，所述第一伸缩组件包括电机、丝杠和连接件，其中：所述电机与所述机架固定连接；所述丝杠包括螺杆和螺母，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：王壹帆，王莎，胡碧波，张琪，
申请(专利权)人：万华化学集团电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：