固态成像装置制造方法及图纸

技术编号:3609336 阅读:171 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
在每个光敏单元中,光电二极管101、传输门102、浮置扩散层部分103、放大器晶体管104和复位晶体管105被形成在由器件隔离区包围的一个有源区中。包含于一个光敏单元中的浮置扩散层部分103不连接此光敏单元中包括的放大器晶体管104,而是连接到与该一个光敏单元在列方向相邻的另一光敏单元中包括的放大器晶体管104的栅极。多晶硅布线111连接设置在相同行的传输门102,多晶硅布线112连接设置在相同行的复位晶体管105。为了在行方向连接,只使用多晶硅布线。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种固态成像装置,根据接收到的光学信号的强度输出电信号,该装置包括:一光敏区,具有在半导体衬底上在行和列方向两维地设置的若干个光敏单元,每个光敏单元包括用于储存通过对接收到的光进行光电转换而获得的信号电荷的光电二极管、用于传输储存在光电二极管中的信号电荷的传输晶体管、用于暂时储存被传输的信号电荷的浮置扩散层部分、用于放大储存在浮置扩散层部分中的信号电荷的放大器晶体管、以及用于使储存在浮置扩散层部分中的信号电荷复位的复位晶体管,一电源线,共同连接到所述放大器晶体管的漏极;一垂直驱动器电路,用于驱动设置在相同行的所述传输晶体管和设置在另一相同行的所述复位晶体管;多个垂直信号线,共同连接到设置在相同列的所述放大器晶体管;多个装入晶体管,分别连接到所述垂直信号线;一噪声抑制电路,用于抑制输出到垂直信号线的信号的噪声;多个水平晶体管,设置在行方向并被提供来自噪声抑制电路的输出;和一水平驱动器电路,连续地和选择地使水平晶体管工作、以便使得从噪声抑制电路连续产生输出,其中在每个光敏单元中,光电二极管、传输晶体管、浮置扩散层部分、放大器晶体管、和复位晶体管被形成在由器件隔离区包围的一个有源区中,并且被包含于指定的一个光敏单元中的浮置扩散层部分连接到在列方向中与该指定光敏单元相邻的光敏单元中包括的放大器晶体管的栅极上。...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:稻垣诚松长诚之
申请(专利权)人:松下电器产业株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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