固体摄像装置的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种可以提高受光度的固体摄像装置的制造方法。本发明专利技术的固体摄像装置的制造方法具有：在受光区域Ｌ与非受光区域Ｂ上形成绝缘膜（２１）的工序；及在受光区域Ｌ上的绝缘膜上形成透镜形成用的掩模图案（２３），在非受光区域（Ｂ）上的绝缘膜（２１）上形成透镜形成用的伪掩模图案（２３ｄ）的工序；将掩模图案（２３）与伪掩模图案（２３ｄ）作为掩模，对绝缘膜（２１）进行蚀刻，以在绝缘膜（２１）上形成多个凸起部的工序；在绝缘膜（２１）上形成第一透镜膜（２４）的工序；在第一透镜膜（２４）上形成比其蚀刻率低的平坦化膜（２５）的工序；对第一透镜膜（２４）及平坦化膜（２５）进行深腐蚀的工序；和在第一透镜膜（２４）上形成第二透镜膜（２６）的工序。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及改善了受光效率的。
技术介绍
近年来，所谓CCD(Charge Coupled Device)的固体摄像装置广泛应用于移动电话机及个体识别装置等中，其应用领域在不断扩大。下面，参照附图说明现有的固体摄像装置的构成例。图12是表示现有的帧转送方式的固体摄像装置的概略构成的图。帧转送方式的固体摄像装置1由摄像部1i、存储部1s、水平转送部1h以及输出部1d构成。摄像部1i由沿垂直方向相互平行排列的多个垂直移位寄存器构成，垂直移位寄存器的各位形成各受光像素。存储部1s由与构成摄像部1i的多个垂直移位寄存器连接的多个垂直移位寄存器构成。水平转送部1h由设置在存储部1s的输出侧的一列水平移位寄存器构成，其各位与多个垂直移位寄存器的各列相对应。输出部1d构成为具备接收从水平转送部1h输出的信息电荷的电容。在该构成中，在构成为摄像部1i的多个受光像素中产生的信息电荷，在所定期间内存储在各受光区域内，响应帧转送时钟f，以高速转送给存储部1s。然后，暂时存储在存储部1s中，并响应垂直转送时钟v，依次以1行为单位转送给水平转送部1h。转送给水平转送部1h的信息电荷响应水平转送时钟本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种固体摄像装置的制造方法，其中该装置具有配置多个像素而成的受光区域及与该受光区域相邻的非受光区域，其特征在于，具有：在所述受光区域与所述非受光区域上形成绝缘膜的工序；在所述受光区域上的绝缘膜上形成透镜形成用的掩模图案，在所 述非受光区域上的绝缘膜上形成透镜形成用的伪掩模图案的工序；将所述掩模图案与伪掩模图案作为掩模，对所述绝缘膜进行蚀刻，以在所述绝缘膜上形成多个凸起部的工序；在所述绝缘膜上形成第一透镜膜的工序；在所述第一透镜膜上形成比其 蚀刻率低的平坦化膜的工序；和对所述第一透镜膜及所述平坦化膜进行深腐蚀的工序。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：富泽勇，甲斐诚二，八木巧司，
申请(专利权)人：三洋电机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]