一种晶圆清洗用的喷射机构制造技术

本实用新型专利技术提供一种晶圆清洗用的喷射机构，涉及喷射机构技术领域，包括安装架，安装架的一侧通过调节板设有清洗机构，清洗机构包括冲洗外壳和洗刷辊，冲洗外壳呈弧形结构，洗刷辊转动设置在冲洗外壳内部，洗刷辊的两端与冲洗外壳的两端转动连接，洗刷辊的一端通过电机驱动，冲洗外壳的内壁通过调节机构设有挤水夹，挤水夹的外壁与洗刷辊的外壁接触设置，冲洗外壳内部设有喷管，喷管的下方连通设有喷头，喷头的下方贯穿冲洗外壳的下方并延伸在外，喷管的一端通过软管与外部清洗液或清水连通设置。本实用新型专利技术通过调节板带动清洁机构在晶圆表面进行反复冲洗，配合洗刷辊的转动和冲洗外壳内喷头的冲洗，较大提高了对晶圆的冲洗质量。质量。质量。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆清洗用的喷射机构


[0001]本技术涉及喷射机构
，尤其涉及一种晶圆清洗用的喷射机构。

技术介绍

[0002]晶圆清洗，将晶圆在不断被加工成形及抛光处理的过程中，由于与各种有机物、粒子及金属接触而产生的污染物清除的工艺，是晶圆制造过程中的一个重要工艺步骤。
[0003]但是现有技术中，晶圆清洗在清洗时通常将晶圆放置在用于清洗的容纳盒内的限位托盘上，通过限位托盘转动带动晶圆转动，从而便于对晶圆清洗时能达到全方位清洁，而冲洗时则使用喷管进行冲洗，且通常喷管为固定结构，仅通过晶圆的自转让喷管喷出的清洗液分布在晶圆表面上，但将晶圆直径较大时，则固定设置的喷管则不能均匀地对晶圆表面进行冲洗，从而降低了对晶圆表面的清洗质量。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在一般喷管清洗机构不能很好地对晶圆表面进行均匀清洗问题。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种晶圆清洗用的喷射机构，包括安装架，所述安装架的一侧通过调节板设有清洗机构，所述清洗机构包括冲洗外壳和洗刷辊，所述冲洗本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆清洗用的喷射机构，其特征在于，包括安装架(1)，所述安装架(1)的一侧通过调节板(2)设有清洗机构，所述清洗机构包括冲洗外壳(3)和洗刷辊(4)，所述冲洗外壳(3)呈弧形结构，所述洗刷辊(4)转动设置在所述冲洗外壳(3)内部，所述洗刷辊(4)的两端与所述冲洗外壳(3)的两端转动连接，所述洗刷辊(4)的一端通过电机驱动，所述冲洗外壳(3)的内壁通过调节机构设有挤水夹(5)，所述挤水夹(5)的外壁与所述洗刷辊(4)的外壁接触设置，所述冲洗外壳(3)内部设有喷管(6)，所述喷管(6)的下方连通设有喷头(7)，所述喷头(7)的下方贯穿所述冲洗外壳(3)的下方并延伸在外，所述喷管(6)的一端通过软管(8)与外部清洗液或清水连通设置。2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗用的喷射机构，其特征在于：所述挤水夹(5)设有两个且对称设置在所述冲洗外壳(3)的下方，所述挤水夹(5)的内壁与所述洗刷辊(4)的侧壁滑动适配。3.根据权利要求2所述的一种晶圆清洗用的喷射机构，其特征在于：所述调节机构包括连接杆(9)、伸缩杆(10)和第一气缸(11)，所述连接杆(9)垂直设置在所述挤水夹(5)的外侧上，所述连接杆(9)的上端滑动贯穿所述冲洗外壳(3)内部下方并延伸至所述冲洗外壳(3)的内部，所述伸缩杆(10)的一端铰接设置在所述连接杆(9)...

【专利技术属性】
技术研发人员：范银波，
申请(专利权)人：苏州珮凯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：