下载一种晶圆清洗用的喷射机构的技术资料

文档序号:36091005

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本实用新型提供一种晶圆清洗用的喷射机构,涉及喷射机构技术领域,包括安装架,安装架的一侧通过调节板设有清洗机构,清洗机构包括冲洗外壳和洗刷辊,冲洗外壳呈弧形结构,洗刷辊转动设置在冲洗外壳内部,洗刷辊的两端与冲洗外壳的两端转动连接,洗刷辊的一端...
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