测试机AC校准方法及系统技术方案

本发明专利技术公开一种测试机AC校准方法，包括通过布线将多个测试通道汇聚一节点；以一测试通道为待校准测试通道，将其工作于驱动模式，其余测试通道工作于接收模式；在工作于驱动模式的测试通道上加载驱动信号，由工作于接收模式的测试通道捕获驱动信号；将工作于接收模式的测试通道预设为不同的捕获电压；基于驱动信号电压与捕获电压得到多个捕获时间；将捕获电压与捕获时间的组合代入等效电路的数学公式，得到时间常数与时间校准量的方程式；将多个关于时间常数与时间校准量的方程式进行拟合求解，得到待校准测试通道的时间校准量。本发明专利技术克服了多个测试通道汇聚于同一节点带来的线路阻抗突变、驱动波形变形严重以及信号时间无法精确校准的问题。确校准的问题。确校准的问题。

【技术实现步骤摘要】
测试机AC校准方法及系统


[0001]本专利技术涉及半导体集成电路测试
，具体涉及一种测试机AC校准方法及系统。

技术介绍

[0002]在自动化测试机中，由于电路板布线和内部接线等问题，会导致测试机内部通道的Drive信号(驱动信号)传输到测试端时会出现时间差异(如图1)。这会影响测试的效率，从而降低良率。因此需要对测试机通道的Drive信号进行时间校准(AC校准)。校准的目的是当不同通道设置相同的驱动波形时，每个通道的Drive信号传输到测试端时是对齐的，即通道之间的时间无差异，即AC校准可以降低因通道时间差异对测试产生的影响，从而提高测试机的性能。
[0003]目前对测试机的驱动信号进行AC校准的常规方法有以下二种：1)、使用探针进行测试；2)、使用继电器连接进行测试。其中使用探针进行测试的结构示意如图2所示，探针连接机械臂，机械臂通过程序控制，其可以通过探针接收测试机测试端的信号，对信号进行时间测量，从而实现AC校准，但该方法需要引入机械臂装置，增加了测试成本，而且每一次测试后都需要调整探针位置，匹配下一组需要测试的通道，当测试通道较多时，直接导致测试的时间过长，从而降低了AC校准效率。另外，使用继电器连接进行测试的结构示意如图3所示，通过继电器将多个测试端连接进行测试，使用程序控制继电器的开合，将需要校准的通道的信号传输出来进行时间测量，分析校准。但是该方法所需继电器数量多，成本高，而且不同继电器的开关动作也会有时间偏差，这就会导致校准后偏差太大，超出设定的规格范围，从而降低测试机的性能。/>[0004]因此，迫切需要提供一种测试机AC校准方法以克服上述技术缺陷。

技术实现思路

[0005]为此，本专利技术所要解决的技术问题在于克服现有技术中的不足，提供一种测试机AC校准方法及系统，其既摒弃了传统探针测试方法所增加的机械臂，降低了测试成本；又避免了传统继电器测试方法所带来的继电器开关动作导致的时间偏差问题，提高了测试精度；而且使用多个测试通道捕获待校准测试通道上通过节点发散的驱动信号，通过信号波形重建以及时间校准量拟合的数学方式得到精确的时间校准量，极大地消除了每个测试通道的测量结果的误差，克服了多个测试通道汇聚于同一节点而带来的线路阻抗突变、驱动波形变形严重以及信号时间无法精确校准的问题。
[0006]为了解决上述技术问题，本专利技术提供了一种测试机AC校准方法，所述测试机包括多个测试通道，包括：
[0007]提供一节点，所述节点通过布线将多个测试通道汇聚于该节点，且每个测试通道的测试端到所述节点的线长相等；
[0008]以其中一个测试通道作为待校准测试通道，将待校准测试通道工作于驱动模式，
其余的测试通道工作于接收模式；
[0009]在工作于驱动模式的测试通道上加载驱动信号，由工作于接收模式的测试通道捕获通过所述节点发散的驱动信号；
[0010]将多个工作于接收模式的测试通道预设为不同的捕获电压；
[0011]基于驱动信号电压与预设的捕获电压得到多个捕获时间，从而得到多个关于捕获电压与捕获时间的组合；
[0012]将多个关于捕获电压与捕获时间的组合代入等效电路对应的数学公式，得到多个关于时间常数与时间校准量的方程式，其中所述等效电路为工作于接收模式下的测试通道的测试端的等效电路；
[0013]将多个关于时间常数与时间校准量的方程式进行拟合求解，得到待校准测试通道的时间校准量。
[0014]在本专利技术的一个实施例中，工作于接收模式下的测试通道的测试端的等效电路包括一延时电路和一RC电路，所述延时电路与所述RC电路串联。
[0015]在本专利技术的一个实施例中，工作于接收模式下的测试通道的测试端的等效电路还包括一比较器，驱动信号电压经过延时电路和RC电路后的输出电压输入至所述比较器的其中一个输入端，预设的捕获电压输入至所述比较器的另一个输入端。
[0016]在本专利技术的一个实施例中，获得捕获时间的方法包括：
[0017]将驱动信号电压和捕获电压输入至所述比较器，比较器输出电压发生翻转的时间即为捕获时间。
[0018]在本专利技术的一个实施例中，所述等效电路所对应的数学公式为：
[0019][0020]其中，V
chi
表示待校准测试通道的测试端的电压值，V
IH
表示驱动信号电压，t表示捕获时间，ΔT
chi
表示待校准测试通道的时间校准量，τ
chi
表示工作于接收模式的测试通道等效为RC电路的时间常数。
[0021]在本专利技术的一个实施例中，将多个关于时间常数与时间校准量的方程式进行拟合求解，得到待校准测试通道的时间校准量，包括：
[0022]将每个预设的捕获电压和驱动信号电压代入公式计算其数值，将所有数值构成一数组G；
[0023]将数组G和由捕获时间构成的数组t按照线性公式t＝
‑
τG+ΔT做最小二乘法线性拟合，得到时间常数τ和时间校准量ΔT，其中ΔT即为待校准测试通道的时间校准量。
[0024]此外，本专利技术还提供一种测试机AC校准系统，所述测试机包括多个测试通道，包括：
[0025]节点，所述节点通过布线将多个测试通道汇聚于该节点，且每个测试通道的测试端到所述节点的线长相等，以其中一个测试通道作为待校准测试通道，将待校准测试通道
工作于驱动模式，其余的测试通道工作于接收模式；
[0026]驱动信号捕获模块，所述驱动信号捕获模块由工作于接收模式的测试通道捕获通过所述节点发散的驱动信号；
[0027]捕获时间获得模块，将多个工作于接收模式的测试通道预设为不同的捕获电压，所述捕获时间获得模块基于驱动信号电压与预设的捕获电压得到多个捕获时间，从而得到多个关于捕获电压与捕获时间的组合；将多个关于捕获电压与捕获时间的组合代入等效电路对应的数学公式，得到多个关于时间常数与时间校准量的方程式，其中所述等效电路为工作于接收模式下的测试通道的测试端的等效电路；
[0028]校准量计算模块，所述校准量计算模块将多个关于时间常数与时间校准量的方程式进行拟合求解，得到待校准测试通道的时间校准量。
[0029]在本专利技术的一个实施例中，工作于接收模式下的测试通道的测试端的等效电路包括串联的一延时电路、一RC电路和一比较器，驱动信号电压经过延时电路和RC电路后的输出电压输入至所述比较器的其中一个输入端，预设的捕获电压输入至所述比较器的另一个输入端。
[0030]在本专利技术的一个实施例中，所述捕获时间获得模块用于将驱动信号电压和捕获电压输入至所述比较器，比较器输出电压发生翻转的时间即为捕获时间。
[0031]在本专利技术的一个实施例中，所述校准量计算模块将多个关于时间常数与时间校准量的组合进行拟合，包括：
[0032]将每个预设的捕获电压和驱动信号电压代入公式计算其数值，将所有数值构成一数组G；
[0033]将数组G和由捕获时间构成的数组t按照线性公式本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种测试机AC校准方法，所述测试机包括多个测试通道，其特征在于，包括：提供一节点，所述节点通过布线将多个测试通道汇聚于该节点，且每个测试通道的测试端到所述节点的线长相等；以其中一个测试通道作为待校准测试通道，将待校准测试通道工作于驱动模式，其余的测试通道工作于接收模式；在工作于驱动模式的测试通道上加载驱动信号，由工作于接收模式的测试通道捕获通过所述节点发散的驱动信号；将多个工作于接收模式的测试通道预设为不同的捕获电压；基于驱动信号电压与预设的捕获电压得到多个捕获时间，从而得到多个关于捕获电压与捕获时间的组合；将多个关于捕获电压与捕获时间的组合代入等效电路对应的数学公式，得到多个关于时间常数与时间校准量的方程式，其中所述等效电路为工作于接收模式下的测试通道的测试端的等效电路；将多个关于时间常数与时间校准量的方程式进行拟合求解，得到待校准测试通道的时间校准量。2.如权利要求1所述的一种测试机AC校准方法，其特征在于：工作于接收模式下的测试通道的测试端的等效电路包括一延时电路和一RC电路，所述延时电路与所述RC电路串联。3.如权利要求2所述的一种测试机AC校准方法，其特征在于：工作于接收模式下的测试通道的测试端的等效电路还包括一比较器，驱动信号电压经过延时电路和RC电路后的输出电压输入至所述比较器的其中一个输入端，预设的捕获电压输入至所述比较器的另一个输入端。4.如权利要求3所述的一种测试机AC校准方法，其特征在于：获得捕获时间的方法，包括：将驱动信号电压和捕获电压输入至所述比较器，比较器输出电压发生翻转的时间即为捕获时间。5.如权利要求2至4任一项所述的一种测试机AC校准方法，其特征在于：所述等效电路所对应的数学公式为：其中，V
chi
表示捕获电压，V
IH
表示驱动信号电压，t表示捕获时间，ΔT
chi
表示待校准测试通道的时间校准量，τ
chi
表示工作于接收模式的测试通道等效为RC电路的时间常数。6.如权利要求5所述的一种测试机AC校准方法，其特征在于：将多个关于时间常数与时间校准量的方程式进行拟合求解，得到待校准测试通道的时间校准量，包括：将每个预设的捕获电压和驱动信号电压代...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏津，张经祥，燕南，胡雪原，
申请(专利权)人：胜达克半导体科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：