本实用新型专利技术提供的漏气检测装置及半导体工艺设备，漏气检测装置用于检测管路接口与其两端连接的两个管路的连接处是否漏气；漏气检测装置包括：可拆卸连接的两个腔体，腔体包括相连通的第一空腔和第二空腔，第一空腔用于放置指示剂颗粒，至少一个腔体中的第二空腔远离第一空腔的一面设置有挡板，且挡板上设置有开口；连接在一起的两个腔体环绕设置于管路接口的外围，且两个第二空腔相连接并通过开口相连通，管路接口设置于所述开口中，以使得挡板夹住管路接口的侧壁。本实用新型专利技术的技术方案能够快速且及时地检测出管路接口与管路的连接处是否发生轻微漏气，避免发生泄漏事故，同时也增加了管路的使用寿命。增加了管路的使用寿命。增加了管路的使用寿命。
【技术实现步骤摘要】
漏气检测装置及半导体工艺设备
[0001]本技术涉及半导体设计
，特别涉及一种漏气检测装置及半导体工艺设备。
技术介绍
[0002]管路接口是一个非常重要的管件，常用作于工厂中管路与管路之间的连接工具。然而，管路接口在安装后并不能立即判断是否安装良好，即便目视已经安装到位，但仍然可能因为密封圈(O
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ring)上存在微粒(particle)或者法兰上面存在些缺陷从而导致密封轻微失效。而当管路内部的压力逐渐超过大气压的时候，管路内部的工艺气体可能会通过管路接口与管路的连接处泄漏到环境中。
[0003]现有的检测气体泄漏的管控方案是通过在管路的周围安装气体侦测与监控系统(GMS)侦测器，但是这种检测方法，只有在气体泄漏达到一定的浓度时，侦测器才会发生报警，而对于轻微的气体泄漏根本无法察觉并及时报警。而目前大多数工厂内所使用的气体99％均为酸性气体，酸性气体具有强烈的腐蚀性，虽然一般情况下，轻微的气体泄漏对环境不会造成严重影响，但随着泄漏时间的增加，酸性气体会对管路上的部件造成一定的腐蚀，比如常见的单向阀腐蚀，久而久之会对管路造成严重的伤害，甚至导致严重的泄漏事故，且影响管路的使用寿命。
[0004]因此，如何快速且及时地检测出管路接口与管路的连接处是否发生气体微漏是目前亟需解决的问题。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于提供一种漏气检测装置及半导体工艺设备，能够快速且及时地检测出管路接口与管路的连接处是否发生轻微漏气，避免发生泄漏事故，同时也增加了管路的使用寿命。
[0006]为解决上述技术问题，本技术提供一种漏气检测装置，用于检测管路接口与其两端连接的两个管路的连接处是否漏气；所述漏气检测装置包括：
[0007]可拆卸连接的两个腔体，所述腔体包括相连通的第一空腔和第二空腔，所述第一空腔用于放置指示剂颗粒，至少一个所述腔体中的第二空腔远离所述第一空腔的一面设置有挡板，且所述挡板上设置有开口；连接在一起的两个所述腔体环绕设置于所述管路接口的外围，且两个所述第二空腔相连接并通过所述开口相连通，所述管路接口设置于所述开口中，以使得所述挡板夹住所述管路接口的侧壁。
[0008]优选地，所述漏气检测装置还包括：
[0009]卡扣，设置于所述腔体的外侧壁上，以通过所述卡扣连接两个所述腔体。
[0010]优选地，所述第一空腔的两端向靠近所述挡板的方向延伸，以使得在所述第一空腔至所述第二空腔的方向上，所述第一空腔的形状为凹形。
[0011]优选地，所述第一空腔与所述第二空腔共用的侧壁上设置有多个第一通孔。
[0012]优选地，所述第一空腔的未与所述第二空腔共用的侧壁上设置有多个第二通孔。
[0013]优选地，所述第一空腔向靠近所述挡板的方向延伸的一端或两端上设置有用于放入所述指示剂颗粒的第三通孔。
[0014]优选地，所述第二空腔的两端面上具有向远离所述挡板方向凹陷的半圆，以使得连接在一起的两个所述腔体中两个所述半圆拼接为整圆，所述管路穿过所述整圆与所述管路接口连接。
[0015]优选地，所述挡板与所述第二空腔一体成型。
[0016]优选地，所述腔体的侧壁厚度为10毫米～20毫米。
[0017]本技术还提供一种半导体工艺设备，包括两个管路、管路接口以及所述的漏气检测装置，所述管路接口连接在两个所述管路之间，所述漏气检测装置环绕设置于所述管路接口的外围，以用于检测所述管路接口与所述管路的连接处是否漏气。
[0018]与现有技术相比，本技术的技术方案具有以下有益效果：
[0019]1、本技术的漏气检测装置，用于检测管路接口与其两端连接的两个管路的连接处是否漏气；所述漏气检测装置包括：可拆卸连接的两个腔体，所述腔体包括相连通的第一空腔和第二空腔，所述第一空腔用于放置指示剂颗粒，至少一个所述腔体中的第二空腔远离所述第一空腔的一面设置有挡板，且所述挡板上设置有开口；连接在一起的两个所述腔体环绕设置于所述管路接口的外围，且两个所述第二空腔相连接并通过所述开口相连通，所述管路接口设置于所述开口中，以使得所述挡板夹住所述管路接口的侧壁。本技术提供的漏气检测装置能够快速且及时地检测出管路接口与管路的连接处是否发生轻微漏气，避免发生泄漏事故，同时也增加了管路的使用寿命。
[0020]2、本技术的半导体工艺设备，由于包括两个管路、管路接口以及所述的漏气检测装置，所述管路接口连接在两个所述管路之间，所述漏气检测装置环绕设置于所述管路接口的外围，以用于检测所述管路接口与所述管路的连接处是否漏气，使得能够快速且及时地检测出管路接口与管路的连接处是否发生轻微漏气，避免发生泄漏事故。
附图说明
[0021]图1是本技术一实施例的漏气检测装置的立体结构示意图；
[0022]图2是图1所示的漏气检测装置的俯视示意图；
[0023]图3是图1所示的漏气检测装置的左视示意图；
[0024]图4是图1所示的漏气检测装置的主视示意图；
[0025]图5是图1所示的漏气检测装置的外部结构示意图；
[0026]图6是本技术一实施例的漏气检测装置的工作示意图。
[0027]其中，附图1
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图6的附图标记说明如下：
[0028]100
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腔体；110
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第一空腔；111
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第一通孔；112
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第二通孔；113
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第三通孔；120
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第二空腔；130
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开口；140
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挡板；150
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管路口；160
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卡扣；200
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管路。
具体实施方式
[0029]为使本技术的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图和具体实施例对本技术提出的漏气检测装置及半导体工艺设备作进一步详细说明。根据下面说明和权利
要求书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。此外，附图所展示的结构往往是实际结构的一部分。特别的，各附图需要展示的侧重点不同，有时会采用不同的比例。
[0030]本技术一实施例提供一种漏气检测装置，用于检测管路接口与其两端连接的两个管路的连接处是否漏气；所述漏气检测装置包括：可拆卸连接的两个腔体，所述腔体包括相连通的第一空腔和第二空腔，所述第一空腔用于放置指示剂颗粒，至少一个所述腔体中的第二空腔远离所述第一空腔的一面设置有挡板，且所述挡板上设置有开口；连接在一起的两个所述腔体环绕设置于所述管路接口的外围，且两个所述第二空腔相连接并通过所述开口相连通，所述管路接口设置于所述开口中，以使得所述挡板夹住所述管路接口的侧壁。
[0031]下面参阅图1
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图6对本实施本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种漏气检测装置，用于检测管路接口与其两端连接的两个管路的连接处是否漏气；其特征在于，所述漏气检测装置包括：可拆卸连接的两个腔体，所述腔体包括相连通的第一空腔和第二空腔，所述第一空腔用于放置指示剂颗粒，至少一个所述腔体中的第二空腔远离所述第一空腔的一面设置有挡板，且所述挡板上设置有开口；连接在一起的两个所述腔体环绕设置于所述管路接口的外围，且两个所述第二空腔相连接并通过所述开口相连通，所述管路接口设置于所述开口中，以使得所述挡板夹住所述管路接口的侧壁。2.如权利要求1所述的漏气检测装置，其特征在于，所述漏气检测装置还包括：卡扣，设置于所述腔体的外侧壁上，以通过所述卡扣连接两个所述腔体。3.如权利要求1所述的漏气检测装置，其特征在于，所述第一空腔的两端向靠近所述挡板的方向延伸，以使得在所述第一空腔至所述第二空腔的方向上，所述第一空腔的形状为凹形。4.如权利要求1所述的漏气检测装置，其特征在于，所述第一空腔与所述第二空腔共用的侧壁上设置有多个第一通孔。5...
【专利技术属性】
技术研发人员：蒋坤，俞杰，杨立华，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
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