本发明专利技术属于气体检测技术领域，提供了一种电子气体泄漏浓度检测装置，所述电子气体泄漏浓度检测装置包括：基座以及位于基座上的检测箱和处理箱；其中所述处理箱内还设置有溶解仓和过滤仓；检测机构，位于所述检测箱内；延迟组件，与所述检测箱相连接，用于对检测机构处理后的电子气体进行延时排放；溶解机构，位于所述溶解仓内；其中所述溶解机构包括溶解组件以及与溶解组件相配合使用的缓存组件，用于对泄漏的电子气体进行溶解消毒处理；以及过滤组件，位于所述过滤仓内。本发明专利技术结构创新，便于实现对电子气体泄漏浓度检测的同时还能实现对泄露电子气体进行预处理工作，保证了生产加工的安全性。的安全性。的安全性。
【技术实现步骤摘要】
一种电子气体泄漏浓度检测装置
[0001]本专利技术涉及气体检测
，具体是一种电子气体泄漏浓度检测装置。
技术介绍
[0002]电子气体是半导体工业用气体的总称，随着电子消费品的不断升级换代，电子工业界对于电子气体气源纯度，以及杜绝输送系统二次污染的要求越来越苛刻。由于电子气体可能存在窒息性、腐蚀性、毒性、易燃易爆性等危险，因此对于电子气体泄漏浓度的检测至关重要。
[0003]现有的电子气体泄漏浓度检测装置大多仅能实现对泄漏气体浓度进行检测以及报警功能，气体出现泄露到气体储存车间的安全系统工作之间总会存在一定的时间延迟，当装置缺少对于泄漏气体的预处理功能时将会存在一定的安全隐患，不利于电子工业的安全生产。
[0004]由上可见，现有的电子气体泄漏浓度检测装置大多功能单一，不能实现对泄漏气体进行预处理操作，存在严重的安全隐患，危害工人的身体健康，因此难以得到广泛应用。
技术实现思路
[0005]本专利技术实施例的目的在于提供一种电子气体泄漏浓度检测装置，旨在解决以下问题：现有的电子气体泄漏浓度检测装置大多功能单一，不能实现对泄漏气体进行预处理操作，存在严重的安全隐患，危害工人的身体健康，因此难以得到广泛应用。
[0006]本专利技术实施例是这样实现的，一种电子气体泄漏浓度检测装置，所述电子气体泄漏浓度检测装置包括：
[0007]基座以及位于基座上的检测箱和处理箱；其中所述处理箱内还设置有溶解仓和过滤仓；
[0008]检测机构，位于所述检测箱内，用于对电子气体泄露浓度进行检测；
[0009]延迟组件，与所述检测箱相连接，用于对检测机构处理后的电子气体进行延时排放，同时用于所述检测箱与所述处理箱之间的连接；
[0010]溶解机构，位于所述溶解仓内；其中所述溶解机构包括溶解组件以及与溶解组件相配合使用的缓存组件，用于对泄漏的电子气体进行溶解消毒处理；以及
[0011]过滤组件，位于所述过滤仓内，用于对所述溶解机构处理后的电子气体进行过滤处理。
[0012]与现有技术相比，本专利技术的有益效果：
[0013]本专利技术设置有延迟组件、溶解机构以及过滤组件，延迟组件的设置实现了对检测完气体的延时排放，避免了泄露的电子气体检测完被重新排放到空气中的现象，溶解机构的设置实现了对泄露电子气体的溶解处理工作，避免气体中的有毒物质损害人们的身体健康同时有效防止泄露的电子气体出现爆炸现象，进而保证了生产加工的安全性，过滤组件的设置实现了对泄露电子气体进行过滤工作，保证了气体的安全排放。
附图说明
[0014]图1为本专利技术实施例的主视结构示意图。
[0015]图2为本专利技术实施例的侧视结构示意图。
[0016]图3为本专利技术实施例中溶解机构的部分结构示意图。
[0017]图4为本专利技术实施例中安装件的立体结构示意图。
[0018]图5为图1中A处的放大结构示意图。
[0019]图6为图1中B处的放大结构示意图。
[0020]图7为图1中C处的放大结构示意图。
[0021]附图标记说明：
[0022]1、基座；2、检测箱；3、第一驱动组件；4、集尘件；5、丝杆；6、感应探头；7、进气口；8、传动件；9、联动件；10、警示器；11、引风机；12、延迟件；13、导管；14、清理件；15、第一排气端；16、溶解仓；17、连通件；18、处理箱；19、过滤仓；20、加热件；21、第二排气端；22、推动件；23、移动轮；24、缓存仓；25、活塞；26、进料口；27、第一支撑件；28、第二驱动组件；29、排污口；30、第二支撑件；31、出气口；32、滑动件；33、搅拌件；34、扰流件；35、驱动件；36、过滤件；37、第一连接件；38、滑块；39、第二连接件。
具体实施方式
[0023]为了更好的理解上述技术方案，下面将结合说明书附图以及具体的实施方式对上述技术方案做详细的说明。
[0024]以下结合具体实施例对本专利技术的具体实现进行详细描述。
[0025]请参阅图1、2，本专利技术实施例提供的一种电子气体泄漏浓度检测装置，所述电子气体泄漏浓度检测装置包括基座1，位于基座1上的检测箱2和处理箱18，其中，处理箱18内还设置有溶解仓16和过滤仓19；检测箱2内设置有检测机构，用于对电子气体泄露浓度进行检测；延迟组件，与所述检测箱2相连接，用于对检测机构处理后的电子气体进行延时排放，同时用于所述检测箱2与所述处理箱18之间的连接；溶解机构，位于所述溶解仓16内；其中所述溶解机构包括溶解组件以及与溶解组件相配合使用的缓存组件，用于对泄漏的电子气体进行溶解消毒处理；以及过滤组件，位于所述过滤仓19内，用于对所述溶解机构处理后的电子气体进行过滤处理。
[0026]工作时，通过基座1即可对装置进行稳定支撑，通过检测机构即可实现对电子气体泄漏浓度的检测工作，通过延迟组件即可对检测机构处理后的气体进行延时排放，同时还能实现将检测出还有泄露电子气体的空气导入溶解机构内，避免泄露的电子气体在经过检测机构检测后又重新排放到空气中，影响电子工业的正常生产，通过溶解组件即可对电子气体中的有毒物质进行溶解处理，从而实现对泄露电子气体的预处理工作，同时通过液体溶解药剂与电子气体之间的混合还能有效避免电子气体出现爆炸现象，保护工作人员的人身安全，通过缓存组件即可在溶解组件工作完成后将溶解仓16内的部分溶剂药剂进行吸收，方便将溶解组件处理后的气体导入过滤组件内，通过过滤组件即可对溶解组件处理后的气体进行过滤处理，方便气体排放。
[0027]在本专利技术的一个实施例中，请参阅图1和图2，所述检测机构包括：至少一组进气口7，所述进气口7设置于所述检测箱2上；以及感应探头6，位于所述检测箱2内，用于对电子气
体泄漏浓度进行检测。
[0028]在本实施例中，所述进气口7可以采用矩形结构，且进气口7上还设置有防尘网，所述防尘网可以采用低碳钢板或者镀锌板，且防尘网表面设置有静电粉末喷涂处理，有效避免灰尘进入，所述感应探头6采用现有公开技术即可，所述检测箱2内可以设置有数据处理模块，且数据处理模块与所述感应探头6电性连接；工作时通过进气口7便于将气体导入至检测箱2内部，通过感应探头6即可对进入检测箱2内的气体进行检测，通过数据处理模块即可对感应探头6检测产生的数据进行分析，其中所述进气口7在所述检测箱2的侧面依次设置有多组，便于实现对不同高度区域的空气进行全面检测，提高装置对电子气体泄漏浓度检测的精度，提高装置的检测质量。
[0029]在本专利技术的一个实施例中，请参阅图1，所述延迟组件包括：延迟件12，与所述检测箱2相连接，用于实现对所述检测机构处理后的电子气体进行延时排放；第一排气端15，与所述延迟件12相连接；以及导管13，用于所述延迟件12与所述溶解机构之间的连接。
[0030]在本实施例中，所述第一排气端15可以是气体导管，且第一排气端15的输出端还设置有防尘网，避免灰尘进入，所述延迟件12可以采用多组U型管本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种电子气体泄漏浓度检测装置，其特征在于，所述电子气体泄漏浓度检测装置包括：基座以及位于基座上的检测箱和处理箱；其中所述处理箱内还设置有溶解仓和过滤仓；检测机构，位于所述检测箱内，用于对电子气体泄露浓度进行检测；延迟组件，与所述检测箱相连接，用于对检测机构处理后的电子气体进行延时排放，同时用于所述检测箱与所述处理箱之间的连接；溶解机构，位于所述溶解仓内；其中所述溶解机构包括溶解组件以及与溶解组件相配合使用的缓存组件，用于对泄漏的电子气体进行溶解消毒处理；以及过滤组件，位于所述过滤仓内，用于对所述溶解机构处理后的电子气体进行过滤处理。2.根据权利要求1所述的电子气体泄漏浓度检测装置，其特征在于，所述检测机构包括：至少一组进气口，所述进气口设置于所述检测箱上；以及感应探头，位于所述检测箱内，用于对电子气体泄漏浓度进行检测。3.根据权利要求1所述的电子气体泄漏浓度检测装置，其特征在于，所述延迟组件包括：延迟件，与所述检测箱相连接，用于实现对所述检测机构处理后的电子气体进行延时排放；第一排气端，与所述延迟件相连接；以及导管，用于所述延迟件与所述溶解机构之间的连接。4.根据权利要求1所述的电子气体泄漏浓度检测装置，其特征在于，所述溶解组件包括：进料口，所述进料口设置于所述溶解仓上，用于向所述溶解仓内添加溶解药剂；第二支撑件，与所述溶解仓相连接；滑动...
【专利技术属性】
技术研发人员：周立明，
申请(专利权)人：重庆亿森动力环境科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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